製品 ラボ用消耗品と材料 薄膜蒸着部品 モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボート - 特殊形状
モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボート - 特殊形状

薄膜蒸着部品

モリブデン/タングステン/タンタル蒸着ボート - 特殊形状

商品番号 : KME01-2

価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ


材料
タングステン / モリブデン / タンタル
仕様
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導入

タングステン蒸発ボートは、蒸発タングステンボートまたはコーティングタングステンボートとも呼ばれ、真空コーティングおよび焼結炉産業で使用される装置です。タングステンシートを高温プレスして作られており、さまざまな仕様と形状があります。タングステンボートは通常、蒸着プロセスで使用され、摂氏約 2000 度に加熱されると蒸発して表面に堆積する低融点金属を保持します。また、船舶産業においては、タングステン金属を焼結し、その端をワイヤで接続して金属部品を作成するために使用されます。

応用

蒸着ボートソースは、金属、合金、およびさまざまな材料の蒸着を促進するために熱蒸着システムで使用される重要なコンポーネントです。ボートにはさまざまな厚さがあり、タングステン、タンタル、モリブデンで作られているため、さまざまな電源との互換性が保証されています。それらの重要性は、広く採用されている電子ビーム製造技術を含む、真空蒸着および薄膜堆積プロセスにおける重要な役割にあります。これらの多機能ツールは、真空コーティング、エレクトロニクス、太陽エネルギー、冶金などの業界で幅広い用途に使用できます。ひび割れを防ぐために、容器を徐々に加熱する必要があります。そのため、蒸着ボートは材料分析や薄膜成膜に欠かせない部品となり、科学技術の進歩に大きく貢献しています。

タングステンボート

  • 軽工業、エレクトロニクス、軍事産業、半導体産業。
  • コーティング、精密セラミック焼結、コンデンサ焼結、ベルジャー、電子ビーム溶射。
  • X 線診断ターゲット、るつぼ、発熱体、X 線放射線遮蔽。
  • スパッタリングターゲット、電極、半導体基板。
  • 電子管コンポーネント、電子ビーム蒸着放出陰極、イオン注入装置の陰極、陽極。

モリブデンボート

  • 真空蒸着材
  • 炉内の高効率キャリア。
  • 大気真空熱蒸着、レアアース産業、核燃料焼結、コンデンサ放電焼結。
  • 機械式高温炉用ベアリングボートおよび関連部品。

タンタルボート

  • コンデンサーと電子製品
  • 化学反応管
  • 原子炉
  • 熱交換器
  • 蒸留装置

ディテール&パーツ

バタフライタングステンボート

T0.2/0.3*幅20*長さ100;

スロット サイズ: 長さ 50 x 深さ 5.5、船体内

幅15.5インチ、溝の底の中央で8.6インチ

凸ボート

T0.2*幅7*長さ62;

溝長20、溝深さ1.3、高さ5

シンキングエバポレーター

TO.3*幅9.9*長さ91;

溝長41、溝深さ1.5、高さ11

凸型ボートの詳細

T0.3*W15.5*L102;

溝長さ50、溝深さ3.5、高さ14

シンキングエバポレーターの詳細 2

T0.2*W15.5*L102;

溝長は43、内長は35、溝深さは3.0、

高さ9

凸型ボートの詳細

TO.2*幅15.5*長さ102;

溝長さは43、内長さは35、溝深さは30です。

高さ9

大容量蒸発ボート

T0.2*W23*L102;

溝の長さは67、溝の上の幅は30、内側が長いです

42、溝深さ9.6、高さ20

蒸発ボート

TO.2*幅18*長さ78;

溝長さ40、溝幅18、溝深さ1.8、

蒸発ボートの詳細 3

L45*W13*T02

50/55/60/65/70/80*13*0.2

90/100*13*0.3

モリブデン折りたたみボート
0.12*15*8*100

特徴

タングステン蒸発ボートは真空コーティング システムの重要なコンポーネントであり、優れたパフォーマンスと耐久性を提供します。

  • 卓越した耐久性と堅牢性:** タングステン蒸着ボートは、真空コーティングプロセスの厳しい条件に耐えられるように設計されており、長い動作寿命と一貫したパフォーマンスを保証します。
  • 溶融金属のスムーズかつ均一な拡散:** これらのボートの独自の設計により、溶融金属の均一な分布が促進され、最適な厚さと組成を備えた高品質のコーティングが得られます。
  • 多用途な金属蒸着:** タングステン蒸着ボートにより、幅広い金属の真空蒸着が可能になり、さまざまなコーティング用途に柔軟性をもたらします。
  • 純度の維持:** これらのボートで使用されている高純度のタングステン材料は、蒸着された金属膜の完全性を維持し、信頼性と性能を保証します。

FAQ

タングステンボートとは何ですか?

タングステンボートは、タングステン金属で作られた小さな容器またはトレイです。これらは、さまざまな産業用途や実験室用途で材料を高温で保持および輸送できるように設計されています。タングステン ボートは、蒸着、焼結、熱分析などのプロセスでよく使用されます。

タングステンボートを使用する利点は何ですか?

タングステンボートには、高温用途においていくつかの利点があります。まず、タングステンの融点は 3,422°C と非常に高く、非常に高温の環境での使用に適しています。タングステンボートは熱伝導率にも優れているため、効率的な熱伝達と処理対象の材料の均一な加熱が可能になります。機械的強度が高く、高温でも変形や反りに耐えることができます。タングステンは化学腐食に対する耐性が高いため、タングステンボートは幅広い材料や環境に適合します。さらに、タングステンは蒸気圧が低いため、蒸気による汚染が最小限に抑えられ、高純度用途に適しています。タングステンボートは寿命が長く、大きな劣化なく繰り返し使用できます。

蒸発ボートを使用する利点は何ですか?

蒸着ボートは、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点をもたらします。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御します。蒸発ボートは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を実現します。さまざまなサイズや形状が用意されており、さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できます。蒸着ボートを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料の蒸着が可能になります。ロードとアンロードが簡単で、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸着ボートは薄膜蒸着技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。

蒸発ボートの一般的な寿命はどれくらいですか?

蒸発ボートの寿命は、いくつかの要因によって異なります。これは主にボートに使用されている材質、動作条件、使用頻度によって異なります。タングステンやモリブデンなどの高融点金属で作られた蒸着ボートは、一般にセラミック材料で作られたボートに比べて耐久性が高く、寿命が長くなります。適切な取り扱い、定期的なメンテナンス、および適切な洗浄手順により、蒸着ボートは通常、複数の蒸着サイクルに使用できます。ただし、時間の経過とともに、蒸発ボートには亀裂や劣化などの磨耗が発生し、寿命が短くなる可能性があります。安定した信頼性の高い薄膜成膜を実現するには、蒸着ボートの状態を監視し、定期的に検査を実施し、必要に応じて交換することが重要です。

蒸発ボートは再利用できますか?

蒸発ボートは再利用できますが、それはいくつかの要因によって異なります。ボートの状態、清浄度、さまざまな蒸発材料との適合性が、再利用できるかどうかを決定する上で重要な役割を果たします。蒸着ボートが良好な状態にあり、亀裂や欠陥がなく、徹底的に洗浄されている場合は、通常、その後の蒸着に再利用できます。ただし、ボートが反応性物質にさらされている場合、または劣化の兆候がある場合は、再利用に適さない可能性があります。蒸発ボートを再利用する場合は、汚染や望ましくない反応が発生する可能性を考慮してください。ボートの性能を維持し、再利用への適合性を確保するには、定期的な検査と適切な洗浄手順が不可欠です。

適切な蒸着ボートの材質はどのように選択すればよいですか?

適切な蒸発ボートの材料の選択は、いくつかの要因によって決まります。ボートの故障を防ぐために、蒸発する材料の融点を考慮し、より高い融点を持つボート材料を選択してください。また、反応や汚染を避けるために、ボートの材質と蒸発剤の適合性も考慮してください。蒸発時の効率的な熱伝達と温度制御のために、ボートの熱伝導率と熱容量を評価する必要があります。さらに、強度や耐久性などのボートの機械的特性を考慮して、繰り返しの加熱と冷却のサイクルに耐えられることを確認します。
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