薄膜蒸着部品
カーボングラファイトボート -カバー付実験用管状炉
商品番号 : KM-D10
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
- 材料
- グラファイト
- 仕様
- 35*18*100*3.5mm / 45*150*23*5mm
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用途
管状炉カーボングラファイトボートカバー付きは、極端な熱と化学的に攻撃的な環境に耐えるように設計されたグラファイト材料で作られた特殊な容器または船です。熱伝導率が高く、耐熱衝撃性に優れています。制御された環境を維持しながら、高温にさらす必要のある物質を加熱したり、封じ込めたりするのに使われることが多い。ボートに蓋をすることで、内容物を外気や汚染から保護することができます。カバー付きグラファイトボートは、化学蒸着(CVD)などの用途で一般的に使用されており、これらのボートに使用されるグラファイト材料は、高融点、低熱膨張、化学的不活性など、いくつかの望ましい特性を持っています。これらの特性は、腐食性または反応性の物質やプロセスを含む用途に適しています。
被覆グラファイトボートは、高温、腐食性環境、または制御された大気を伴う産業および研究環境において、さまざまな用途に使用されています。一般的な用途には、以下のようなものがあります:
- 化学蒸着(CVD):被覆グラファイトボートは、薄膜やコーティングを成長させるCVDプロセスで広く使用されています。
- 熱分析:グラファイトボートは、熱重量分析(TGA)や示差熱分析(DTA)などの熱分析技術で使用されます。
- 材料試験:材料試験および分析用被覆グラファイトボート
- サンプル前処理:乾燥、脱炭酸、灰化などの試料調製プロセスで使用できます。
- るつぼ:黒鉛ボートは、冶金学、合金製造、化学合成などの用途で、物質を溶融または蒸発させるためのるつぼとして使用できます。
- 半導体製造:半導体産業では、カバー付きグラファイトボートは、ウェハーのアニール、薄膜堆積のための化学気相成長(CVD)、および半導体のエピタキシャル成長などのプロセスで使用されます。
- 研究開発カバー付きグラファイトボートは、材料科学、化学、物理学、工学の分野における様々な研究開発活動に使用されています。
詳細と部品
技術仕様
直径/高さ/長さ/厚さ | 35*18*100*3.5mm | 45*150*23*5mm |
私達が示するつぼは異なったサイズで利用でき、注文のサイズは要求あり次第利用できます。
利点
- 耐熱性:グラファイトは融点が高く、非常に高い温度に耐えることができるため、グラファイトキャッピングは高温用途に適している。
- 熱伝導性効率的な熱伝導を可能にし、船内を均一に加熱または冷却します。
- 化学的に不活性:耐腐食性があり、ほとんどの化学物質と反応しない。
- 低熱膨張:温度変化による大きな膨張・収縮がありません。
- 機械的強度グラファイトボートは一般的に強度が高く、機械的強度も高い。
- 導電性導通や接地が必要な用途で有利。
- デザインの多様性:カバー付きグラファイトボートには、さまざまな用途に適した形状、サイズ、構成があります。カバーや蓋は、内容物の保護と封じ込めをさらに強化します。
- 真空または不活性雰囲気での安定性:グラファイトボートは、真空または不活性ガス環境において安定性と耐久性を示し、制御された雰囲気を必要とするプロセスに適しています。
FAQ
タングステンボートとは何ですか?
タングステンボートを使用する利点は何ですか?
熱蒸発源とは?
高純度黒鉛るつぼはどのように作られるのでしょうか?
熱蒸発源の主な種類は何ですか?
高純度黒鉛るつぼの一般的な用途は何ですか?
熱蒸発源の仕組み
高純度黒鉛るつぼを選択する際に考慮すべき要素は何ですか?
蒸発ボートを使用する利点は何ですか?
熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか?
蒸発ボートの一般的な寿命はどれくらいですか?
熱蒸着源はどのような用途に使用されますか?
蒸発ボートは再利用できますか?
適切な蒸着ボートの材質はどのように選択すればよいですか?
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