カーボンコーティングは、非導電性材料への帯電の影響を防ぎ、画質を向上させ、試料を損傷から保護するために、SEMに不可欠です。カーボンコーティングは、導電性を与え、ビームの透過を抑え、二次電子の放出を改善します。
帯電効果の防止
非導電性材料は、SEMで高エネルギーの電子ビームにさらされると、電荷を蓄積する可能性があります。この帯電は、画像異常や材料の劣化につながります。カーボンコーティングは、これらの電荷を散逸させる導電層を提供し、電荷の蓄積とそれに続く画像の歪みを防ぎます。これは、試料の完全性を維持し、正確なイメージングを保証するために特に重要です。画質の向上
カーボンコーティングは、試料からの二次電子放出を改善します。二次電子は、試料表面の特徴を可視化するために必要なコントラストと解像度を提供するため、SEMのイメージングプロセスにとって極めて重要です。二次電子の放出を促進することで、カーボンコーティングはより鮮明で詳細な画像を得るのに役立ちます。さらに、コーティングは試料への電子ビームの侵入を減少させるため、エッジ分解能が向上し、試料の敏感な部分を保護します。
試料の保護
カーボンコーティングは、電子ビームの潜在的な損傷に対する保護層として機能します。これは、電子ビームの直接的な衝撃が構造変化や材料除去を引き起こす可能性のある、ビームに敏感な試料にとって特に有益です。コーティングは試料を元の状態に保つのに役立ち、より正確で再現性の高い分析を可能にします。
カーボンコーティングの技術
