製品 ラボ用消耗品と材料 薄膜蒸着部品 モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボート
モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボート

薄膜蒸着部品

モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボート

商品番号 : KME01

価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ


材料
タングステン / モリブデン / タンタル
仕様
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はじめに

蒸発ボートは、抵抗蒸発法において材料を加熱蒸発させるために使用される。蒸発ボートは、タングステン、モリブデン、モリブデン-ランタン(ML)、モリブデン-イットリウム酸化物(MY)、タンタルなどの蒸気圧の低い材料で作られており、蒸気や最終層にボートの材料の粒子が入らないようになっています。蒸発ボートは、優れた耐食性、低い蒸気圧、良好な電気伝導性、非常に高い融点を持ち、寸法的に安定している。

用途

蒸発ボートソースは、金属、合金、材料を蒸着する熱蒸発システムで使用されます。タングステン、タンタル、モリブデン製のさまざまな厚さのものがあり、さまざまな電源との互換性を確保しています。これらのボートは、電子ビーム加工を含む真空蒸着や薄膜蒸着に不可欠です。真空コーティング、エレクトロニクス、太陽エネルギー、冶金などの産業で広く採用されている。ひび割れを防ぐには、容器を徐々に加熱することが不可欠です。蒸発ボートは、材料分析や薄膜蒸着プロセスで重要な役割を果たす万能ツールである。

モリブデン、タングステン、タンタルの蒸着ボートは、以下のような様々な産業で使用されています:

  • 材料の真空蒸着
  • 炉機械でのボートの運搬
  • レアアース産業
  • 核燃料焼結
  • コンデンサー放電焼結

詳細と部品

モリブデン/タングステン/タンタル蒸発ボートの詳細1

モリブデン/タングステン/タンタル蒸発ボートの詳細2

モリブデン/タングステン/タンタル蒸発ボートの詳細3

長さ100 幅8 厚さ0.2/0.3mm 長さ100 幅15 厚さ0.2/0.3/0.5mm 長さ100 幅20 厚さ0.2/0.3/0.5mm 溝サイズ:長さ50 深さ2.6

使用原理

モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボートは、様々な金属、合金、材料を蒸着する熱蒸着システムに使用されます。ボートに電流を流して加熱し、材料を蒸発させる。蒸発した材料は基板上で凝縮し、薄膜を形成する。膜の厚さは、ボートに流す電流の量と蒸発時間によって制御できる。

利点

  • 優れた耐食性
  • 蒸気圧が低い
  • 優れた電気伝導性
  • 非常に高い融点
  • 寸法安定性が高い

FAQ

熱蒸発源とは?

熱蒸発源は、基板上に薄膜を蒸着する熱蒸発システムで使用される装置である。材料(蒸発剤)を高温に加熱して蒸発させ、基板上に凝縮させて薄膜を形成します。

蒸発ボートの使用上の注意。

分析対象物をるつぼまたはサガーに入れて加熱します。加熱温度の増減は装置や製品の特性によって異なります。加熱または冷却が速すぎると、蒸発ボートが破損する可能性があります。最善の策は、ボートの寿命を延ばすために、加熱プロセスを遅くすることです。

熱蒸発源の主な種類は何ですか?

熱蒸発源の主な種類には、抵抗蒸発源、電子ビーム蒸発源、フラッシュ蒸発源があります。それぞれのタイプは、抵抗加熱、電子ビーム加熱、高温表面との直接接触など、蒸発物を加熱する方法が異なります。

熱蒸発源の仕組み

熱蒸発源は、高温に加熱された抵抗体に電流を流すことで機能します。この熱が蒸発剤に伝わり、蒸発剤が溶けて気化します。その後、蒸気は真空チャンバーを通って基板上に凝縮し、薄膜を形成する。

熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか?

熱蒸発源の利点には、高い蒸着速度、良好な指向性、優れた均一性、様々な材料との適合性などがある。また、比較的シンプルで安価であるため、薄膜蒸着における幅広い用途に適しています。

熱蒸着源はどのような用途に使用されますか?

熱蒸着ソースは、光学コーティング、半導体デバイス、各種薄膜の製造など、様々な用途で使用されています。特に、基板への材料の蒸着に精密な制御を必要とする産業で有用です。
この製品に関するよくある質問をもっと見る

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