製品 ラボ用消耗品と材料 薄膜蒸着部品 セラミック蒸着ボートセット
セラミック蒸着ボートセット

薄膜蒸着部品

セラミック蒸着ボートセット

商品番号 : KME09

価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ


材料
セラミックるつぼ/タングステン線
セラミックるつぼサイズ
0.25ml / 0.5ml / 1.0ml / 2.0ml / 3.0ml
タングステン線のサイズ
3*0.8 ワイヤー / 3*1.0mm ワイヤー / 3*0.8 ワイヤー
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アプリケーション

コンボ ボート コンポーネントは、物理蒸着 (PVD)、特に熱蒸着と呼ばれるプロセスで使用されます。 それらはセラミックボートとタングステンワイヤーで構成されています。 セラミック蒸着ボートはアルミナやグラファイトなどの材料でできており、蒸着する材料を保持するために使用されます。 ボートが加熱されると、材料が固体から気体に変化し、蒸発を制御できるようになります。 ボートの形状は、効率的な蒸着のために蒸気を基板に導くのに役立ちます。 加熱コイルとしてタングステン線が使用されています。 電源に接続されており、電流が流れると抵抗によりワイヤーが発熱します。 ワイヤは融点が高く、熱伝導率が良いため、この作業に適しています。 熱を与えることで、ワイヤーがセラミック ボート内の材料を蒸発させ、蒸発の制御を実現します。

詳細と パーツ

セラミック蒸着ボート セット

セラミック蒸着ボートセット

セラミック蒸着ボートセット

セラミック蒸着ボートセット
サポートされるセラミックるつぼの仕様: 0.25ml/0.5ml/1.0ml/2.0ml/3.0ml
セラミック蒸着ボートセット
タングステンワイヤーバスケットの仕様:3*1.0 ワイヤー-2.0ml / 3*0.8 ワイヤー-1.0ml / 3*0.8 ワイヤー-0.5ml

技術仕様

<テーブル> <本体>素材セラミックるつぼ / タングステン ワイヤーセラミックるつぼのサイズ0.25ml / 0.5ml / 1.0ml / 2.0ml / 3.0mlタングステン ワイヤのサイズ3*0.8 ワイヤー / 3*1.0 ワイヤー / 3*0.8 ワイヤー

ここで紹介するるつぼはさまざまなサイズで利用でき、リクエストに応じてカスタム サイズも利用できます。

利点

  • 正確な成膜制御
  • 材料堆積における多用途性
  • 高温耐性
  • 効率的な熱伝達
  • 再現性と再現性のある結果
  • 薄膜蒸着のコスト効率が高い

FAQ

タングステンボートとは何ですか?

タングステンボートは、タングステン金属で作られた小さな容器またはトレイです。これらは、さまざまな産業用途や実験室用途で材料を高温で保持および輸送できるように設計されています。タングステン ボートは、蒸着、焼結、熱分析などのプロセスでよく使用されます。

タングステンボートを使用する利点は何ですか?

タングステンボートには、高温用途においていくつかの利点があります。まず、タングステンの融点は 3,422°C と非常に高く、非常に高温の環境での使用に適しています。タングステンボートは熱伝導率にも優れているため、効率的な熱伝達と処理対象の材料の均一な加熱が可能になります。機械的強度が高く、高温でも変形や反りに耐えることができます。タングステンは化学腐食に対する耐性が高いため、タングステンボートは幅広い材料や環境に適合します。さらに、タングステンは蒸気圧が低いため、蒸気による汚染が最小限に抑えられ、高純度用途に適しています。タングステンボートは寿命が長く、大きな劣化なく繰り返し使用できます。

熱蒸発源とは?

熱蒸発源は、基板上に薄膜を蒸着する熱蒸発システムで使用される装置である。材料(蒸発剤)を高温に加熱して蒸発させ、基板上に凝縮させて薄膜を形成します。

熱蒸発源の主な種類は何ですか?

熱蒸発源の主な種類には、抵抗蒸発源、電子ビーム蒸発源、フラッシュ蒸発源があります。それぞれのタイプは、抵抗加熱、電子ビーム加熱、高温表面との直接接触など、蒸発物を加熱する方法が異なります。

熱蒸発源の仕組み

熱蒸発源は、高温に加熱された抵抗体に電流を流すことで機能します。この熱が蒸発剤に伝わり、蒸発剤が溶けて気化します。その後、蒸気は真空チャンバーを通って基板上に凝縮し、薄膜を形成する。

蒸発ボートを使用する利点は何ですか?

蒸着ボートは、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点をもたらします。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御します。蒸発ボートは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を実現します。さまざまなサイズや形状が用意されており、さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できます。蒸着ボートを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料の蒸着が可能になります。ロードとアンロードが簡単で、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸着ボートは薄膜蒸着技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。

蒸発るつぼに使用される一般的な材料は何ですか?

蒸発るつぼは通常、タングステン、タンタル、モリブデン、グラファイト、セラミック化合物などの材料で作られています。これらの材料は融点が高く、熱伝導率が良いため、蒸着時に必要な高温条件に適しています。るつぼの材料の選択は、蒸発材料、必要な膜特性、プロセスパラメータなどの要因によって異なります。

熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか?

熱蒸発源の利点には、高い蒸着速度、良好な指向性、優れた均一性、様々な材料との適合性などがある。また、比較的シンプルで安価であるため、薄膜蒸着における幅広い用途に適しています。

蒸発ボートの一般的な寿命はどれくらいですか?

蒸発ボートの寿命は、いくつかの要因によって異なります。これは主にボートに使用されている材質、動作条件、使用頻度によって異なります。タングステンやモリブデンなどの高融点金属で作られた蒸着ボートは、一般にセラミック材料で作られたボートに比べて耐久性が高く、寿命が長くなります。適切な取り扱い、定期的なメンテナンス、および適切な洗浄手順により、蒸着ボートは通常、複数の蒸着サイクルに使用できます。ただし、時間の経過とともに、蒸発ボートには亀裂や劣化などの磨耗が発生し、寿命が短くなる可能性があります。安定した信頼性の高い薄膜成膜を実現するには、蒸着ボートの状態を監視し、定期的に検査を実施し、必要に応じて交換することが重要です。

蒸発るつぼを使用する利点は何ですか?

蒸発るつぼには、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点があります。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御できます。るつぼは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を保証します。さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できるよう、さまざまなサイズや形状が用意されています。蒸発るつぼを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料を蒸着することもできます。簡単にロードおよびアンロードできるため、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸発るつぼは薄膜堆積技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。

熱蒸着源はどのような用途に使用されますか?

熱蒸着ソースは、光学コーティング、半導体デバイス、各種薄膜の製造など、様々な用途で使用されています。特に、基板への材料の蒸着に精密な制御を必要とする産業で有用です。

蒸発ボートは再利用できますか?

蒸発ボートは再利用できますが、それはいくつかの要因によって異なります。ボートの状態、清浄度、さまざまな蒸発材料との適合性が、再利用できるかどうかを決定する上で重要な役割を果たします。蒸着ボートが良好な状態にあり、亀裂や欠陥がなく、徹底的に洗浄されている場合は、通常、その後の蒸着に再利用できます。ただし、ボートが反応性物質にさらされている場合、または劣化の兆候がある場合は、再利用に適さない可能性があります。蒸発ボートを再利用する場合は、汚染や望ましくない反応が発生する可能性を考慮してください。ボートの性能を維持し、再利用への適合性を確保するには、定期的な検査と適切な洗浄手順が不可欠です。

蒸発るつぼはどのように取り扱い、メンテナンスすればよいですか?

蒸発るつぼは、寿命と性能を確保するために、慎重に取り扱い、維持する必要があります。るつぼは毎回使用する前に徹底的に洗浄して、以前の堆積からの残留物質を除去する必要があります。るつぼの表面を損傷する可能性のある研磨材の使用は避けてください。ロードおよびアンロードの際は、汚染を防ぐために、清潔な手袋または専用のツールを使用してるつぼを扱ってください。使用しないときは、腐食や劣化を避けるために、るつぼを乾燥した清潔な環境に保管してください。るつぼに亀裂、欠陥、摩耗の兆候がないか定期的に検査することは、蒸着プロセス中の予期せぬ故障を防ぐために重要です。るつぼの寿命を延ばすために、アニーリングや表面処理などの特定のメンテナンス手順については、メーカーの推奨事項に従ってください。

適切な蒸着ボートの材質はどのように選択すればよいですか?

適切な蒸発ボートの材料の選択は、いくつかの要因によって決まります。ボートの故障を防ぐために、蒸発する材料の融点を考慮し、より高い融点を持つボート材料を選択してください。また、反応や汚染を避けるために、ボートの材質と蒸発剤の適合性も考慮してください。蒸発時の効率的な熱伝達と温度制御のために、ボートの熱伝導率と熱容量を評価する必要があります。さらに、強度や耐久性などのボートの機械的特性を考慮して、繰り返しの加熱と冷却のサイクルに耐えられることを確認します。
この製品に関するよくある質問をもっと見る

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These ceramic boats are a game-changer for my lab. The quality is top-notch and they've held up well.

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KINTEK's evaporation boats provide precise film deposition control. I highly recommend them for thin film deposition.

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