製品 ラボ用消耗品と材料 薄膜蒸着部品 電子ビーム蒸着コーティング導電性窒化ホウ素るつぼ(BNるつぼ)
電子ビーム蒸着コーティング導電性窒化ホウ素るつぼ(BNるつぼ)

薄膜蒸着部品

電子ビーム蒸着コーティング導電性窒化ホウ素るつぼ(BNるつぼ)

商品番号 : KES03

価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ


材料
窒化ホウ素
仕様
35-64.5mm*17-35mm
ISO & CE icon

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応用

導電性窒化ホウ素るつぼは、電子ビーム蒸着コーティング用に設計された高純度で滑らかなるつぼです。耐高温性、サーマルサイクル性能に優れ、各種金属やセラミックレアアースと反応しません。るつぼは、急速な加熱および冷却条件下でも無傷のままです。合金の溶解、希土類およびセラミックの焼結、電子ビーム蒸着コーティングなどに応用されています。高周波誘導加熱、コーティング、電子ビーム蒸着、アルミめっき、シリコンめっきなどの熱蒸着プロセスでよく使用されます。

導電性窒化ホウ素るつぼは、高純度、高仕上げ、優れた電子ビーム蒸着コーティング性能を備えています。蒸発速度を高め、材料の切り替えを加速し、熱安定性を向上させ、電力要件を削減し、最終的には生産性とコスト効率を向上させることができます。

ディテール&パーツ

電子ビーム蒸着コーティング導電性窒化ホウ素るつぼの詳細

電子ビーム蒸着コーティング導電性窒化ホウ素るつぼの詳細 2

電子ビーム蒸着コーティングの導電性窒化ホウ素るつぼの詳細3

技術仕様

外径35mm 40mm 45mm 50mm 64.5mm
高い17mm 20mm 22.5mm 25mm 35mm

ご紹介するるつぼはさまざまなサイズでご利用いただけます。ご要望に応じてカスタム サイズもご利用いただけます。

アドバンテージ

  • フィルムは仕上がりが良く、純度が高く、汚染が少なく、耐用年数が長いです。
  • 耐高温性、耐ヒートサイクル性に優れています。
  • 熱膨張が低く、ほとんどの溶融金属による濡れに耐えます。
  • 耐熱性は2000℃まであり、窒化ホウ素はアルミニウムと反応せず、揮発しにくい。
  • 蒸発速度の増加。蒸発速度が向上するとサイクル時間が短縮され、全体の収率が向上します。
  • 素早い材料切り替え。導電性窒化ホウ素るつぼにより、材料の素早い切り替えが容易になり、チャンバーのダウンタイムが最小限に抑えられ、プロセス効率が向上します。
  • 強化された熱安定性。これらのるつぼは熱安定性が向上し、るつぼ自体からの熱伝達を低減し、一貫した制御された蒸発を保証します。

FAQ

熱蒸発源とは?

熱蒸発源は、基板上に薄膜を蒸着する熱蒸発システムで使用される装置である。材料(蒸発剤)を高温に加熱して蒸発させ、基板上に凝縮させて薄膜を形成します。

熱蒸発源の主な種類は何ですか?

熱蒸発源の主な種類には、抵抗蒸発源、電子ビーム蒸発源、フラッシュ蒸発源があります。それぞれのタイプは、抵抗加熱、電子ビーム加熱、高温表面との直接接触など、蒸発物を加熱する方法が異なります。

熱蒸発源の仕組み

熱蒸発源は、高温に加熱された抵抗体に電流を流すことで機能します。この熱が蒸発剤に伝わり、蒸発剤が溶けて気化します。その後、蒸気は真空チャンバーを通って基板上に凝縮し、薄膜を形成する。

蒸発るつぼに使用される一般的な材料は何ですか?

蒸発るつぼは通常、タングステン、タンタル、モリブデン、グラファイト、セラミック化合物などの材料で作られています。これらの材料は融点が高く、熱伝導率が良いため、蒸着時に必要な高温条件に適しています。るつぼの材料の選択は、蒸発材料、必要な膜特性、プロセスパラメータなどの要因によって異なります。

熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか?

熱蒸発源の利点には、高い蒸着速度、良好な指向性、優れた均一性、様々な材料との適合性などがある。また、比較的シンプルで安価であるため、薄膜蒸着における幅広い用途に適しています。

蒸発るつぼを使用する利点は何ですか?

蒸発るつぼには、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点があります。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御できます。るつぼは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を保証します。さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できるよう、さまざまなサイズや形状が用意されています。蒸発るつぼを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料を蒸着することもできます。簡単にロードおよびアンロードできるため、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸発るつぼは薄膜堆積技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。

熱蒸着源はどのような用途に使用されますか?

熱蒸着ソースは、光学コーティング、半導体デバイス、各種薄膜の製造など、様々な用途で使用されています。特に、基板への材料の蒸着に精密な制御を必要とする産業で有用です。

蒸発るつぼはどのように取り扱い、メンテナンスすればよいですか?

蒸発るつぼは、寿命と性能を確保するために、慎重に取り扱い、維持する必要があります。るつぼは毎回使用する前に徹底的に洗浄して、以前の堆積からの残留物質を除去する必要があります。るつぼの表面を損傷する可能性のある研磨材の使用は避けてください。ロードおよびアンロードの際は、汚染を防ぐために、清潔な手袋または専用のツールを使用してるつぼを扱ってください。使用しないときは、腐食や劣化を避けるために、るつぼを乾燥した清潔な環境に保管してください。るつぼに亀裂、欠陥、摩耗の兆候がないか定期的に検査することは、蒸着プロセス中の予期せぬ故障を防ぐために重要です。るつぼの寿命を延ばすために、アニーリングや表面処理などの特定のメンテナンス手順については、メーカーの推奨事項に従ってください。
この製品に関するよくある質問をもっと見る

4.9

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The boron nitride crucible delivered in 3 days, which is really fast! The quality is excellent and it fits perfectly in my electron beam evaporator.

Yuxin Cheng

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