薄膜蒸着部品
高温用途向けモリブデン・タングステン・タンタル蒸着用ボート
商品番号 : KME01
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
- 材料
- タングステン / モリブデン / タンタル
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はじめに
蒸着用ボートは、抵抗蒸着プロセスで材料を加熱・蒸発させるために使用されます。ボート材料の粒子が蒸気や最終層に入らないように、タングステン、モリブデン、モリブデン-ランタン（ML）、モリブデン-酸化イットリウム（MY）、タンタルなどの蒸気圧の低い材料で作られています。蒸着用ボートは、優れた耐食性、低い蒸気圧、良好な導電性、非常に高い融点、そして寸法安定性を備えています。
応用
蒸着用ボート源は、熱蒸着システムで金属、合金、材料を成膜するために使用されます。タングステン、タンタル、モリブデン製の異なる厚さで提供されており、様々な電源との互換性を確保します。これらのボートは、電子ビーム成膜を含む真空蒸着および薄膜成膜に不可欠です。真空コーティング、エレクトロニクス、太陽エネルギー、冶金などの産業で広く採用されています。割れを防ぐために、容器の徐熱が不可欠です。蒸着用ボートは、材料分析および薄膜成膜プロセスにおいて重要な役割を果たす多用途なツールです。
モリブデン、タングステン、タンタル蒸着用ボートは、以下のような様々な産業で応用されています。
- 材料の真空蒸着
- 炉機でのボート搬送
- 希土類産業
- 核燃料焼結
- コンデンサ放電焼結
詳細と部品
| 長さ100幅8厚さ0.2/0.3mm | 長さ100幅15厚さ0.2/0.3/0.5mm | 長さ100幅20厚さ0.2/0.3/0.5mm | 溝サイズ：長さ50深さ2.6 |
原理
モリブデン/タングステン/タンタル蒸着用ボートは、熱蒸着システムで幅広い金属、合金、材料を成膜するために使用されます。ボートに電流を流すことで加熱され、材料が蒸発します。蒸発した材料は基板上に凝縮し、薄膜を形成します。膜厚は、ボートに流れる電流の量と蒸着時間によって制御できます。
利点
- 優れた耐食性
- 低い蒸気圧
- 良好な導電性
- 非常に高い融点
- 寸法安定性
FAQ
熱蒸発源とは？
蒸発ボートの使用上の注意。
熱蒸発源の主な種類は何ですか？
熱蒸発源の仕組み
熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか？
熱蒸着源はどのような用途に使用されますか？
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