薄膜蒸着部品

炭素黒鉛ボート - カバー付き実験室管状炉

Q: 管状炉とは何ですか?

実験用管状炉は、古典的な外部加熱高温管状炉の 1 つであり、ホットウォール加熱炉とも呼ばれます。異なる使用温度に応じて、炉管の材質は通常、透明な石英管、高純度のアルミナセラミック管、高強度金属合金管になります。さまざまな熱研究目的を満たすために、管状炉は複数の加熱ゾーンを備えて設計でき、管状作業室内の温度勾配を柔軟に制御できます。炉心管は、制御された雰囲気作業環境または高真空作業環境で動作できます。

商品番号 : KM-D10

価格は以下に基づいて変動します仕様とカスタマイズ

Material: グラファイト
Specification: 35*18*100*3.5mm / 45*150*23*5mm

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応用

カバー付き管状炉炭素黒鉛ボートは、黒鉛材料で作られた特殊な容器または容器であり、極端な熱や化学的に攻撃的な環境に耐えるように設計されています。船体は通常、ボート型または長方形で、高い熱伝導率と優れた熱衝撃抵抗を備えています。制御された環境を維持しながら高温にさらす必要がある材料を加熱または含有するためにしばしば使用されます。ボートの蓋または蓋は、内容物を外部の要素や汚染から保護するのに役立ちます。カバー付き黒鉛ボートは、化学気相成長（CVD）などの用途で一般的に使用されており、これらのボートに使用される黒鉛材料は、高い融点、低い熱膨張、化学的安定性など、いくつかの望ましい特性を持っています。これらの特性により、腐食性または反応性の物質およびプロセスを含む用途に適しています。

カバー付き黒鉛ボートは、高温、腐食性環境、または制御された雰囲気を含む産業および研究環境でさまざまな用途があります。一般的な用途には次のものがあります。

化学気相成長（CVD）：カバー付き黒鉛ボートは、薄膜またはコーティングを成長させるためのCVDプロセスで広く使用されています。
熱分析：黒鉛ボートは、熱重量分析（TGA）または示差熱分析（DTA）などの熱分析技術で使用されます。
材料試験：材料試験および分析用のカバー付き黒鉛ボート
サンプル準備：乾燥、焼成、または灰化などのサンプル準備プロセスで使用できます。
るつぼ：黒鉛ボートは、冶金、合金生産、または化学合成などの用途で物質を溶融または蒸発させるためのるつぼとして使用できます。
半導体製造：半導体産業では、カバー付き黒鉛ボートは、ウェーハアニーリング、薄膜堆積のための化学気相成長（CVD）、および半導体エピタキシャル成長などのプロセスで使用されます。
研究開発：カバー付き黒鉛ボートは、材料科学、化学、物理学、工学の分野におけるさまざまな研究開発活動で使用されています。

詳細と部品

Graphite boat with cover detail 1

Graphite Crucible

技術仕様

直径/高さ/長さ/厚さ

35*18*100*3.5mm

45*150*23*5mm

表示されているるつぼは、さまざまなサイズで利用可能であり、カスタムサイズもリクエストに応じて利用可能です。

利点

耐熱性：黒鉛は融点が高く、極端な高温に耐えることができるため、黒鉛キャッピングは高温用途に適しています。
熱伝導率：効率的な熱伝達とボートの内容物の均一な加熱または冷却を可能にします。
化学的安定性：耐食性があり、ほとんどの化学物質と反応しません。
低い熱膨張：温度変化による膨張または収縮が著しくありません。
機械的強度：黒鉛ボートは一般的に強く、良好な機械的強度を持っています。
導電性：導電性または接地が必要な一部のアプリケーションで有利です。
設計の多様性：カバー付き黒鉛ボートは、さまざまな用途に合わせて、さまざまな形状、サイズ、構成で提供されます。カバーまたは蓋は、内容物の保護と封じ込めの追加層を追加します。
真空または不活性雰囲気での安定性：黒鉛ボートは、真空または不活性ガス雰囲気で安定性と耐久性を示し、制御された雰囲気が必要なプロセスに適しています。

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FAQ

管状炉とは何ですか?

実験用管状炉は、古典的な外部加熱高温管状炉の 1 つであり、ホットウォール加熱炉とも呼ばれます。

異なる使用温度に応じて、炉管の材質は通常、透明な石英管、高純度のアルミナセラミック管、高強度金属合金管になります。

さまざまな熱研究目的を満たすために、管状炉は複数の加熱ゾーンを備えて設計でき、管状作業室内の温度勾配を柔軟に制御できます。炉心管は、制御された雰囲気作業環境または高真空作業環境で動作できます。

黒鉛化炉とは

黒鉛化炉は、石油コークスやコールタールピッチなどの炭素質原料を不活性雰囲気中で高温処理し、黒鉛に変換するための特殊な装置である。黒鉛化炉の温度は2500～3000℃である。

管状炉はどのように機能するのでしょうか?

管状炉の加熱要素は円筒状キャビティの周囲に配置されます。炉は間接的な熱放射によってのみ円筒状キャビティ内のサンプルを加熱できます。これは、管状炉によりサンプル材料が炉の加熱要素や断熱材と接触するのを防ぐことができるため、管状炉はきれいな隔離された炉を作成します。チャンバーを加熱し、サンプル材料が炉によって汚染されるリスクを軽減します。