CVDおよびPECVD炉
お客様製汎用CVD管状炉CVD装置
商品番号 : KT-CTF16
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
- 最大。温度
- 1600℃
- 一定の作業温度
- 1550℃
- 炉管径
- 60mm
- 加熱ゾーン
- 3×300mm
- 加熱速度
- 0～10℃/分
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アプリケーション
KT-CTF16 お客様専用の汎用CVD炉です。お客様のニーズに合わせて製作することができ、研究者専用の設備を実現できます。
スライド炉チャンバー、スライド/回転/傾斜/振動炉反応管、垂直流動層反応チャンバー、液体ガス化供給、真空シール連続供給および排出、有害排出物収集、パイロットCVD生産などの顧客が作成した機能。
特徴
- 制御された温度勾配のように、より長い一定温度フィールドを作成できる独立した加熱ゾーン
- PIDプログラマブル温度制御、優れた制御精度、リモート制御と集中制御をサポート
- 高精度MFC質量流量計制御、原料ガスの予混合と安定したガス供給速度
- さまざまな真空ポンプステーションの設定に対応するさまざまな適応ポートを備えたステンレス鋼製真空フランジ、優れたシール性と高真空度
- KT-CTF16 Pro は 1 つの 7 インチ TFT タッチ スクリーン コントローラーを適用し、より使いやすいプログラム設定と履歴データ分析を実現します。
さまざまな温度および設定の CVD システムが利用可能
技術仕様
| 炉モデル | KT-CTF16-60 |
| 最大。温度 | 1600℃ |
| 一定の作業温度 | 1550℃ |
| 炉管材質 | 高純度Al2O3チューブ |
| 炉管径 | 60mm |
| 加熱ゾーン | 3×300mm |
| チャンバー材質 | アルミナ多結晶ファイバー |
| 発熱体 | 炭化ケイ素 |
| 加熱速度 | 0～10℃/分 |
| 熱電対 | Sタイプ |
| 温度調節器 | デジタルPIDコントローラー/タッチスクリーンPIDコントローラー |
| 温度制御精度 | ±1℃ |
| ガス精密制御装置 | |
| 流量計 | MFC質量流量計 |
| ガスチャネル | 3チャンネル |
| 流量 | MFC1: 0-5SCCM O2 MFC2:0-20SCMCH4 MFC3: 0-100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| 直線性 | ±0.5%FS |
| 再現性 | ±0.2%FS |
| パイプラインとバルブ | ステンレス鋼 |
| 最高使用圧力 | 0.45MPa |
| 流量計コントローラ | デジタルノブコントローラー/タッチスクリーンコントローラー |
| 標準真空ユニット（オプション） | |
| 真空ポンプ | ロータリーベーン真空ポンプ |
| ポンプ流量 | 4L/S |
| 真空吸引ポート | KF25 |
| 真空計 | ピラニ/抵抗シリコン真空計 |
| 定格真空圧力 | 10Pa |
| 高真空ユニット（オプション） | |
| 真空ポンプ | ロータリーベーンポンプ+分子ポンプ |
| ポンプ流量 | 4L/S+110L/S |
| 真空吸引ポート | KF25 |
| 真空計 | 複合真空計 |
| 定格真空圧力 | 6×10-5Pa |
| 上記の仕様および設定はカスタマイズ可能です | |
標準パッケージ
| いいえ。 | 説明 | 量 |
| 1 | 炉 | 1 |
| 2 | 石英管 | 1 |
| 3 | 真空フランジ | 2 |
| 4 | チューブサーマルブロック | 2 |
| 5 | チューブサーマルブロックフック | 1 |
| 6 | 耐熱手袋 | 1 |
| 7 | 正確なガス制御 | 1 |
| 8 | バキュームユニット | 1 |
| 9 | 取扱説明書 | 1 |
オプションのセットアップ
- H2、O2 などのチューブ内ガスの検出と監視
- 独立した炉温度の監視と記録
- PC リモート制御およびデータエクスポート用の RS 485 通信ポート
- 質量流量計やフロート流量計などのインサートガス供給流量制御
- オペレーターに優しい多彩な機能を備えたタッチスクリーン温度コントローラー
- ベーン真空ポンプ、分子ポンプ、拡散ポンプなどの高真空ポンプステーションのセットアップ
警告
オペレーターの安全は最重要課題です。装置の操作には注意してください。引火性ガス、爆発性ガス、有毒ガスを扱う作業は非常に危険です。オペレーターは装置を始動する前に必要な予防措置をすべて講じる必要があります。反応器またはチャンバー内で陽圧を使用して作業するのは危険です。オペレーターは安全手順を厳密に遵守する必要があります。空気反応性材料を使用する場合、特に真空下で作業する場合には、特別な注意を払う必要があります。漏れがあると空気が装置内に引き込まれ、激しい反応が発生する可能性があります。
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