薄膜蒸着部品
電子銃ビームるつぼ
商品番号 : KES01
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
- 材料
- タンタル / モリブデン / タングステン
- 仕様
- 4CC / 7CC /15CC / 25CC / 40CC
配送:
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アプリケーション
電子銃は、るつぼに向けて強力な電子ビームを発生させる。電子は、るつぼ内の物質を原子または分子クラスターになるまで加熱する。電子銃ビーム蒸発法では、るつぼは蒸着する材料を入れて加熱する容器のようなものである。るつぼは、溶けることなく高温に耐えられる特殊な素材でできている。蒸発する材料に熱を集中させるのに役立つ。
主に以下のような用途に使用される：
- 薄膜蒸着：電子ビーム蒸着、電子デバイスの薄膜製造、光学コーティング、材料の表面改質などの薄膜蒸着技術に広く使用されている。
- 半導体産業：相互接続、オーミックコンタクト、拡散バリアとしての金属薄膜の成膜。
- 光学およびオプトエレクトロニクス光学コーティング、反射防止コーティング、各種光学機器用ミラー。
詳細・部品
技術仕様
| 製品 | モリブデン/タングステンるつぼ | 窒化ホウ素るつぼ/導電性窒化ホウ素るつぼ | 黒鉛るつぼ/被覆黒鉛るつぼ | 熱分解黒鉛被覆るつぼ | ニッケルるつぼ | チタンるつぼ | 銅るつぼ | アルミナるつぼ |
| 仕様 | 4cc / 7cc / 15cc / 25cc / 40cc | 4cc/7cc/15cc/25cc/40cc | 4cc / 7cc / 15cc / 25cc / 40cc | 4CC / 7CC | 4CC | 4CC | 4cc / 2cc / 40cc | 4CC |
私たちが示するつぼは、異なるサイズで利用可能であり、ご要望に応じてカスタムサイズも利用可能です。
利点
- 高い蒸発率
- 熱安定性向上、均一加熱
- るつぼに伝わる熱を低減。
- 迅速な材料交換が可能で、チャンバーのダウンタイムを最小限に抑えます。
- 真空適合性；高純度メンブレン。
- 多用途性；複数の材料に対応
- るつぼの損傷とメンテナンスを最小限に抑えます。
- これらの利点により、電子銃ビームるつぼは薄膜蒸着プロセスにおける重要なツールとなり、様々な産業および研究分野に精密な制御、高い蒸着速度、高品質の薄膜を提供します。
FAQ
熱蒸発源とは？
熱蒸着と電子ビーム蒸着の比較。
熱蒸発源の主な種類は何ですか？
熱蒸発源の仕組み
蒸発るつぼに使用される一般的な材料は何ですか?
熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか？
蒸発るつぼを使用する利点は何ですか?
熱蒸着源はどのような用途に使用されますか？
蒸発るつぼはどのように取り扱い、メンテナンスすればよいですか?
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The Electron Gun Beam Crucible is a reliable product that delivers consistent results. It is made from high-quality materials and is built to last.
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