CVDおよびPECVD炉
真空ステーションCVD装置付きスプリットチャンバーCVD管状炉
商品番号 : KT-CTF12
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
- 最高温度
- 1200 ℃
- 一定作業温度
- 1100 ℃
- 炉管の直径
- 60 mm
- 加熱ゾーンの長さ
- 1x450 mm
- 加熱速度
- 0-20 ℃/min
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製品紹介
真空ステーション付きスプリットチャンバーCVD管状炉は、化学気相蒸着（CVD）アプリケーション用に設計された多用途で高性能な実験装置です。反応試料への容易なアクセスと急速冷却を可能にする分割炉室が特徴です。炉管は高温石英製で、直径60 mmです。システムには、CH4、H2、O2、N2をソースガスとする4チャンネルMFCマスフローメーターが含まれ、ガス流量を正確に制御します。真空ステーションには4L/Sロータリーベーン真空ポンプが装備され、最大真空圧10Paを達成する。その高度な機能と能力により、真空ステーション付きスプリットチャンバーCVD管状炉は、材料科学、半導体プロセス、およびその他の分野における様々な研究開発アプリケーションに理想的な選択肢です。
詳細と部品
応用例
真空ステーション付きスプリットチャンバー式CVD管状炉は、材料科学、半導体製造、研究開発の分野における様々な用途に対応するよう設計された、多用途で先進的な装置です。この装置は、温度、ガスフロー、真空レベルを正確に制御する必要があるプロセスで特に有用であり、高品質の材料合成と処理に不可欠なツールです。
- ナノ材料合成：この炉は、ナノワイヤー、ナノ薄膜、その他のナノ構造材料の成長に最適で、これらは高度な電子・光電子デバイスの開発に不可欠です。
- 真空コーティング：金属膜、セラミック膜、複合膜など、光学や電子工学などの用途で材料の特性を向上させるために不可欠な薄膜を、さまざまな基板上に成膜するために広く使用されています。
- 電池材料の加工：この炉は電池材料の乾燥・焼結に適しており、高性能電池の製造に不可欠な工程です。
- 材料の乾燥と焼結：セラミックス、耐火物、特殊材料の高温焼結に使用され、これらの材料の圧密化と緻密化を確実にします。
- 大気および真空熱処理：縦型管状炉は、小型鋼部品の焼入れ、焼なまし、焼戻し、および縦型CVDコーティングを可能にし、冶金プロセスにおける貴重な資産となっています。
- 研究開発高温実験、雰囲気焼結、還元雰囲気、CVD/CVI実験など、大学、研究機関、工業・鉱業企業で広く使用され、材料科学技術の発展に貢献しています。
特徴
真空ステーションCVD装置付きスプリットチャンバーCVD管状炉は、高度な化学蒸着（CVD）プロセス用に設計された高度な装置です。この炉は成膜の効率と品質を高める最先端技術を統合しており、研究および工業用途に最適です。主な特徴とその利点をご紹介します：
- 高い成膜速度：高周波グロー技術により、このファーネスは成膜速度を大幅に向上させ、最大10Å/Sに達します。この迅速な成膜は、ハイスループットの生産と研究に不可欠であり、時間の節約と生産性の向上につながります。
- 大面積均一性：先進のマルチポイントRF供給技術と特殊なガス経路分布により、この炉は最大8%の膜均一性を保証します。この均一性は、大面積の基板に一貫した高品質のコーティングを形成するために不可欠であり、製造される材料の信頼性を高めます。
- 一貫した成膜：先進の半導体産業コンセプトを取り入れた設計により、基板間の偏差は2%未満です。この高レベルの一貫性は、電子部品の製造など、精密で再現性の高い結果を必要とするアプリケーションに不可欠です。
- 安定したプロセス制御：装置の高い安定性は、CVDプロセスの継続性と一貫性を保証します。この信頼性は、プロセスの完全性を維持し、運転中の欠陥や故障のリスクを低減するために不可欠です。
- インテリジェント制御システム：Bonageが特許を取得した統合制御システムには、クローズドループ負帰還機構を使用した高性能温度制御システムが含まれています。このシステムは、高品質の輸入電気部品と組み合わされ、装置の全体的な性能と信頼性を高め、事実上メンテナンスフリーとなっています。
- 多彩なアプリケーション金属膜、セラミック膜、複合膜など、さまざまな種類の膜の成膜に適したこの炉は、連続成長プロセスをサポートし、プラズマ洗浄やエッチングなどの追加機能で簡単に拡張できます。この汎用性により、多様な研究・生産ニーズに対応する貴重な資産となります。
原理
真空ステーション付きスプリットチャンバーCVD管状炉は、化学気相成長（CVD）プロセスに使用される高温真空炉です。CVDは、ガスまたは蒸気の化学反応により、材料の薄膜を基板上に堆積させるプロセスです。真空ステーション付きスプリットチャンバーCVD管状炉は、CVDプロセス中に基板へのアクセスを容易にするため、スプリット炉チャンバーを採用しています。真空ステーションは炉室内を真空にし、不純物を除去して成膜品質を向上させます。
利点
- 直感的な試料観察と急速冷却炉室が分割されているため、反応試料を直接観察でき、急速冷却が可能。
- 高温対応最高使用温度は1200℃まで対応し、多様なアプリケーションに対応
- 正確なガス制御: CH4、H2、O2、N2ソースを備えた4チャンネルのMFCマスフローメーターにより、正確で安定したガス供給が保証されます。
- 真空対応4L/Sロータリーベーン真空ポンプを搭載した真空ステーションは、最大10Paの真空圧を実現し、様々な真空プロセスを可能にします。
- 高速加熱・冷却炉室スライド方式により、迅速な加熱・冷却が可能。
- 高度な温度制御優れた精度のPIDプログラマブル温度制御、リモートコントロール、集中制御機能。
- ユーザーフレンドリーなインターフェース7インチTFTタッチスクリーンを搭載したCTF Proコントローラーにより、直感的なプログラム設定とデータ解析が可能。
- 多彩な真空セットアップステンレス製真空フランジは、様々な真空ポンプステーションに対応し、真空環境をカスタマイズできます。
- エネルギー効率水冷システムとガスアフターフロー設計により、エネルギー消費を最小限に抑えます。
- 幅広い適用性CVD、拡散、および真空と大気保護下の他の熱処理に適しています。
安全性
- Kindle Tech管状炉は過電流保護と過温度警報機能を持ち、炉は自動的に電源を切ります。
- 熱カップル検出機能で炉を構築し、炉は加熱を停止し、アラームは一度壊れたか、または障害が検出されたオンになります。
- KT-CTF12 プロ サポート電源異常の再始動機能、炉は力が失敗の後で入っているとき炉の暖房プログラムを再開します
技術仕様
| 炉モデル | KT-CTF12-60 |
|---|---|
| 最高温度 | 1200℃ |
| 一定作業温度 | 1100℃ |
| 炉心管材質 | 高純度石英 |
| 炉心管直径 | 60mm |
| 加熱ゾーン長さ | 1x450mm |
| チャンバー材質 | 日本アルミナ繊維 |
| 発熱体 | Cr2Al2Mo2ワイヤーコイル |
| 加熱速度 | 0～20℃/分 |
| 熱電対 | Kタイプ |
| 温度コントローラー | デジタル PID コントローラー/タッチ画面 PID のコントローラー |
| 温度調整の正確さ | ±1℃ |
| スライド距離 | 600mm |
| ガス精密制御ユニット | |
| 流量計 | MFCマスフローメーター |
| ガスチャンネル | 4チャンネル |
| 流量 | MFC1: 0-5SCCM O2 MFC2: 0-20SCMCH4 mfc3: 0- 100sccm h2 MFC4: 0-500SCCM N2 |
| 直線性 | ±0.5% F.S. |
| 繰り返し性 | ±0.2% F.S. |
| 配管およびバルブ | ステンレス鋼 |
| 最高使用圧力 | 0.45MPa |
| 流量計コントローラー | デジタルノブコントローラー/タッチスクリーンコントローラー |
| 標準真空ユニット（オプション） | |
| 真空ポンプ | ロータリーベーン真空ポンプ |
| ポンプ流量 | 4L/S |
| 真空吸引ポート | KF25 |
| 真空計 | ピラニ/抵抗シリコン真空計 |
| 定格真空圧 | 10Pa |
| 高真空ユニット（オプション） | |
| 真空ポンプ | ロータリーベーンポンプ＋分子ポンプ |
| ポンプ流量 | 4L/S+110L/S |
| 真空吸引ポート | KF25 |
| 真空計 | 複合真空計 |
| 定格真空圧 | 6x10-5Pa |
| 上記の仕様とセットアップはカスタマイズすることができます | |
標準パッケージ
| いいえ | 内容 | 数量 |
|---|---|---|
| 1 | 炉 | 1 |
| 2 | 石英管 | 1 |
| 3 | 真空フランジ | 2 |
| 4 | チューブサーマルブロック | 2 |
| 5 | チューブサーマルブロックフック | 1 |
| 6 | 耐熱グローブ | 1 |
| 7 | 精密ガスコントロール | 1 |
| 8 | 真空ユニット | 1 |
| 9 | 操作マニュアル | 1 |
オプション設定
- H2、O2 などの管内ガス検知および監視
- 独立した炉内温度のモニタリングと記録
- RS 485 通信ポートによる PC の遠隔操作とデータのエクスポート
- 質量流量計やフロート流量計のような流量制御を供給するインサートガス
- タッチスクリーン式温度調節器と多彩なオペレーターフレンドリー機能
- ベーン真空ポンプ、分子ポンプ、拡散ポンプのような高真空ポンプステーションのセットアップ
警告
オペレーターの安全は最重要課題です。装置の操作には注意してください。引火性ガス、爆発性ガス、有毒ガスを扱う作業は非常に危険です。オペレーターは装置を始動する前に必要な予防措置をすべて講じる必要があります。反応器またはチャンバー内で陽圧を使用して作業するのは危険です。オペレーターは安全手順を厳密に遵守する必要があります。空気反応性材料を使用する場合、特に真空下で作業する場合には、特別な注意を払う必要があります。漏れがあると空気が装置内に引き込まれ、激しい反応が発生する可能性があります。
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FAQ
CVD炉とは何ですか？
化学蒸着 (CVD) は、加熱、プラズマ励起、光放射などのさまざまなエネルギー源を使用して、気相または気固界面で気体または蒸気の化学物質を化学反応させ、反応器内に固体堆積物を形成する技術です。化学反応。簡単に言うと、2 つ以上のガス状原料が反応チャンバーに導入され、それらが互いに反応して新しい材料を形成し、それを基板表面に堆積させます。
CVD炉は、高温管状炉ユニット、ガス制御ユニット、真空ユニットを備えた1つの複合炉システムであり、複合材料の調製、マイクロエレクトロニクスプロセス、半導体オプトエレクトロニクス、太陽エネルギー利用、光ファイバー通信、超伝導体の実験と生産に広く使用されています。技術、保護コーティング分野。
管状炉とは何ですか?
実験用管状炉は、古典的な外部加熱高温管状炉の 1 つであり、ホットウォール加熱炉とも呼ばれます。
異なる使用温度に応じて、炉管の材質は通常、透明な石英管、高純度のアルミナセラミック管、高強度金属合金管になります。
さまざまな熱研究目的を満たすために、管状炉は複数の加熱ゾーンを備えて設計でき、管状作業室内の温度勾配を柔軟に制御できます。炉心管は、制御された雰囲気作業環境または高真空作業環境で動作できます。
真空炉って何に使うの？
CVD炉はどのように動作するのですか?
CVD炉システムは、高温管状炉ユニット、反応ガス源精密制御ユニット、真空ポンプステーションおよび対応する組立部品で構成されています。
真空ポンプは反応管から空気を除去し、反応管内に不要なガスがないことを確認します。その後、管状炉が反応管を目標温度まで加熱し、反応ガス源の精密制御ユニットがさまざまなガスを導入できます。化学反応用の炉管内に設定された比率のガスが導入され、CVD 炉内で化学気相成長が形成されます。
管状炉はどのように機能するのでしょうか?
管状炉の加熱要素は円筒状キャビティの周囲に配置されます。炉は間接的な熱放射によってのみ円筒状キャビティ内のサンプルを加熱できます。これは、管状炉によりサンプル材料が炉の加熱要素や断熱材と接触するのを防ぐことができるため、管状炉はきれいな隔離された炉を作成します。チャンバーを加熱し、サンプル材料が炉によって汚染されるリスクを軽減します。
Mpcvdとは何ですか?
真空炉ではどのようなプロセスが行われるのでしょうか？
CVDプロセスで使用されるガスは何ですか?
CVD プロセスでは使用できるガス源が膨大にあり、CVD の一般的な化学反応には熱分解、光分解、還元、酸化、酸化還元が含まれるため、これらの化学反応に関与するガスを CVD プロセスで使用できます。
CVD グラフェン成長を例に挙げます。CVD プロセスで使用されるガスは CH4、H2、O2、N2 です。
管状炉の用途は何ですか?
管状炉は主に冶金、ガラス、熱処理、リチウムアノードおよびカソード材料、新エネルギー、研磨材およびその他の産業で使用され、特定の温度条件下で材料を測定するための専門的な機器です。
シンプルな構造、簡単な操作、簡単な制御、連続生産が特徴の管状炉です。
管状炉は、CVD (化学気相成長) およびプラズマ強化 CVD システムにも広く適用されています。
Mpcvdマシンとは何ですか?
真空炉で使用されるガスは何ですか?
CVD装置の利点は何ですか？
- 金属膜、非金属膜、多成分合金膜など、ご要望に応じて幅広い膜の製造が可能です。同時に、GaNやBPなど他の方法では得られない高品質な結晶を作製することができます。
- 成膜速度は速く、通常は毎分数ミクロン、場合によっては毎分数百ミクロンです。液相エピタキシー（LPE）や分子線エピタキシー（MBE）など他の成膜法とは比べものにならない、均一な組成のコーティングを同時に大量に成膜することが可能です。
- 作業条件は常圧または低真空条件下で行われるため、コーティングの回折性が良好で、複雑な形状のワークピースでも均一にコーティングでき、PVD に比べてはるかに優れています。
- 反応ガス、反応生成物、基材の相互拡散により、耐摩耗性や耐腐食性の皮膜などの表面強化皮膜の作製に重要な密着強度の高い皮膜が得られます。
- 一部のフィルムは、フィルム材料の融点よりもはるかに低い温度で成長します。低温成長条件下では、反応ガスと反応炉壁およびそれらに含まれる不純物とがほとんど反応しないため、高純度で結晶性の良い膜が得られる。
- 化学気相成長法では平滑な成膜面が得られます。これは、LPE と比較して、化学気相成長 (CVD) が高飽和下で行われるため、核生成率が高く、核生成密度が高く、面内均一に分布するため、巨視的に滑らかな表面が得られます。同時に、化学蒸着では、分子（原子）の平均自由行程が LPE よりもはるかに大きいため、分子の空間分布がより均一になり、滑らかな蒸着表面の形成に役立ちます。
- 金属酸化物半導体（MOS）やその他のデバイスの製造に必要な条件である放射線ダメージが低い
管状炉の種類は何種類ありますか?
管状炉はさまざまな機械的機能をスムーズに動作させることができるため、さまざまな実験目的に応じてさまざまなタイプの管状炉のバリエーションがあり、代表的な炉炉は次のとおりです。
- 横型管状炉
- 縦型管状炉
- 分割管状炉
- ロータリー管状炉
- 傾斜管状炉
- スライド管状炉
- 高速加熱冷却管状炉
- 連続供給・排出管状炉
Mpcvd の利点は何ですか?
真空炉で使用される発熱体とは何ですか?
PECVD とは何の略ですか?
PECVDは、プラズマを利用して反応ガスを活性化し、基板表面または表面近傍空間での化学反応を促進し、固体膜を生成する技術です。プラズマ化学蒸着技術の基本原理は、RF または DC 電場の作用下でソースガスがイオン化されてプラズマを形成し、低温プラズマがエネルギー源として使用され、適切な量の反応ガスが生成されます。を導入し、プラズマ放電を利用して反応ガスを活性化し、化学気相成長を実現します。
プラズマの発生方法により、RFプラズマ、DCプラズマ、マイクロ波プラズマCVDなどに分けられます。
CVD ダイヤモンドは本物ですか、それとも偽物ですか?
CVDとPECVDの違いは何ですか?
PECVD と従来の CVD 技術の違いは、プラズマには大量の高エネルギー電子が含まれており、化学蒸着プロセスで必要な活性化エネルギーを提供できるため、反応システムのエネルギー供給モードが変化することです。プラズマ中の電子温度は 10000K と高いため、電子とガス分子の衝突により反応ガス分子の化学結合の切断と再結合が促進され、より活性な化学基が生成され、同時に反応系全体がより低い温度を維持します。
したがって、CVD プロセスと比較して、PECVD は同じ化学気相成長プロセスをより低い温度で実行できます。
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