薄膜蒸着部品
モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボート
商品番号 : KME01
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
- 材料
- タングステン / モリブデン / タンタル
- 仕様
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はじめに
蒸発ボートは、抵抗蒸発法において材料を加熱蒸発させるために使用される。蒸発ボートは、タングステン、モリブデン、モリブデン-ランタン（ML）、モリブデン-イットリウム酸化物（MY）、タンタルなどの蒸気圧の低い材料で作られており、蒸気や最終層にボートの材料の粒子が入らないようになっています。蒸発ボートは、優れた耐食性、低い蒸気圧、良好な電気伝導性、非常に高い融点を持ち、寸法的に安定している。
用途
蒸発ボートソースは、金属、合金、材料を蒸着する熱蒸発システムで使用されます。タングステン、タンタル、モリブデン製のさまざまな厚さのものがあり、さまざまな電源との互換性を確保しています。これらのボートは、電子ビーム加工を含む真空蒸着や薄膜蒸着に不可欠です。真空コーティング、エレクトロニクス、太陽エネルギー、冶金などの産業で広く採用されている。ひび割れを防ぐには、容器を徐々に加熱することが不可欠です。蒸発ボートは、材料分析や薄膜蒸着プロセスで重要な役割を果たす万能ツールである。
モリブデン、タングステン、タンタルの蒸着ボートは、以下のような様々な産業で使用されています：
- 材料の真空蒸着
- 炉機械でのボートの運搬
- レアアース産業
- 核燃料焼結
- コンデンサー放電焼結
詳細と部品
| 長さ100 幅8 厚さ0.2/0.3mm | 長さ100 幅15 厚さ0.2/0.3/0.5mm | 長さ100 幅20 厚さ0.2/0.3/0.5mm | 溝サイズ：長さ50 深さ2.6 |
使用原理
モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボートは、様々な金属、合金、材料を蒸着する熱蒸着システムに使用されます。ボートに電流を流して加熱し、材料を蒸発させる。蒸発した材料は基板上で凝縮し、薄膜を形成する。膜の厚さは、ボートに流す電流の量と蒸発時間によって制御できる。
利点
- 優れた耐食性
- 蒸気圧が低い
- 優れた電気伝導性
- 非常に高い融点
- 寸法安定性が高い
FAQ
タングステンボートとは何ですか？
タングステンボートを使用する利点は何ですか?
熱蒸発源とは？
蒸発ボートの使用上の注意。
熱蒸発源の主な種類は何ですか？
熱蒸発源の仕組み
蒸発ボートを使用する利点は何ですか?
熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか？
蒸発ボートの一般的な寿命はどれくらいですか?
熱蒸着源はどのような用途に使用されますか？
蒸発ボートは再利用できますか?
適切な蒸着ボートの材質はどのように選択すればよいですか?
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