研究室のコーティングには、蒸着コーティング、スパッタリング、化学蒸着など、いくつかの一般的な方法が使用されます。
各種材質の蒸着ボート、蒸着るつぼ、蒸着ワイヤー、窒化ホウ素セラミックス、各種プレート、スパッタリングターゲットなどのコーティングアクセサリーを幅広く取り揃えております。
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薄膜蒸着部品
商品番号 : KME01
商品番号 : KME01-2
商品番号 : KMS06
商品番号 : LMF-TEB
商品番号 : KM-D11
商品番号 : KM-D10
商品番号 : KM-D9
商品番号 : KM-D8
商品番号 : KM-D7
商品番号 : KM-D6
商品番号 : KM-D5
商品番号 : KM-D4
六方晶窒化ホウ素 (HBN) スペーサー - カムプロファイルとさまざまなタイプのスペーサー
商品番号 : KE-D3
商品番号 : KM-D02
商品番号 : KM-D01
商品番号 : KME-YD
電子ビーム蒸着 / 金メッキ / タングステンるつぼ / モリブデンるつぼ
商品番号 : KMS05
電子ビーム蒸着コーティングタングステンるつぼ/モリブデンるつぼ
商品番号 : KMS04
電子ビーム蒸着コーティング導電性窒化ホウ素るつぼ（BNるつぼ）
商品番号 : KES03
商品番号 : KMS02
商品番号 : KES01
商品番号 : KME09
商品番号 : KME08
商品番号 : KME07
商品番号 : KME-DL
商品番号 : KME-YJG
商品番号 : KME-YJ
折りたたみモリブデンボート/タンタルボートカバーの有無にかかわらず
商品番号 : KME-ZDZ
蒸着塗装
薄膜堆積では、多くの場合、主な方法として蒸着が使用されます。このプロセス中、ソース材料は真空内で蒸発し、蒸気粒子がターゲットの物体または基板に直接移動します。そこに到達すると、粒子は凝結して固体状態に戻ります。この技術は微細加工だけでなく、金属蒸着プラスチックフィルムなどのマクロスケール製品の製造にも活用されています。
蒸着塗装に使用する設備
真空ポンプの使用は、蒸着する材料を蒸発させるためのエネルギー源を必要とするあらゆる蒸着システムにおいて不可欠なコンポーネントです。次のようなさまざまなエネルギー源が利用可能です。
熱法では、金属材料は通常、「ボート」としても知られる加熱された半金属蒸発器に供給され、ボートのキャビティ内に溶融金属のプールが形成され、蒸発源の上の雲になります。あるいは、原料を坩堝に入れるか、フィラメントで放射加熱するか、フィラメント自体から吊るすこともできます (フィラメント蒸発)。
分子線エピタキシーは、熱蒸着の先進的な形式です。
電子ビーム法では、最大 15 keV のエネルギーの電子ビームによってソースが加熱されます。
フラッシュ蒸発では、原材料の細いワイヤーまたは粉末を高温のセラミックまたは金属の棒上に連続的に供給し、接触すると蒸発させます。
抵抗蒸着は、蒸着する材料を含む抵抗ワイヤまたは箔に大電流を流すことによって実現されます。加熱要素は「蒸発源」と呼ばれることがよくあります。ワイヤータイプの蒸発源はタングステンワイヤーから作られており、フィラメント、バスケット、ヒーター、またはループ状の点源に形成できます。ボート型蒸発源は、高温に耐えられるタングステン、タンタル、モリブデン、またはセラミック系の材料で作られています。
場合によっては、基板は、影を最小限に抑えるために 2 つの軸の周りを同時に回転させる面外遊星機構に取り付けられます。
外部リンク
KinTek Lab フィルム コーティング部品
当社では、蒸着ボート、るつぼ、ワイヤー、窒化ホウ素セラミックス、プレート、スパッタリングターゲットなどを含む、あらゆるコーティングアクセサリを提供しています。ご相談に応じます。
FAQ
タングステンボートとは何ですか？
タングステンボートは、タングステン金属で作られた小さな容器またはトレイです。これらは、さまざまな産業用途や実験室用途で材料を高温で保持および輸送できるように設計されています。タングステン ボートは、蒸着、焼結、熱分析などのプロセスでよく使用されます。
タングステンボートを使用する利点は何ですか?
タングステンボートには、高温用途においていくつかの利点があります。まず、タングステンの融点は 3,422°C と非常に高く、非常に高温の環境での使用に適しています。タングステンボートは熱伝導率にも優れているため、効率的な熱伝達と処理対象の材料の均一な加熱が可能になります。機械的強度が高く、高温でも変形や反りに耐えることができます。タングステンは化学腐食に対する耐性が高いため、タングステンボートは幅広い材料や環境に適合します。さらに、タングステンは蒸気圧が低いため、蒸気による汚染が最小限に抑えられ、高純度用途に適しています。タングステンボートは寿命が長く、大きな劣化なく繰り返し使用できます。
窒化ホウ素セラミック部品の用途は何ですか?
窒化ホウ素セラミック部品はさまざまな業界で応用されています。これらは、熱管理システム、るつぼ、ヒーター、断熱材などの高温環境で一般的に使用されます。窒化ホウ素セラミック部品は、その優れた熱伝導性により、ヒートシンク、電子デバイスの基板、および高出力エレクトロニクスのコンポーネントとして使用されます。また、航空宇宙産業でも、ロケット ノズルや熱シールドなど、軽量で高温耐性が必要な用途に使用されています。窒化ホウ素セラミック部品は、半導体業界でもウェーハキャリア、結晶成長用るつぼ、絶縁体として使用されています。さらに、化学的不活性性と耐腐食性により腐食性物質の取り扱いに適しているため、化学産業でも用途が見つかります。
熱素子とは何ですか?
熱素子は、物体または空間の温度を上昇させるために電気エネルギーを熱に変換するデバイスです。熱素子には、管状加熱素子、放射加熱素子、組み合わせ加熱素子システムなど、いくつかの種類があります。熱伝達は熱抵抗と熱容量によって発生し、熱源には電源、温度源、流体の流れの 3 つがあります。熱素子は、実験室の機器だけでなく、さまざまな家庭用および産業用の用途でも一般的に使用されています。
高純度黒鉛るつぼはどのように作られるのでしょうか？
高純度グラファイトるつぼは通常、静水圧プレスと呼ばれるプロセスを通じて製造されます。黒鉛粉末をゴム型に入れ、全方向から高圧を加える方法です。この圧力により、黒鉛粒子が緻密で均一なるつぼ形状に圧縮されます。次に、るつぼを高温に加熱して不純物を除去し、純度を高めます。
窒化ホウ素セラミック部品を使用する利点は何ですか?
窒化ホウ素セラミック部品を使用すると、いくつかの利点があります。まず、熱伝導率が高いため効率的な熱伝達が可能となり、熱放散や熱管理が必要な用途に最適です。第二に、窒化ホウ素セラミックは優れた電気絶縁特性を示し、電気および電子用途に適しています。誘電損失が低く、絶縁耐力が高いため、高温でも確実な電気絶縁が可能です。さらに、窒化ホウ素セラミック部品は摩擦係数が低いため、低摩擦が求められる用途において優れた潤滑性と耐摩耗性を実現します。また、化学的に不活性であるため、ほとんどの酸、アルカリ、溶融金属に対して耐性があります。窒化ホウ素セラミック部品は、大きな変形や劣化を起こすことなく高温に耐えることができるため、極端な環境での使用に適しています。
感熱素子はどのように機能するのでしょうか?
熱素子は、ジュール加熱のプロセスを通じて電気エネルギーを熱に変換することで機能します。素子に電流が流れると抵抗が生じ、素子が発熱します。金属およびセラミックの発熱体は、電気抵抗加熱の原理に基づいて動作し、材料を通る電気の流れに抵抗することによって熱を発生します。材料の電気抵抗係数によって、材料を流れる電流量に比例して熱を発生する能力が決まります。発生した熱は熱処理チャンバー内に外部に放射され、感熱素子は非常に効果的な熱発生方法となります。
高純度黒鉛るつぼの一般的な用途は何ですか?
高純度黒鉛るつぼは、冶金、鋳造所、研究所などの業界で幅広い用途に使用されます。これらは、アルミニウム、銅、貴金属などの非鉄金属の溶解および鋳造に一般的に使用されます。高純度黒鉛るつぼは、合金や高温セラミックスの製造にも使用されます。これらは、研究室での化学分析、分光法、サンプル調製などのプロセスに不可欠です。さらに、これらのるつぼは、半導体産業においてシリコンや他の半導体材料の溶融および成長に応用されています。
窒化ホウ素セラミック部品を選択する際にはどのような点に注意する必要がありますか?
窒化ホウ素セラミック部品を選択する際には、いくつかの考慮事項を考慮する必要があります。まず、温度範囲、電気絶縁特性、熱伝導率、機械的強度、耐薬品性など、特定のアプリケーション要件を評価する必要があります。これは、選択する窒化ホウ素セラミックの適切なグレードまたは配合を決定するのに役立ちます。第二に、利用可能なプロセスと設備を使用してセラミック部品を製造できるように、セラミック部品の設計と形状を考慮する必要があります。寸法公差と表面仕上げの要件も考慮する必要があります。さらに、窒化ホウ素の製造プロセスやグレードによってコストが異なる可能性があるため、窒化ホウ素セラミック部品のコストと入手可能性を考慮する必要があります。選択した窒化ホウ素セラミック部品が特定の用途要件を満たしていることを確認するには、メーカーまたはその分野の専門家に相談することをお勧めします。
蒸発ボートを使用する利点は何ですか?
蒸着ボートは、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点をもたらします。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御します。蒸発ボートは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を実現します。さまざまなサイズや形状が用意されており、さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できます。蒸着ボートを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料の蒸着が可能になります。ロードとアンロードが簡単で、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸着ボートは薄膜蒸着技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。
蒸発るつぼに使用される一般的な材料は何ですか?
蒸発るつぼは通常、タングステン、タンタル、モリブデン、グラファイト、セラミック化合物などの材料で作られています。これらの材料は融点が高く、熱伝導率が良いため、蒸着時に必要な高温条件に適しています。るつぼの材料の選択は、蒸発材料、必要な膜特性、プロセスパラメータなどの要因によって異なります。
高純度黒鉛るつぼを選択する際に考慮すべき要素は何ですか?
高純度黒鉛るつぼを選択するときは、いくつかの要素を考慮する必要があります。まず、るつぼのサイズと容量は、意図した用途と、溶解または処理される材料の量に適合している必要があります。るつぼの熱伝導率、耐熱衝撃性、化学的適合性を評価して、特定のプロセス要件を確実に満たす必要があります。汚染を最小限に抑え、優れた性能を確保するには、高純度レベルの高品質グラファイト材料で作られたるつぼを選択することが重要です。取り扱いを容易にするハンドルや注ぎ口の有無など、るつぼの設計と構造も考慮する必要があります。さらに、特定の用途に最適な高純度黒鉛るつぼを確実に選択するには、メーカーまたはその分野の専門家に相談することをお勧めします。
窒化ホウ素セラミック部品の製造にはどのような製造プロセスが使用されますか?
窒化ホウ素セラミック部品の製造には、いくつかの製造プロセスを使用できます。最も一般的な方法には、ホット プレス、熱間静水圧プレス (HIP)、スリップ キャスティングなどがあります。ホットプレスでは、高圧および高温下で窒化ホウ素粉末を圧縮して緻密なセラミックを形成します。 HIP では、窒化ホウ素粉末成形体を不活性ガス環境中で高温高圧にさらして、さらに高い密度を達成し、残留気孔を除去します。スリップキャスティングでは、窒化ホウ素粉末と結合剤のスラリーを形成し、それを型に流し込み、その後グリーンボディを乾燥および焼成して最終的なセラミック部品を製造します。所望の形状や仕様に応じて、押出成形、射出成形、機械加工などの他のプロセスを使用して窒化ホウ素セラミック部品を成形および仕上げることもできます。
蒸発ボートの一般的な寿命はどれくらいですか?
蒸発ボートの寿命は、いくつかの要因によって異なります。これは主にボートに使用されている材質、動作条件、使用頻度によって異なります。タングステンやモリブデンなどの高融点金属で作られた蒸着ボートは、一般にセラミック材料で作られたボートに比べて耐久性が高く、寿命が長くなります。適切な取り扱い、定期的なメンテナンス、および適切な洗浄手順により、蒸着ボートは通常、複数の蒸着サイクルに使用できます。ただし、時間の経過とともに、蒸発ボートには亀裂や劣化などの磨耗が発生し、寿命が短くなる可能性があります。安定した信頼性の高い薄膜成膜を実現するには、蒸着ボートの状態を監視し、定期的に検査を実施し、必要に応じて交換することが重要です。
蒸発るつぼを使用する利点は何ですか?
蒸発るつぼには、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点があります。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御できます。るつぼは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を保証します。さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できるよう、さまざまなサイズや形状が用意されています。蒸発るつぼを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料を蒸着することもできます。簡単にロードおよびアンロードできるため、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸発るつぼは薄膜堆積技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。
蒸発ボートは再利用できますか?
蒸発ボートは再利用できますが、それはいくつかの要因によって異なります。ボートの状態、清浄度、さまざまな蒸発材料との適合性が、再利用できるかどうかを決定する上で重要な役割を果たします。蒸着ボートが良好な状態にあり、亀裂や欠陥がなく、徹底的に洗浄されている場合は、通常、その後の蒸着に再利用できます。ただし、ボートが反応性物質にさらされている場合、または劣化の兆候がある場合は、再利用に適さない可能性があります。蒸発ボートを再利用する場合は、汚染や望ましくない反応が発生する可能性を考慮してください。ボートの性能を維持し、再利用への適合性を確保するには、定期的な検査と適切な洗浄手順が不可欠です。
蒸発るつぼはどのように取り扱い、メンテナンスすればよいですか?
蒸発るつぼは、寿命と性能を確保するために、慎重に取り扱い、維持する必要があります。るつぼは毎回使用する前に徹底的に洗浄して、以前の堆積からの残留物質を除去する必要があります。るつぼの表面を損傷する可能性のある研磨材の使用は避けてください。ロードおよびアンロードの際は、汚染を防ぐために、清潔な手袋または専用のツールを使用してるつぼを扱ってください。使用しないときは、腐食や劣化を避けるために、るつぼを乾燥した清潔な環境に保管してください。るつぼに亀裂、欠陥、摩耗の兆候がないか定期的に検査することは、蒸着プロセス中の予期せぬ故障を防ぐために重要です。るつぼの寿命を延ばすために、アニーリングや表面処理などの特定のメンテナンス手順については、メーカーの推奨事項に従ってください。
適切な蒸着ボートの材質はどのように選択すればよいですか?
適切な蒸発ボートの材料の選択は、いくつかの要因によって決まります。ボートの故障を防ぐために、蒸発する材料の融点を考慮し、より高い融点を持つボート材料を選択してください。また、反応や汚染を避けるために、ボートの材質と蒸発剤の適合性も考慮してください。蒸発時の効率的な熱伝達と温度制御のために、ボートの熱伝導率と熱容量を評価する必要があります。さらに、強度や耐久性などのボートの機械的特性を考慮して、繰り返しの加熱と冷却のサイクルに耐えられることを確認します。
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