真空炉
2200 ℃グラファイト真空炉
商品番号 : KT-VG
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
- 最高温度
- 2200 ℃
- 一定作業温度
- 2100 ℃
- 加熱速度
- 0-10 ℃/min
- 有効体積
- 12-150 L
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製品紹介
2200℃黒鉛真空炉は、断熱材に黒鉛フェルト、発熱体に黒鉛抵抗棒を使用した高温炉です。最高使用温度は2200℃に達し、タングステン合金、炭化珪素、モリブデン合金、チタン合金、超硬合金、炭素材料等の真空反応焼結に最適です。
最大真空度6*10-3Paの高真空性能を有し、高温ガスが発生しません。また、真空圧力の維持性能にも優れており、真空圧力の上昇速度は0.67Pa/hです。
炉の安全機能として、過電流保護機能、過温度警報機能、自動電源オフ機能を備えています。また、サーマルカップル検出機能を内蔵しており、破損や故障検出時には自動的に加熱を停止し、アラームを発します。
用途
KT-VG黒鉛真空炉は卓越した高温炉であり、真空または保護雰囲気環境下での材料の高温処理に各業界で広く使用されています。以下はその主な応用分野です：
- タングステン合金、炭化ケイ素、モリブデン合金、チタン合金、超硬合金、炭素材料など様々な材料の真空反応焼結
- 高温ろう付けおよびはんだ付け
- 金属および合金の焼きなましと熱処理
- セラミック材料の脱バインダーと焼結
- 結晶成長
- 真空コーティングと蒸着
- 新素材の研究開発
特徴
真空黒鉛炉横型は、真空焼結や雰囲気制御焼結に最適な高性能炉です。高度な機能と性能により、以下のような多くのメリットをユーザーに提供します：
- 超高温処理：**最高2200℃の高温処理が可能で、各種材料の高温処理に適しています。
- 高真空性能：**最高6*10-3Paの真空度を達成し、材料処理にクリーンで制御された環境を確保します。
- 優れた真空圧力維持性能：**わずか0.67Pa/hの圧力上昇率で安定した真空環境を維持し、汚染を防止し、プロセスの完全性を確保します。
- 真空シェル本体二重層設計：***冷水循環高速冷却のための二重層ジャケットを採用し、効果的に外殻表面温度を下げ、安全性と作業者の快適性を向上させます。
- 独立した空気入出力ポート: ** 雰囲気制御が可能なため、プロセス要件に合わせて炉内環境を調整できます。
- オプションの手動および自動空圧真空バルブ:** 真空制御の柔軟性を提供し、さまざまな作業要件や自動化ニーズに対応します。
- PIDプログラマブル・マイクロプロセッサー温度制御システム: ** 正確な温度制御を保証し、プロセス成果を最適化し、製品不良を低減します。
- プロフェッショナルな発熱体構成：** 放熱と長寿命に最適化され、性能を最大限に引き出し、寿命を延ばします。
- 安全インターロックシステム: ** 扉が開いているとき、または過昇温やセンサーの故障時に炉の電源を切ることで、オペレーターの安全を確保し、事故を防止します。
原理
2200℃グラファイト真空炉は、断熱されたグラファイトチャンバー内に高温グラファイト発熱体を使用しています。この特殊な設計により、正確な温度制御と均一な加熱分布が可能になります。炉は真空条件下で運転され、高温の材料を制御された雰囲気で処理することができます。真空環境はガス汚染、酸化、脱ガスを最小限に抑え、処理材料の純度と完全性を保証します。
利点
- 真空および制御雰囲気焼結における超高作業温度
- 高真空性能、最大真空度6*10-3Pa、高温ガス発生なし
- 優れた真空圧維持性能、真空圧上昇率0.67Pa/h
- 真空シェルボディ二重層設計、冷水循環高速冷却用ジャケット付き
- 独立した空気入出力ポート、制御された雰囲気作業機能も利用可能
- オプションの手動および自動空気圧真空バルブにより、さまざまな作業要件に対応可能
- PIDプログラマブルマイクロプロセッサ温度制御システム、正確な温度制御を保証する
- プロフェッショナルな発熱体構成により、熱放射特性を最適化し、長寿命を実現
- ドア開放時や過昇温時、センサー故障時に炉の電源を切る安全インターロックシステム
安全性の利点
- 過電流保護および過温度警報機能、自動電源オフ付き
- サーマルカップル検知機能内蔵、破損や故障検知時に加熱を自動停止しアラームを発する
- 停電後、電源が回復すると炉の加熱プログラムを再開する停電再始動機能
技術仕様
| 炉型式 | KT-VG | ||
| 最高温度 | 2200 ℃ | ||
| 一定作業温度 | 2100 ℃ | ||
| チャンバー断熱材 | グラファイトフェルト | ||
| 発熱体 | グラファイト棒 | ||
| 加熱速度 | 0～10℃/分 | ||
| 温度センサー | T/R熱電対、赤外線温度計 | ||
| 温度コントローラー | PLC付きタッチスクリーンPIDコントローラー | ||
| 温度制御精度 | ±1℃ | ||
| 電源 | AC110-440V,50/60HZ | ||
| 標準チャンバーサイズ 在庫 | |||
| チャンバーサイズ(mm) | 有効容積 (L) | チャンバーサイズ(mm) | 有効容積(L) |
| 200x200x300 | 12 | 400x400x600 | 96 |
| 300x300x400 | 36 | 500x500x700 | 150 |
| 顧客の設計サイズおよび容積は受け入れられる | |||
オプション設定
- 独立した炉温度のモニタリングと記録
- RS 485通信ポートによるPCからの遠隔操作およびデータ出力
- 温度制御装置と連動する空気圧式真空バルブ (オプション)
- タッチスクリーンの温度制御装置にはオペレーターが使いやすい多彩な機能を装備
- 炉シェルジャケット冷却システム用冷水循環冷却装置
警告
オペレーターの安全は最重要課題です。装置の操作には注意してください。引火性ガス、爆発性ガス、有毒ガスを扱う作業は非常に危険です。オペレーターは装置を始動する前に必要な予防措置をすべて講じる必要があります。反応器またはチャンバー内で陽圧を使用して作業するのは危険です。オペレーターは安全手順を厳密に遵守する必要があります。空気反応性材料を使用する場合、特に真空下で作業する場合には、特別な注意を払う必要があります。漏れがあると空気が装置内に引き込まれ、激しい反応が発生する可能性があります。
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FAQ
真空炉って何に使うの？
黒鉛化炉とは
CVD炉とは何ですか？
化学蒸着 (CVD) は、加熱、プラズマ励起、光放射などのさまざまなエネルギー源を使用して、気相または気固界面で気体または蒸気の化学物質を化学反応させ、反応器内に固体堆積物を形成する技術です。化学反応。簡単に言うと、2 つ以上のガス状原料が反応チャンバーに導入され、それらが互いに反応して新しい材料を形成し、それを基板表面に堆積させます。
CVD炉は、高温管状炉ユニット、ガス制御ユニット、真空ユニットを備えた1つの複合炉システムであり、複合材料の調製、マイクロエレクトロニクスプロセス、半導体オプトエレクトロニクス、太陽エネルギー利用、光ファイバー通信、超伝導体の実験と生産に広く使用されています。技術、保護コーティング分野。
管状炉とは何ですか?
実験用管状炉は、古典的な外部加熱高温管状炉の 1 つであり、ホットウォール加熱炉とも呼ばれます。
異なる使用温度に応じて、炉管の材質は通常、透明な石英管、高純度のアルミナセラミック管、高強度金属合金管になります。
さまざまな熱研究目的を満たすために、管状炉は複数の加熱ゾーンを備えて設計でき、管状作業室内の温度勾配を柔軟に制御できます。炉心管は、制御された雰囲気作業環境または高真空作業環境で動作できます。
真空炉ではどのようなプロセスが行われるのでしょうか？
真空ホットプレス炉の目的は何ですか?
黒鉛化炉の主な用途は？
真空誘導溶解炉はどのように動作するのですか?
真空アーク溶解法とは何ですか?
CVD炉はどのように動作するのですか?
CVD炉システムは、高温管状炉ユニット、反応ガス源精密制御ユニット、真空ポンプステーションおよび対応する組立部品で構成されています。
真空ポンプは反応管から空気を除去し、反応管内に不要なガスがないことを確認します。その後、管状炉が反応管を目標温度まで加熱し、反応ガス源の精密制御ユニットがさまざまなガスを導入できます。化学反応用の炉管内に設定された比率のガスが導入され、CVD 炉内で化学気相成長が形成されます。
雰囲気炉とは何ですか？
管状炉はどのように機能するのでしょうか?
管状炉の加熱要素は円筒状キャビティの周囲に配置されます。炉は間接的な熱放射によってのみ円筒状キャビティ内のサンプルを加熱できます。これは、管状炉によりサンプル材料が炉の加熱要素や断熱材と接触するのを防ぐことができるため、管状炉はきれいな隔離された炉を作成します。チャンバーを加熱し、サンプル材料が炉によって汚染されるリスクを軽減します。
真空炉で使用されるガスは何ですか?
真空ホットプレス炉のメリットは何ですか？
黒鉛化炉にはどのような種類がありますか？
真空誘導溶解の利点は何ですか?
VAR真空アーク再溶解(VAR)炉とは何ですか?
CVDプロセスで使用されるガスは何ですか?
CVD プロセスでは使用できるガス源が膨大にあり、CVD の一般的な化学反応には熱分解、光分解、還元、酸化、酸化還元が含まれるため、これらの化学反応に関与するガスを CVD プロセスで使用できます。
CVD グラフェン成長を例に挙げます。CVD プロセスで使用されるガスは CH4、H2、O2、N2 です。
雰囲気炉の用途は何ですか？
管状炉の用途は何ですか?
管状炉は主に冶金、ガラス、熱処理、リチウムアノードおよびカソード材料、新エネルギー、研磨材およびその他の産業で使用され、特定の温度条件下で材料を測定するための専門的な機器です。
シンプルな構造、簡単な操作、簡単な制御、連続生産が特徴の管状炉です。
管状炉は、CVD (化学気相成長) およびプラズマ強化 CVD システムにも広く適用されています。
真空炉で使用される発熱体とは何ですか?
真空ホットプレス炉はどのように動作するのですか？
黒鉛化炉の仕組み
真空は誘導溶解炉でどのように役立ちますか?
真空アーク溶解炉はどのように動作するのですか?
CVD装置の利点は何ですか？
- 金属膜、非金属膜、多成分合金膜など、ご要望に応じて幅広い膜の製造が可能です。同時に、GaNやBPなど他の方法では得られない高品質な結晶を作製することができます。
- 成膜速度は速く、通常は毎分数ミクロン、場合によっては毎分数百ミクロンです。液相エピタキシー（LPE）や分子線エピタキシー（MBE）など他の成膜法とは比べものにならない、均一な組成のコーティングを同時に大量に成膜することが可能です。
- 作業条件は常圧または低真空条件下で行われるため、コーティングの回折性が良好で、複雑な形状のワークピースでも均一にコーティングでき、PVD に比べてはるかに優れています。
- 反応ガス、反応生成物、基材の相互拡散により、耐摩耗性や耐腐食性の皮膜などの表面強化皮膜の作製に重要な密着強度の高い皮膜が得られます。
- 一部のフィルムは、フィルム材料の融点よりもはるかに低い温度で成長します。低温成長条件下では、反応ガスと反応炉壁およびそれらに含まれる不純物とがほとんど反応しないため、高純度で結晶性の良い膜が得られる。
- 化学気相成長法では平滑な成膜面が得られます。これは、LPE と比較して、化学気相成長 (CVD) が高飽和下で行われるため、核生成率が高く、核生成密度が高く、面内均一に分布するため、巨視的に滑らかな表面が得られます。同時に、化学蒸着では、分子（原子）の平均自由行程が LPE よりもはるかに大きいため、分子の空間分布がより均一になり、滑らかな蒸着表面の形成に役立ちます。
- 金属酸化物半導体（MOS）やその他のデバイスの製造に必要な条件である放射線ダメージが低い
管状炉の種類は何種類ありますか?
管状炉はさまざまな機械的機能をスムーズに動作させることができるため、さまざまな実験目的に応じてさまざまなタイプの管状炉のバリエーションがあり、代表的な炉炉は次のとおりです。
- 横型管状炉
- 縦型管状炉
- 分割管状炉
- ロータリー管状炉
- 傾斜管状炉
- スライド管状炉
- 高速加熱冷却管状炉
- 連続供給・排出管状炉
黒鉛化炉を使用する利点は何ですか？
真空誘導溶解炉とは何ですか？
PECVD とは何の略ですか?
PECVDは、プラズマを利用して反応ガスを活性化し、基板表面または表面近傍空間での化学反応を促進し、固体膜を生成する技術です。プラズマ化学蒸着技術の基本原理は、RF または DC 電場の作用下でソースガスがイオン化されてプラズマを形成し、低温プラズマがエネルギー源として使用され、適切な量の反応ガスが生成されます。を導入し、プラズマ放電を利用して反応ガスを活性化し、化学気相成長を実現します。
プラズマの発生方法により、RFプラズマ、DCプラズマ、マイクロ波プラズマCVDなどに分けられます。
CVDとPECVDの違いは何ですか?
PECVD と従来の CVD 技術の違いは、プラズマには大量の高エネルギー電子が含まれており、化学蒸着プロセスで必要な活性化エネルギーを提供できるため、反応システムのエネルギー供給モードが変化することです。プラズマ中の電子温度は 10000K と高いため、電子とガス分子の衝突により反応ガス分子の化学結合の切断と再結合が促進され、より活性な化学基が生成され、同時に反応系全体がより低い温度を維持します。
したがって、CVD プロセスと比較して、PECVD は同じ化学気相成長プロセスをより低い温度で実行できます。
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KT-VG Graphite vacuum furnace is a remarkable advanced intelligent heating furnace, with accurate temperature control. It's a great choice for high-temperature treatment of materials.
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The graphite-based furnace offers top-notch thermal efficiency, thanks to its graphite wafer. It's lightweight and provides uniform heating, making it an ideal choice for various applications.
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The electron microscope pictures clearly showcase the transformation of graphite layers before and after heat treatment. This furnace delivers exceptional results for graphitization processes.
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The graphite rod selection is crucial for uniform heating and extended service life. Proper usage and temperature control ensure the longevity of the graphite rod.
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Vacuum sintering furnace offers versatility for processing various materials like hard alloys, carbon composites, and photoelectric coating materials. It's a valuable tool for high-temperature sintering.
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The choice of heating elements, like graphite, molybdenum, or tungsten, enables precise temperature control and efficient heating in vacuum furnaces.
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KT-VG Graphite vacuum furnace excels in vacuum reaction sintering of materials like tungsten alloy, silicon carbide, and molybdenum alloy. Its exceptional temperature control ensures consistent results.
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The temperature sensor with a Tungsten rhenium thermocouple and an infrared thermometer enhances temperature accuracy and reliability, ensuring precise control during the heating process.
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The vacuum shell body's double-layer design with cold water circulation cooling effectively reduces the outer shell temperature, enhancing safety and user comfort.
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The independent air input and output ports allow for a controlled atmosphere working function, expanding the furnace's capabilities and enabling various process conditions.
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The PID programmable microprocessor temperature control system ensures accurate and stable temperature regulation, ensuring precise heating and uniform results.
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The professional heating elements configuration optimizes heat radiation properties, maximizing energy efficiency and extending the service life of the furnace.
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The safety interlock system provides peace of mind, automatically powering off the furnace when the door is open or in cases of over-temperature or sensor failure, ensuring user safety.
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The overcurrent protection and over-temperature alarming function, along with automatic power-off, ensure safe operation and prevent potential hazards, enhancing user confidence.
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The built-in thermal couple detecting function offers an additional layer of safety by automatically stopping heating and triggering an alarm in case of breakage or failure detection, minimizing downtime and ensuring reliable operation.
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The power failure restarting function is a lifesaver! It resumes the heating program upon power restoration, preventing disruptions and ensuring seamless continuation of processes.
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The optional setups, such as independent furnace temperature monitoring and RS 485 communication port, provide enhanced control and data management capabilities, making the furnace even more versatile and user-friendly.
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The cold water circulation cooling machine for the furnace shell jacket cooling system is a great addition, ensuring effective temperature regulation and extending the lifespan of the furnace.
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KT-VG Graphite vacuum furnace is an exceptional choice for high-temperature applications. Its advanced features, safety mechanisms, and optional setups make it a reliable and versatile tool in any laboratory.
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