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電子ビーム蒸着コーティングタングステンるつぼ/モリブデンるつぼ

薄膜蒸着部品

電子ビーム蒸着コーティングタングステンるつぼ/モリブデンるつぼ

商品番号 : KMS04

価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ


材料
モリブデン/タングステン
仕様
30-50mm*15-25mm
ISO & CE icon

配送:

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応用

電子ビーム蒸着 (EBE) は、薄膜蒸着のための物理蒸着 (PVD) 技術です。 EBE では、高エネルギー電子ビームを使用して固体材料を加熱および蒸発させ、基板上に凝縮して薄膜を形成します。タングステンおよびモリブデンのるつぼは、その優れた熱的特性と機械的特性により、電子ビーム蒸着プロセスでよく使用されます。タングステン/モリブデンるつぼは、集積回路 (IC) やマイクロプロセッサなどのマイクロエレクトロニクスの製造における薄膜堆積に一般的に使用されます。レンズ、ミラー、またはその他の光学部品に薄膜を堆積する光学コーティングプロセス。反射防止コーティングまたは導電層のための薄膜堆積です。耐摩耗コーティング: タングステンるつぼは、切削工具やエンジン部品などのさまざまなコンポーネントに耐摩耗コーティングを堆積するために使用できます。

ディテール&パーツ

電子ビーム蒸着コーティングタングステンるつぼ/モリブデンるつぼの詳細

電子ビーム蒸着コーティングタングステンるつぼ/モリブデンるつぼの詳細2

電子ビーム蒸着コーティングタングステンるつぼ/モリブデンるつぼの詳細3

電子ビーム蒸着コーティングタングステンるつぼ/モリブデンるつぼの詳細3

電子ビーム蒸着コーティングタングステンるつぼ/モリブデンるつぼ 詳細 5

技術仕様

外径&高さ30*15mm 34*20mm 35*17mm 40*17mm 42*19mm 45*22mm 50mm*22

ご紹介するるつぼはさまざまなサイズでご利用いただけます。ご要望に応じてカスタム サイズもご利用いただけます。

利点

  • 融点が非常に高い。高融点材料の加工に適しています。高い熱伝導率により、蒸発時に効率的な熱伝達が可能です。
  • 高純度。タングステンるつぼを使用すると、堆積膜の純度を確保できます。
  • 高い機械的強度。タングステンは、優れた機械的強度と高温での変形に対する耐性で知られています。
  • 低い蒸気圧;タングステンは蒸気圧が低いため、蒸着中に汚染を最小限に抑え、きれいな真空環境を維持できます。

FAQ

熱蒸発源とは?

熱蒸発源は、基板上に薄膜を蒸着する熱蒸発システムで使用される装置である。材料(蒸発剤)を高温に加熱して蒸発させ、基板上に凝縮させて薄膜を形成します。

熱蒸発源の主な種類は何ですか?

熱蒸発源の主な種類には、抵抗蒸発源、電子ビーム蒸発源、フラッシュ蒸発源があります。それぞれのタイプは、抵抗加熱、電子ビーム加熱、高温表面との直接接触など、蒸発物を加熱する方法が異なります。

熱蒸発源の仕組み

熱蒸発源は、高温に加熱された抵抗体に電流を流すことで機能します。この熱が蒸発剤に伝わり、蒸発剤が溶けて気化します。その後、蒸気は真空チャンバーを通って基板上に凝縮し、薄膜を形成する。

蒸発るつぼに使用される一般的な材料は何ですか?

蒸発るつぼは通常、タングステン、タンタル、モリブデン、グラファイト、セラミック化合物などの材料で作られています。これらの材料は融点が高く、熱伝導率が良いため、蒸着時に必要な高温条件に適しています。るつぼの材料の選択は、蒸発材料、必要な膜特性、プロセスパラメータなどの要因によって異なります。

熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか?

熱蒸発源の利点には、高い蒸着速度、良好な指向性、優れた均一性、様々な材料との適合性などがある。また、比較的シンプルで安価であるため、薄膜蒸着における幅広い用途に適しています。

蒸発るつぼを使用する利点は何ですか?

蒸発るつぼには、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点があります。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御できます。るつぼは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を保証します。さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できるよう、さまざまなサイズや形状が用意されています。蒸発るつぼを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料を蒸着することもできます。簡単にロードおよびアンロードできるため、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸発るつぼは薄膜堆積技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。

熱蒸着源はどのような用途に使用されますか?

熱蒸着ソースは、光学コーティング、半導体デバイス、各種薄膜の製造など、様々な用途で使用されています。特に、基板への材料の蒸着に精密な制御を必要とする産業で有用です。

蒸発るつぼはどのように取り扱い、メンテナンスすればよいですか?

蒸発るつぼは、寿命と性能を確保するために、慎重に取り扱い、維持する必要があります。るつぼは毎回使用する前に徹底的に洗浄して、以前の堆積からの残留物質を除去する必要があります。るつぼの表面を損傷する可能性のある研磨材の使用は避けてください。ロードおよびアンロードの際は、汚染を防ぐために、清潔な手袋または専用のツールを使用してるつぼを扱ってください。使用しないときは、腐食や劣化を避けるために、るつぼを乾燥した清潔な環境に保管してください。るつぼに亀裂、欠陥、摩耗の兆候がないか定期的に検査することは、蒸着プロセス中の予期せぬ故障を防ぐために重要です。るつぼの寿命を延ばすために、アニーリングや表面処理などの特定のメンテナンス手順については、メーカーの推奨事項に従ってください。
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Electron beam evaporation coating made simple and efficient with Kintek Solution's tools.

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