知識

製造におけるスパッタリングとは?精密薄膜成膜ガイド
半導体、光学、エレクトロニクスで使用される薄く均一なコーティングのための真空成膜プロセスであるスパッタリングが製造でどのように機能するかを学びましょう。
Semにおけるスパッタリングプロセスとは?鮮明な画像を得るための帯電防止ガイド
スパッタコーティングがSEMサンプルに導電層を形成し、帯電をなくし、画像歪みを防ぎ、正確な分析を保証する方法を学びましょう。
金スパッタリングのプロセスとは?高精度薄膜成膜ガイド
プラズマ生成から成膜まで、金スパッタリングの仕組みを学び、エレクトロニクス、光学、医療機器におけるその利点を発見してください。
Semに金コーティングは必要ですか?サンプルチャージを防ぐためのガイド
非導電性サンプルのSEMにおいて、チャージを防ぐために金コーティングが不可欠な場合と、分析にとって不要または有害な場合について学びましょう。
金スパッタコーターはどのように機能しますか?導電性コーティングを作成するためのステップバイステップガイド
金スパッタコーターがどのように真空中でプラズマを使用して、SEMサンプル調製などのために超薄型で均一な金属膜を堆積させるかを学びましょう。
Sem用スパッタコーターの原理とは?導電性コーティングで高品質なイメージングを実現する
スパッタコーティングがどのように機能し、SEMサンプル上に導電性の金属膜を堆積させ、チャージングやビームダメージを防いで優れたイメージングを実現するかを学びましょう。
電子顕微鏡におけるスパッタコーティングとは?鮮明なSemイメージングのための必須の前処理
SEMにおいて、スパッタコーティングがいかに非導電性試料のチャージアップとビーム損傷を防ぎ、高解像度イメージングを可能にするかを学びましょう。
Semでカーボンコーティングを行うのはなぜですか?カーボンコーティングで正確な元素分析を実現しましょう
SEM-EDX分析にカーボンコーティングが不可欠な理由を学びましょう。非導電性サンプルでも、信号干渉を防ぎ、正確な元素データを得ることができます。
Semに最適なコーティングは何ですか?イメージングまたは分析の目標に合った適切なコーティングを選択してください
高解像度イメージングには金のような金属、正確なEDX元素分析には炭素など、ニーズに最適なSEMコーティングを見つけてください。トレードオフを学びましょう。
走査型電子顕微鏡(Sem)のコーティングには何がありますか?鮮明で高解像度のイメージングと正確な分析を実現する
金、白金、炭素などのSEMコーティングについて学びましょう。これらがチャージングをどのように防ぎ、画質を向上させ、ラボでの正確なEDS分析を可能にするかを発見してください。
Semにおけるスパッタコーティングとは?チャージングを防ぎ画質を向上させるための必須ガイド
スパッタコーティングがいかにしてSEMでの試料のチャージングを防ぎ、画像の解像度を向上させるか、また、分析のために材料(金、白金、炭素)の選択がなぜ重要なのかを学びましょう。
走査型電子顕微鏡(Sem)で金スパッタリングが使用されるのはなぜですか?非導電性サンプルの鮮明で高解像度のイメージングを実現
金スパッタリングがSEMでのチャージングをどのように防ぎ、ポリマー、セラミックス、生体試料の鮮明なイメージングを、信号対雑音比を向上させて可能にするかを学びましょう。
Semにゴールドコーティングが必要なのはなぜですか?チャージングを防ぎ、鮮明な画像を得るため
非導電性サンプルのSEMイメージングにおいて、チャージングによるアーティファクトを防ぎ、高品質で鮮明な画像を得るためにゴールドコーティングが不可欠な理由を学びましょう。
Pvdとスパッタリングの違いは何ですか?主要な薄膜成膜技術の理解
PVDとスパッタリングの主な違いを学びましょう。PVDは成膜方法の広いカテゴリであり、スパッタリングはその中の特定の高性能技術です。
スパッタリングチャンバーとは?精密な薄膜成膜の鍵
スパッタリングチャンバーが、半導体、光学部品、医療機器向けに、優れた密着性を持つ超薄膜で均一なコーティングをどのように作成するかをご覧ください。
スパッタリングにおけるプラズマ生成に使用されるガスは何ですか?アルゴンとその先への戦略的ガイド
アルゴンが標準的なスパッタリングガスである理由と、最適な薄膜堆積のためにネオン、クリプトン、または酸素や窒素のような反応性ガスを使用する時期について学びましょう。
スパッタリングではどのようにプラズマが生成されますか?薄膜堆積の原動力
不活性ガス中の高電圧放電によってスパッタリングでプラズマがどのように生成されるかを学び、高度な製造における精密な薄膜堆積を可能にします。
プラズマスパッタリングとは?精密薄膜成膜のためのガイド
プラズマスパッタリングの仕組みを学びましょう。半導体や光学分野向けに、超均一で高性能な薄膜を堆積させるための高真空プロセスです。
スパッタリングは真空中で行われますか?真空が優れた薄膜成膜を可能にする方法を発見する
スパッタリングに高純度で均一なコーティングのために真空が必要な理由を学びましょう。クリーンで耐久性のある薄膜のための2段階の真空プロセスを探ります。
Dcマグネトロンスパッタリングはどのように機能するのか?高速で均一な薄膜形成のガイド
DCマグネトロンスパッタリングが磁場を利用して効率的なプラズマを生成し、真空中で高速かつ均一な導電性薄膜を成膜する方法を学びましょう。
マグネトロンスパッタリングコーティングとは?高性能薄膜成膜プロセス
マグネトロンスパッタリングが、低温の真空プロセスで、高度な用途向けに高密度、高純度、高密着性の優れた薄膜をどのように作成するかを学びましょう。
Zno薄膜を堆積させるために使用されるスパッタリングシステムの種類はどれですか?RfスパッタリングとDcマグネトロンスパッタリングから選択してください
ターゲット材料(金属ZnかセラミックZnOか)に基づいて、ZnO薄膜にRFスパッタリングとDCマグネトロンスパッタリングのどちらを使用するかを学びましょう。
合金成膜においてスパッタリングがより有用なのはなぜですか?正確な合金組成制御の実現
スパッタリングがいかにして合金の化学量論を維持し、優れた薄膜を実現するかをご覧ください。多元素成膜における熱蒸着に対する利点を学びましょう。
スパッタコーティング技術とは?高品質で耐久性のある薄膜ガイド
スパッタコーティングが、真空プロセスで電子機器、光学部品、熱に弱い材料向けに、優れた密着性を持つ超薄型で均一な膜をどのように生成するかを学びましょう。
マグネトロンスパッタリングの原理とは?磁気プラズマ制御によるコーティング効率の向上
マグネトロンスパッタリングが磁場をどのように利用して電子を閉じ込め、プラズマ密度を高め、高速で高品質な薄膜堆積を実現するかを学びましょう。
スパッタリングは成膜方法ですか?高性能薄膜のためのPvd技術を発見する
スパッタリングは、基板上に薄く、均一で、純粋なコーティングを作成するための物理蒸着(PVD)法です。その仕組みと応用について学びましょう。
Rfマグネトロンスパッタリングの利点は何ですか?絶縁材料の優れた薄膜成膜を実現
絶縁材料の成膜能力、より高い成膜速度、改善された膜品質、基板加熱の低減など、RFマグネトロンスパッタリングの主な利点を発見してください。
DcスパッタリングとRfスパッタリングの違いは何ですか?材料に最適な方法を選択しましょう
DCスパッタリングは導電性金属向け、RFスパッタリングは絶縁性セラミックスに不可欠です。速度、コスト、用途における主な違いを学びましょう。
金スパッタリングターゲットとは?精密な金コーティングのための高純度ソース
金スパッタリングターゲットが、エレクトロニクスや顕微鏡アプリケーション向けに、薄く、導電性があり、不活性な金膜を精密に成膜することを可能にする方法を学びましょう。
スパッタリングとは何か?高品質薄膜成膜のための究極ガイド
スパッタリングの仕組み、純粋で均一なコーティングを作成するための主な利点、そしてそれが半導体や光学にとって不可欠である理由を学びましょう。
金のスパッタリング膜の厚さはどれくらいですか?オングストロームからマイクロメートルまでの精密なコーティングを実現
金のスパッタリング膜の厚さがオングストロームからマイクロメートルまでどのように範囲を持つか、SEM、エレクトロニクス、光学、および耐久性コーティング向けにどのように調整されるかを学びましょう。
金スパッタリングとは?電子機器およびSem用高純度真空コーティングガイド
金スパッタリングが半導体およびSEM試料調製のために超高純度薄膜をどのように成膜するかを学びましょう。そのプロセスと重要な応用を発見してください。
スパッタリングには何種類あるか? Dc、Rf、および高度な技術のガイド
DCおよびRFの主要なスパッタリングの種類、そのバリエーション、および材料成膜のニーズに最適な方法の選択方法を学びましょう。
スパッタリングの種類とは?Dc、Rf、マグネトロン、イオンビーム、反応性スパッタリングのガイド
DC、RF、マグネトロン、イオンビーム、反応性スパッタリングについて学びましょう。導電性、絶縁性、または複合材料に適した薄膜堆積方法を選択してください。
スパッタリング技術とは?精密薄膜成膜のためのガイド
スパッタリング技術がいかにして半導体、光学、先端製造業向けに、比類のない材料の多様性を持つ超薄で均一なコーティングを生成するかを学びましょう。
スパッタリングシステムは何に使用されますか?高度な薄膜成膜ガイド
スパッタリングシステムが半導体、医療機器、光学部品などに超薄膜をどのように成膜するかを発見してください。主要な用途と利点を学びましょう。
スパッタリングはどのように行われるか?薄膜堆積のためのステップバイステップガイド
真空の作成からプラズマ生成、薄膜堆積までのスパッタリングプロセスを学びましょう。精密なコーティングのためのDC、RF、マグネトロンスパッタリング技術を理解します。
スパッタリングに使用されるガスは何ですか?薄膜堆積プロセスを最適化する
アルゴンが主要なスパッタリングガスである理由と、金属、合金、または化合物の薄膜のために不活性ガスと反応性ガスのどちらを選択するかを学びましょう。
スパッタコーティングは何に使用されますか?エレクトロニクス、光学、工具向けに優れた薄膜を実現
スパッタコーティングが、半導体、光学レンズ、耐摩耗工具、省エネガラス向けに、超薄型で均一、耐久性のある膜をどのように生成するかをご覧ください。
スパッタリング装置とは?高品質薄膜成膜のためのガイド
スパッタリング装置がPVDを使用して、エレクトロニクス、光学、耐久性コーティングのためにいかに精密で均一な薄膜を成膜するかを学びましょう。
スパッタリングでは何が起こるのか?薄膜堆積のためのステップバイステップガイド
スパッタリングの仕組みを学びましょう。これは、真空中でイオン衝撃を利用して、電子機器や光学機器向けに精密で均一な薄膜を作成するPVDプロセスです。
なぜスパッタリングを使用するのですか?あらゆる材料に高品質で均一な薄膜を形成するために
半導体から光学部品まで、事実上あらゆる固体材料に高純度で密着性の高い薄膜を成膜するのに、なぜスパッタリングが好ましい方法であるかをご覧ください。
スパッタリングシステムとは?研究室で比類のない薄膜成膜を実現
スパッタリングシステムがどのように真空プラズマを使用して、マイクロチップ、光学部品、および先進材料向けに超高純度で高密着性の薄膜を成膜するかを学びましょう。
Rfスパッタリングの利点は何ですか?多用途で安定した薄膜成膜
RFスパッタリングがどのようにして絶縁材料の成膜を可能にし、プロセスの安定性を確保し、低圧で高品質な薄膜を生成するかをご覧ください。
反応性スパッタリングの原理とは何ですか?高性能セラミックコーティングを作成する
反応性スパッタリングが、真空チャンバー内で金属ターゲットと反応性ガスを組み合わせることにより、酸化物や窒化物などの化合物膜を堆積させる方法を学びましょう。
スパッタリングにおけるRf周波数とは?絶縁材料の標準を解き明かす
セラミックスや酸化物などの非導電性材料を干渉なしに成膜するための標準RFスパッタリング周波数が13.56 MHzである理由をご覧ください。
Rfスパッタリングはどのように機能しますか?絶縁材料への薄膜成膜
RFスパッタリングがどのように高周波を使用して電荷の蓄積を防ぎ、セラミックスや酸化物などの非導電性材料への薄膜成膜を可能にするかをご覧ください。
Pvdスパッタリングとは?高性能薄膜成膜のためのガイド
PVDスパッタリングの仕組み、耐久性があり純粋なコーティングを作成するための利点、およびエレクトロニクス、光学、製造業におけるその応用について学びましょう。
スパッタリングにプラズマが使用されるのはなぜですか?高性能薄膜堆積のための高エネルギーイオンを生成するため
スパッタリングにプラズマが不可欠な理由を発見してください。プラズマはイオンを生成・加速し、ターゲット原子を物理的に叩き出すことで、高純度で高品質な薄膜堆積を可能にします。
プラズマ処理におけるスパッタリングとは?高純度薄膜堆積のためのガイド
物理気相成長プロセスであるスパッタリングが、半導体、光学機器、医療機器向けに均一で高純度の薄膜をどのように生成するかを学びましょう。
スパッタリング装置はどのように機能するのか?コーティングに原子レベルの精度を達成する
スパッタリング装置が真空中でプラズマを利用して超薄く均一な膜を堆積させる仕組みを発見してください。研究室での用途における主要なステップと利点を学びましょう。
マグネトロンスパッタリング装置とは?先端材料のための精密薄膜成膜
マグネトロンスパッタリングの仕組みをご覧ください:半導体、医療機器、光学部品に高純度で機能的な薄膜を作成するための真空ベースのプロセスです。
スパッタリングはPvd(物理気相成長法)ですか?あなたの研究室に最適なキーコーティング技術を発見する
スパッタリングがなぜ中核的なPVD手法なのか、そのメカニズム、利点、そして他の成膜技術との比較について、あなたの用途に合わせて学びましょう。
Sem用スパッタコーティングの厚さはどのくらいですか?最適なイメージングと分析を実現する
SEM用スパッタコーティングの理想的な厚さ(2-20 nm)を学び、帯電を防ぎ、画像品質を向上させ、正確なEDS分析を確実にします。
マグネトロンスパッタリングのスパッタリング電圧はどれくらいですか?薄膜成膜プロセスを最適化する
マグネトロンスパッタリングの電圧(通常-300Vから-1000V以上)について学び、それが成膜速度と薄膜の品質をどのように制御するかを理解しましょう。
マグネトロンスパッタリングの基本とは?高品質な薄膜成膜をマスターする
マグネトロンスパッタリングが磁場を利用して、あらゆる材料から高速かつ低温で高密度で均一な薄膜を形成する方法を学びましょう。
マグネトロンスパッタリングはどのように機能するのか?高品質薄膜成膜ガイド
マグネトロンスパッタリングが磁場を利用して効率的なプラズマを生成し、真空環境下で精密かつ均一な薄膜コーティングをどのように実現するかを学びましょう。
Rfマグネトロンスパッタリングとは?絶縁薄膜堆積のためのガイド
DCスパッタリングでは不可能な、セラミックなどの絶縁材料への薄膜堆積をRFマグネトロンスパッタリングがどのように実現するかを学びましょう。
マグネトロンスパッタリングターゲットとは何ですか?高性能薄膜コーティングのコア材料
マグネトロンスパッタリングターゲットが、制御されたイオン衝撃によってエレクトロニクス、光学、医療機器向けに精密な薄膜堆積をどのように可能にするかを学びましょう。
マグネトロンスパッタリングの効果とは?研究室向けに高品質で耐久性のある薄膜を実現
マグネトロンスパッタリングの効果を探る:マイクロエレクトロニクスや耐摩耗性コーティング用途向けの、より高速な成膜、優れた膜密度、精密な制御。
マグネトロンスパッタリングとは?高品質薄膜成膜のためのガイド
マグネトロンスパッタリングの仕組み、低温コーティングや高い成膜速度といった主な利点、そしてエレクトロニクスや光学分野での応用について学びましょう。
Dcスパッタリングの電圧はどのくらいですか?高電圧を活用した効率的な金属堆積
DCスパッタリングは、高負電圧(-2~-5 kV)を使用して導電性材料を堆積させます。この電圧がどのようにスパッタリングプロセスを駆動し、その限界は何かを学びましょう。
Dcマグネトロンスパッタリングの欠点とは?研究室における主な制限事項
DCマグネトロンスパッタリングの主な欠点を探ります。これには、絶縁体の成膜不能、ターゲット利用率の低さ、高コスト、基板加熱の問題などが含まれます。
直流マグネトロンスパッタリングとは?高品質薄膜堆積のためのガイド
直流マグネトロンスパッタリングが、プラズマと磁場を利用して均一で導電性の薄膜を堆積させ、優れたコーティング結果をもたらす仕組みを学びましょう。
金属スパッタリングとは?高品質薄膜成膜のためのガイド
金属スパッタリングの仕組み、高い密着性や純度といった主な利点、そしてコーティングのニーズに合わせてこのPVD法を選択すべき状況について学びましょう。
スパッタリングガスとは?薄膜成膜の必須ガイド
アルゴンなどのスパッタリングガスがどのように薄膜成膜プロセスを推進するかを学びましょう。その役割、選択基準、および膜品質への影響を発見してください。
スパッタリングの目的とは?高度な用途向けに優れた薄膜コーティングを実現する
スパッタリングが半導体、光学機器などで精密かつ均一な薄膜堆積をどのように可能にするかを発見してください。プロセス、利点、および理想的な用途について学びましょう。
スパッタリングのプロセスとは?薄膜堆積のステップバイステップガイド
スパッタリングプロセスを学ぶ:シリコンウェーハやガラスなどの基板に薄く均一な膜を堆積させるため、真空中でイオン衝撃を利用するPVD法。
なぜスパッタコーティングに真空が必要なのか?高品質な薄膜に不可欠なもの
散乱を最小限に抑え、プラズマの安定性を確保し、優れた膜質を実現するスパッタコーティングにおいて、真空が極めて重要である理由をご覧ください。
スパッタリング真空の圧力とは?最適な薄膜形成のための重要な洞察
高真空からミリTorrまでのスパッタリング真空チャンバーにおける、高品質薄膜成膜のための臨界圧力範囲についてご紹介します。
真空スパッタリングとは何ですか?薄膜堆積の背後にある精度を発見する
PVD技術のひとつである真空スパッタリングが、エレクトロニクス、光学、コーティングなどの産業において、どのように高品質の薄膜を成膜しているかをご覧ください。
スパッタリングの欠点とは?主な限界と課題を解説
膜の汚染、材料の制限、低い成膜速度など、スパッタリングの主な欠点をご覧ください。薄膜成膜プロセスを最適化します。
なぜ金属にDcスパッタリングが使用されるのですか?精密金属蒸着の主な利点を発見する
DCスパッタリングが金属蒸着に理想的である理由をご覧ください:費用対効果、制御の容易さ、高い蒸着率、エネルギー効率。
金属スパッタリングの仕組み薄膜成膜技術ガイド
金属スパッタリングの仕組み、構成要素、種類、用途、現代の製造や研究における利点についてご紹介します。
マグネトロンスパッタリング成膜法とは?効率的な薄膜形成ガイド
マグネトロンスパッタリングは、高い密着性、均一性、コスト効率で薄膜を成膜する汎用性の高いPVD技術です。
スパッタリングはPvdかCvdか?主な違いと用途を知る
スパッタリングがPVD技術である理由、その利点、高品質の薄膜を成膜するためのCVDとの違いについてご紹介します。
スパッタリングはPvdとどう違うのですか?主な違いと用途の説明
スパッタリングとPVDのメカニズム、温度、材料適合性、用途などの違いをご覧ください。
スパッタリングはPvdの蒸着と同じ?主な違いを説明
PVDにおけるスパッタリングと蒸着との違いについて、そのメカニズム、材料の汎用性、用途などをご紹介します。
スパッタリングによる成膜プロセスとは?薄膜技術ガイド
薄膜形成のためのPVD技術であるスパッタリングについて、その種類、用途、半導体や光学などの産業における利点についてご紹介します。
蒸着・スパッタリングによる物理蒸着とは?薄膜技術ガイド
蒸着やスパッタリングによるPVD、そのプロセス、利点、エレクトロニクス、光学、工具コーティングへの応用についてご紹介します。
金属におけるスパッタリングプロセスとは?精密コーティング技術の発見
スパッタリング プロセスが、半導体、光学、顕微鏡などの業界で使用される、金属上に薄くて耐久性のあるコーティングをどのように堆積するかを学びます。
なぜスパッタコーティングなのか?Semイメージングと材料成膜の強化
スパッタコーティングがどのようにSEM画像品質を向上させ、多様な材料成膜を可能にし、高度なアプリケーションのための均一な薄膜を形成するかをご覧ください。
Pvdはスパッタリングと同じですか?主な違いと用途の説明
PVDとスパッタリングの違い、そのメカニズム、ニーズに合った薄膜形成法の選び方をご紹介します。
薄膜コーティングにおけるスパッタリングとは?薄膜蒸着完全ガイド
半導体やソーラーパネルなどに使われる重要な薄膜成膜技術、スパッタリングについて学びましょう。そのプロセス、種類、用途をご覧ください。
スパッタコーティングSemとは何ですか?導電性コーティングで Sem イメージングを強化
スパッタ コーティングが帯電効果を防ぎ、非導電性サンプルの導電性を高めることにより、SEM イメージングをどのように改善するかを学びましょう。
半導体製造用スパッタ蒸着とは?精密薄膜コーティングの解説
スパッタ蒸着がどのように半導体用の高純度で均一な薄膜を形成し、高度なデバイス性能を可能にするかをご覧ください。
成膜技術におけるスパッタリングとは何ですか?薄膜堆積に関する包括的なガイド
半導体、光学、ソーラーパネルで使用される重要な薄膜成膜技術であるスパッタリングについて学ぶ。そのメカニズム、利点、応用例をご覧ください。
スパッタリングの例とは?アルミニウム蒸着が半導体デバイスにどのようなパワーを与えているかを知る
スパッタリングでアルミニウムをシリコンウエハーに蒸着し、半導体の導電路を形成する方法をご紹介します。その応用例と利点をご覧ください。
スパッタリングの主な目的とは?多様な用途のための精密な薄膜成膜の実現
スパッタリングが半導体、ソーラー パネル、光学デバイス用の薄くて均一なコーティングをどのように正確かつ多用途に作成するかをご覧ください。
スパッタリングによるプラズマ形成はどのように起こるのか?プラズマダイナミクスで薄膜形成を最適化する
磁気閉じ込めからイオンボンバードメントまで、スパッタリングにおけるプラズマ形成の仕組みを学び、薄膜蒸着プロセスを最適化しましょう。
プラズマスパッタリング成膜技術とは?精密薄膜コーティングの解説
半導体や光学などで使用される精密な薄膜コーティング技術であるプラズマ スパッタリング デポジションについて学びます。
スパッタリングの意義とは?現代産業における薄膜成膜の革命
スパッタリングがどのように正確で高品質の薄膜堆積を可能にし、エレクトロニクス、半導体、光学の進歩を促進するかをご覧ください。
スパッタリングによる薄膜形成の利点とは?精度と汎用性の発見
高精度、多用途性、環境に優しいプロセスなど、スパッタリングによる薄膜形成のメリットをご紹介します。
スパッタ蒸着のデメリットとは?主な課題を解説
過熱、高コスト、化学量論的制御の課題など、スパッタ蒸着の欠点を探る。これらが効率や応用範囲にどのような影響を与えるかをご覧ください。
スパッタリングは物理蒸着?薄膜コーティングのキープロセスを知る
重要な PVD ​​技術であるスパッタリングが、真空環境での物理的な原子移動を通じて高品質の薄膜をどのように生成するかを学びます。
スパッタ成膜にはどのガスが使用されますか?適切なガスで薄膜コーティングを最適化
効率的な薄膜コーティングプロセスのために、アルゴン、ネオン、クリプトン、反応性ガスなど、スパッタリング堆積に使用されるガスについて学びます。
金属のスパッタ蒸着とは?薄膜コーティング技術ガイド
金属のスパッタ蒸着の仕組み、利点、用途、高品質な薄膜コーティングのための主な考慮事項をご覧ください。
スパッタリングプロセスはどのような手順で行われますか?薄膜堆積のガイド
真空セットアップから薄膜蒸着までのスパッタプロセスの主要ステップを学び、膜特性を正確にコントロールする。
金属をスパッタリングするプロセスとは?薄膜成膜技術ガイド
PVD技術のひとつであるスパッタリングが、真空、プラズマ、不活性ガスを用いて、どのように精密かつ均一な高品質の薄膜を成膜するのかをご紹介します。
スパッタリングコーティングとはどのような工程で行われるのでしょうか?薄膜堆積のステップバイステップガイド
半導体や光学などに使用される高品質薄膜のための、真空形成から成膜までのスパッタリング成膜プロセスをご紹介します。