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スパークプラズマ焼結炉 SPS炉
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傾斜回転プラズマエッチングCVD（PECVD）装置 チューブ炉 マシン
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真空ステーション付き分割チャンバーCVDチューブ炉 化学蒸着システム装置
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多ゾーン加熱CVDチューブ炉 マシン 化学気相成長チャンバー システム装置
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電気ロータリーキルン小型ロータリー炉バイオマス熱分解プラント
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縦型実験室管状炉
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1700℃実験室用高温管状炉（アルミナチューブ付き）
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