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高温用途向けモリブデン・タングステン・タンタル蒸着用ボート

薄膜蒸着部品

高温用途向けモリブデン・タングステン・タンタル蒸着用ボート

商品番号 : KME01

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材料
タングステン / モリブデン / タンタル
仕様
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はじめに

蒸着用ボートは、抵抗蒸着プロセスで材料を加熱・蒸発させるために使用されます。ボート材料の粒子が蒸気や最終層に入らないように、タングステン、モリブデン、モリブデン-ランタン(ML)、モリブデン-酸化イットリウム(MY)、タンタルなどの蒸気圧の低い材料で作られています。蒸着用ボートは、優れた耐食性、低い蒸気圧、良好な導電性、非常に高い融点、そして寸法安定性を備えています。

応用

蒸着用ボート源は、熱蒸着システムで金属、合金、材料を成膜するために使用されます。タングステン、タンタル、モリブデン製の異なる厚さで提供されており、様々な電源との互換性を確保します。これらのボートは、電子ビーム成膜を含む真空蒸着および薄膜成膜に不可欠です。真空コーティング、エレクトロニクス、太陽エネルギー、冶金などの産業で広く採用されています。割れを防ぐために、容器の徐熱が不可欠です。蒸着用ボートは、材料分析および薄膜成膜プロセスにおいて重要な役割を果たす多用途なツールです。

モリブデン、タングステン、タンタル蒸着用ボートは、以下のような様々な産業で応用されています。

  • 材料の真空蒸着
  • 炉機でのボート搬送
  • 希土類産業
  • 核燃料焼結
  • コンデンサ放電焼結

詳細と部品

モリブデン/タングステン/タンタル蒸着用ボート 詳細1

モリブデン/タングステン/タンタル蒸着用ボート 詳細2

モリブデン/タングステン/タンタル蒸着用ボート 詳細3

長さ100幅8厚さ0.2/0.3mm 長さ100幅15厚さ0.2/0.3/0.5mm 長さ100幅20厚さ0.2/0.3/0.5mm 溝サイズ:長さ50深さ2.6

原理

モリブデン/タングステン/タンタル蒸着用ボートは、熱蒸着システムで幅広い金属、合金、材料を成膜するために使用されます。ボートに電流を流すことで加熱され、材料が蒸発します。蒸発した材料は基板上に凝縮し、薄膜を形成します。膜厚は、ボートに流れる電流の量と蒸着時間によって制御できます。

利点

  • 優れた耐食性
  • 低い蒸気圧
  • 良好な導電性
  • 非常に高い融点
  • 寸法安定性

業界リーダーからの信頼

提携クライアント

FAQ

熱蒸発源とは?

熱蒸発源は、基板上に薄膜を蒸着する熱蒸発システムで使用される装置である。材料(蒸発剤)を高温に加熱して蒸発させ、基板上に凝縮させて薄膜を形成します。

蒸発ボートの使用上の注意。

分析対象物をるつぼまたはサガーに入れて加熱します。加熱温度の増減は装置や製品の特性によって異なります。加熱または冷却が速すぎると、蒸発ボートが破損する可能性があります。最善の策は、ボートの寿命を延ばすために、加熱プロセスを遅くすることです。

熱蒸発源の主な種類は何ですか?

熱蒸発源の主な種類には、抵抗蒸発源、電子ビーム蒸発源、フラッシュ蒸発源があります。それぞれのタイプは、抵抗加熱、電子ビーム加熱、高温表面との直接接触など、蒸発物を加熱する方法が異なります。

熱蒸発源の仕組み

熱蒸発源は、高温に加熱された抵抗体に電流を流すことで機能します。この熱が蒸発剤に伝わり、蒸発剤が溶けて気化します。その後、蒸気は真空チャンバーを通って基板上に凝縮し、薄膜を形成する。

熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか?

熱蒸発源の利点には、高い蒸着速度、良好な指向性、優れた均一性、様々な材料との適合性などがある。また、比較的シンプルで安価であるため、薄膜蒸着における幅広い用途に適しています。

熱蒸着源はどのような用途に使用されますか?

熱蒸着ソースは、光学コーティング、半導体デバイス、各種薄膜の製造など、様々な用途で使用されています。特に、基板への材料の蒸着に精密な制御を必要とする産業で有用です。
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製品データシート

高温用途向けモリブデン・タングステン・タンタル蒸着用ボート

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