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モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボート

薄膜蒸着部品

モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボート

商品番号 : KME01

価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ


材料
タングステン / モリブデン / タンタル
仕様
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はじめに

蒸発ボートは、抵抗蒸発法において材料を加熱蒸発させるために使用される。蒸発ボートは、タングステン、モリブデン、モリブデン-ランタン(ML)、モリブデン-イットリウム酸化物(MY)、タンタルなどの蒸気圧の低い材料で作られており、蒸気や最終層にボートの材料の粒子が入らないようになっています。蒸発ボートは、優れた耐食性、低い蒸気圧、良好な電気伝導性、非常に高い融点を持ち、寸法的に安定している。

用途

蒸発ボートソースは、金属、合金、材料を蒸着する熱蒸発システムで使用されます。タングステン、タンタル、モリブデン製のさまざまな厚さのものがあり、さまざまな電源との互換性を確保しています。これらのボートは、電子ビーム加工を含む真空蒸着や薄膜蒸着に不可欠です。真空コーティング、エレクトロニクス、太陽エネルギー、冶金などの産業で広く採用されている。ひび割れを防ぐには、容器を徐々に加熱することが不可欠です。蒸発ボートは、材料分析や薄膜蒸着プロセスで重要な役割を果たす万能ツールである。

モリブデン、タングステン、タンタルの蒸着ボートは、以下のような様々な産業で使用されています:

  • 材料の真空蒸着
  • 炉機械でのボートの運搬
  • レアアース産業
  • 核燃料焼結
  • コンデンサー放電焼結

詳細と部品

モリブデン/タングステン/タンタル蒸発ボートの詳細1

モリブデン/タングステン/タンタル蒸発ボートの詳細2

モリブデン/タングステン/タンタル蒸発ボートの詳細3

長さ100 幅8 厚さ0.2/0.3mm 長さ100 幅15 厚さ0.2/0.3/0.5mm 長さ100 幅20 厚さ0.2/0.3/0.5mm 溝サイズ:長さ50 深さ2.6

使用原理

モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボートは、様々な金属、合金、材料を蒸着する熱蒸着システムに使用されます。ボートに電流を流して加熱し、材料を蒸発させる。蒸発した材料は基板上で凝縮し、薄膜を形成する。膜の厚さは、ボートに流す電流の量と蒸発時間によって制御できる。

利点

  • 優れた耐食性
  • 蒸気圧が低い
  • 優れた電気伝導性
  • 非常に高い融点
  • 寸法安定性が高い

FAQ

タングステンボートとは何ですか?

タングステンボートは、タングステン金属で作られた小さな容器またはトレイです。これらは、さまざまな産業用途や実験室用途で材料を高温で保持および輸送できるように設計されています。タングステン ボートは、蒸着、焼結、熱分析などのプロセスでよく使用されます。

タングステンボートを使用する利点は何ですか?

タングステンボートには、高温用途においていくつかの利点があります。まず、タングステンの融点は 3,422°C と非常に高く、非常に高温の環境での使用に適しています。タングステンボートは熱伝導率にも優れているため、効率的な熱伝達と処理対象の材料の均一な加熱が可能になります。機械的強度が高く、高温でも変形や反りに耐えることができます。タングステンは化学腐食に対する耐性が高いため、タングステンボートは幅広い材料や環境に適合します。さらに、タングステンは蒸気圧が低いため、蒸気による汚染が最小限に抑えられ、高純度用途に適しています。タングステンボートは寿命が長く、大きな劣化なく繰り返し使用できます。

熱蒸発源とは?

熱蒸発源は、基板上に薄膜を蒸着する熱蒸発システムで使用される装置である。材料(蒸発剤)を高温に加熱して蒸発させ、基板上に凝縮させて薄膜を形成します。

蒸発ボートの使用上の注意。

分析対象物をるつぼまたはサガーに入れて加熱します。加熱温度の増減は装置や製品の特性によって異なります。加熱または冷却が速すぎると、蒸発ボートが破損する可能性があります。最善の策は、ボートの寿命を延ばすために、加熱プロセスを遅くすることです。

熱蒸発源の主な種類は何ですか?

熱蒸発源の主な種類には、抵抗蒸発源、電子ビーム蒸発源、フラッシュ蒸発源があります。それぞれのタイプは、抵抗加熱、電子ビーム加熱、高温表面との直接接触など、蒸発物を加熱する方法が異なります。

熱蒸発源の仕組み

熱蒸発源は、高温に加熱された抵抗体に電流を流すことで機能します。この熱が蒸発剤に伝わり、蒸発剤が溶けて気化します。その後、蒸気は真空チャンバーを通って基板上に凝縮し、薄膜を形成する。

蒸発ボートを使用する利点は何ですか?

蒸着ボートは、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点をもたらします。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御します。蒸発ボートは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を実現します。さまざまなサイズや形状が用意されており、さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できます。蒸着ボートを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料の蒸着が可能になります。ロードとアンロードが簡単で、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸着ボートは薄膜蒸着技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。

熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか?

熱蒸発源の利点には、高い蒸着速度、良好な指向性、優れた均一性、様々な材料との適合性などがある。また、比較的シンプルで安価であるため、薄膜蒸着における幅広い用途に適しています。

蒸発ボートの一般的な寿命はどれくらいですか?

蒸発ボートの寿命は、いくつかの要因によって異なります。これは主にボートに使用されている材質、動作条件、使用頻度によって異なります。タングステンやモリブデンなどの高融点金属で作られた蒸着ボートは、一般にセラミック材料で作られたボートに比べて耐久性が高く、寿命が長くなります。適切な取り扱い、定期的なメンテナンス、および適切な洗浄手順により、蒸着ボートは通常、複数の蒸着サイクルに使用できます。ただし、時間の経過とともに、蒸発ボートには亀裂や劣化などの磨耗が発生し、寿命が短くなる可能性があります。安定した信頼性の高い薄膜成膜を実現するには、蒸着ボートの状態を監視し、定期的に検査を実施し、必要に応じて交換することが重要です。

熱蒸着源はどのような用途に使用されますか?

熱蒸着ソースは、光学コーティング、半導体デバイス、各種薄膜の製造など、様々な用途で使用されています。特に、基板への材料の蒸着に精密な制御を必要とする産業で有用です。

蒸発ボートは再利用できますか?

蒸発ボートは再利用できますが、それはいくつかの要因によって異なります。ボートの状態、清浄度、さまざまな蒸発材料との適合性が、再利用できるかどうかを決定する上で重要な役割を果たします。蒸着ボートが良好な状態にあり、亀裂や欠陥がなく、徹底的に洗浄されている場合は、通常、その後の蒸着に再利用できます。ただし、ボートが反応性物質にさらされている場合、または劣化の兆候がある場合は、再利用に適さない可能性があります。蒸発ボートを再利用する場合は、汚染や望ましくない反応が発生する可能性を考慮してください。ボートの性能を維持し、再利用への適合性を確保するには、定期的な検査と適切な洗浄手順が不可欠です。

適切な蒸着ボートの材質はどのように選択すればよいですか?

適切な蒸発ボートの材料の選択は、いくつかの要因によって決まります。ボートの故障を防ぐために、蒸発する材料の融点を考慮し、より高い融点を持つボート材料を選択してください。また、反応や汚染を避けるために、ボートの材質と蒸発剤の適合性も考慮してください。蒸発時の効率的な熱伝達と温度制御のために、ボートの熱伝導率と熱容量を評価する必要があります。さらに、強度や耐久性などのボートの機械的特性を考慮して、繰り返しの加熱と冷却のサイクルに耐えられることを確認します。
この製品に関するよくある質問をもっと見る

4.8

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5

The build quality of this boat is superb. It's well worth the money.

Gerardo Brunelli

4.6

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5

These evaporation boats are of the highest quality and worked very well for my research.

Marion Lamy

4.9

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5

The tantalum evaporation boat I received arrived quickly and it functions perfectly.

Vijay Raman

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5

I highly recommend these boats. They're durable and heat resistant, making them perfect for my application.

Isabella Schneider

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Aaliyah Patel

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Lucas Hernandez

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5

I'm very happy with these evaporation boats. They're well-made and perform as expected.

Emma Dubois

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