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黒鉛蒸発るつぼ

薄膜蒸着部品

黒鉛蒸発るつぼ

商品番号 : KME07

価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ


材料
黒鉛
アクセサリー
オプション(セラミック蒸着ボート電極チャック)
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応用

グラファイト蒸発るつぼは、高温用途、特に薄膜蒸着に特化した容器です。これらのるつぼは、極端な温度で材料を効率的に保持して蒸発させ、基板上への薄膜の堆積を容易にします。高い熱安定性と優れた導電性で知られるグラファイトは、これらのるつぼの製造に使用される主な材料です。その熱伝導率により、効率的かつ均一な加熱が保証され、その結果、一貫した蒸発速度が得られます。

  • 半導体製造、光学、材料研究。
  • 熱蒸着、電子ビーム蒸着によるコーティング。
  • 物理蒸着 (PVD)、化学蒸着 (CVD)。
  • 基板上に金属、合金、酸化物などの薄膜を形成し、ゲルマニウムをプレートし、シリコンをプレートします。
  • 光学コーティング、ポリエステルフィルムのアルミコーティング、真空コーティング。
  • マイクロエレクトロニクスの製造、太陽電池、ワイヤーおよびパッケージング材料の製造、管状炉の応用。

ディテール&パーツ

黒鉛蒸発るつぼの詳細 1

黒鉛蒸発るつぼの詳細 2

黒鉛蒸発るつぼの詳細 3

黒鉛蒸発るつぼ

セラミック蒸着ボート電極チャックの詳細
セラミック蒸着ボート電極チャック

セラミック蒸着ボート電極チャックの詳細 2

ご紹介するるつぼはさまざまなサイズでご利用いただけます。ご要望に応じてカスタム サイズもご利用いただけます。

アドバンテージ

  • 高温耐性、優れた耐熱衝撃性、高い熱伝導率。
  • 表面研磨、酸化防止、高純度、蒸着膜への汚染なし。
  • 酸・アルカリ液体に対して強い耐食性を持っています。
  • 優れた導電性と熱効率、化学的安定性。
  • 機械的衝撃に対する耐性、小さな熱膨張係数、長い耐用年数。
  • 高強度、温度が上昇するにつれて黒鉛の強度が増加します。

FAQ

熱蒸発源とは?

熱蒸発源は、基板上に薄膜を蒸着する熱蒸発システムで使用される装置である。材料(蒸発剤)を高温に加熱して蒸発させ、基板上に凝縮させて薄膜を形成します。

タングステンボートとは何ですか?

タングステンボートは、タングステン金属で作られた小さな容器またはトレイです。これらは、さまざまな産業用途や実験室用途で材料を高温で保持および輸送できるように設計されています。タングステン ボートは、蒸着、焼結、熱分析などのプロセスでよく使用されます。

タングステンボートを使用する利点は何ですか?

タングステンボートには、高温用途においていくつかの利点があります。まず、タングステンの融点は 3,422°C と非常に高く、非常に高温の環境での使用に適しています。タングステンボートは熱伝導率にも優れているため、効率的な熱伝達と処理対象の材料の均一な加熱が可能になります。機械的強度が高く、高温でも変形や反りに耐えることができます。タングステンは化学腐食に対する耐性が高いため、タングステンボートは幅広い材料や環境に適合します。さらに、タングステンは蒸気圧が低いため、蒸気による汚染が最小限に抑えられ、高純度用途に適しています。タングステンボートは寿命が長く、大きな劣化なく繰り返し使用できます。

黒鉛化炉とは

黒鉛化炉は、石油コークスやコールタールピッチなどの炭素質原料を不活性雰囲気中で高温処理し、黒鉛に変換するための特殊な装置である。黒鉛化炉の温度は2500~3000℃である。

高純度黒鉛るつぼはどのように作られるのでしょうか?

高純度グラファイトるつぼは通常、静水圧プレスと呼ばれるプロセスを通じて製造されます。黒鉛粉末をゴム型に入れ、全方向から高圧を加える方法です。この圧力により、黒鉛粒子が緻密で均一なるつぼ形状に圧縮されます。次に、るつぼを高温に加熱して不純物を除去し、純度を高めます。

セラミックるつぼを使用する利点は何ですか?

セラミックるつぼには、他のタイプのるつぼに比べていくつかの利点があります。まず、耐熱性に優れており、ひび割れや反りを生じることなく高温に耐えることができます。セラミックるつぼは化学的に不活性でもあり、ほとんどの物質と反応しないため、幅広い用途に適しています。また、非多孔質であるため、加熱または溶融プロセス中に材料が汚染されたり、吸収されたりすることはありません。セラミックるつぼは耐久性が高く長持ちするため、繰り返し使用する場合に信頼できる選択肢となります。さらに、セラミックるつぼは、さまざまな実験や産業の要件に対応するために、さまざまな形状やサイズで製造できます。

アルミナるつぼの一般的な用途は何ですか?

アルミナるつぼは、冶金、セラミックス、化学、材料研究などの業界でさまざまな用途に使用されます。これらは、金属、合金、セラミックの溶解、焼成、焼結などの高温プロセスに一般的に使用されます。アルミナるつぼは、触媒、ガラス、先端材料の製造にも使用されます。研究室では、サンプルの調製、加熱、化学反応に使用されます。さらに、アルミナるつぼは、示差走査熱量測定 (DSC) や熱重量分析 (TGA) などの熱分析技術にも応用されています。

熱蒸発源の主な種類は何ですか?

熱蒸発源の主な種類には、抵抗蒸発源、電子ビーム蒸発源、フラッシュ蒸発源があります。それぞれのタイプは、抵抗加熱、電子ビーム加熱、高温表面との直接接触など、蒸発物を加熱する方法が異なります。

黒鉛化炉の主な用途は?

黒鉛化炉は、冶金、エレクトロニクス、航空宇宙などの産業で重要な役割を果たします。電極、るつぼ、構造部品など、さまざまな高温用途に不可欠な高品質の黒鉛製品を生産する。

RF PECVDとは何ですか?

RF PECVD は高周波プラズマ化学蒸着の略で、減圧化学蒸着の実行中にグロー放電プラズマを使用してプロセスに影響を与えることにより、基板上に多結晶膜を作製するために使用される技術です。 RF PECVD 法は、標準的なシリコン集積回路技術として十分に確立されており、通常は平坦なウェーハが基板として使用されます。この方法は、低コストでの成膜が可能であり、蒸着効率も高いため有利である。材料は、屈折率傾斜フィルムとして、またはそれぞれ異なる特性を持つナノフィルムのスタックとして堆積することもできます。

高純度黒鉛るつぼの一般的な用途は何ですか?

高純度黒鉛るつぼは、冶金、鋳造所、研究所などの業界で幅広い用途に使用されます。これらは、アルミニウム、銅、貴金属などの非鉄金属の溶解および鋳造に一般的に使用されます。高純度黒鉛るつぼは、合金や高温セラミックスの製造にも使用されます。これらは、研究室での化学分析、分光法、サンプル調製などのプロセスに不可欠です。さらに、これらのるつぼは、半導体産業においてシリコンや他の半導体材料の溶融および成長に応用されています。

セラミックるつぼの一般的な用途は何ですか?

セラミックるつぼは、さまざまな業界で幅広い用途があります。これらは、実験やサンプルの準備中に物質を加熱、溶解、または焼成するために研究室で一般的に使用されます。セラミックるつぼは、金属の溶解に必要な高温に耐えられるため、金属鋳造や合金の製造プロセスでも広く使用されています。これらは、正確な温度制御と耐薬品性が重要であるセラミック、ガラス、半導体の製造に使用されます。さらに、セラミックるつぼは製薬および化学産業だけでなく、研究開発においても用途があり、極端な温度条件下で材料を分析および試験するために使用されます。

アルミナるつぼを使用する利点は何ですか?

アルミナるつぼは、高温用途においていくつかの利点をもたらします。まず、耐熱衝撃性に優れており、急加熱や急冷にも割れることなく耐えることができます。アルミナるつぼは高い耐薬品性も備えているため、酸、塩基、その他の腐食性物質の使用に適しています。導電率が低いため、特定の用途での電気的干渉を防ぐのに役立ちます。アルミナるつぼは不活性でもあり、ほとんどの物質と反応しないため、処理される材料の純度が保証されます。さらに、寿命が長く、高温での繰り返し使用に耐えます。

熱蒸発源の仕組み

熱蒸発源は、高温に加熱された抵抗体に電流を流すことで機能します。この熱が蒸発剤に伝わり、蒸発剤が溶けて気化します。その後、蒸気は真空チャンバーを通って基板上に凝縮し、薄膜を形成する。

黒鉛化炉にはどのような種類がありますか?

横型高温黒鉛化炉、大型縦型黒鉛化炉、連続黒鉛化炉、ネガ材黒鉛化炉、縦型高温黒鉛化炉、超高温黒鉛化炉、IGBT実験黒鉛化炉、高熱伝導フィルム黒鉛化炉、炭素材料用ボトムディスチャージ黒鉛化炉、2200℃黒鉛真空炉などがあります。

高純度黒鉛るつぼを選択する際に考慮すべき要素は何ですか?

高純度黒鉛るつぼを選択するときは、いくつかの要素を考慮する必要があります。まず、るつぼのサイズと容量は、意図した用途と、溶解または処理される材料の量に適合している必要があります。るつぼの熱伝導率、耐熱衝撃性、化学的適合性を評価して、特定のプロセス要件を確実に満たす必要があります。汚染を最小限に抑え、優れた性能を確保するには、高純度レベルの高品質グラファイト材料で作られたるつぼを選択することが重要です。取り扱いを容易にするハンドルや注ぎ口の有無など、るつぼの設計と構造も考慮する必要があります。さらに、特定の用途に最適な高純度黒鉛るつぼを確実に選択するには、メーカーまたはその分野の専門家に相談することをお勧めします。

蒸発るつぼに使用される一般的な材料は何ですか?

蒸発るつぼは通常、タングステン、タンタル、モリブデン、グラファイト、セラミック化合物などの材料で作られています。これらの材料は融点が高く、熱伝導率が良いため、蒸着時に必要な高温条件に適しています。るつぼの材料の選択は、蒸発材料、必要な膜特性、プロセスパラメータなどの要因によって異なります。

自分の用途に適したセラミックるつぼを選択するにはどうすればよいですか?

特定の用途にセラミックるつぼを選択する場合、いくつかの要素を考慮する必要があります。セラミックの種類によって最大温度制限が異なるため、まず、用途に必要な温度範囲を決定する必要があります。予想される温度に変形や損傷なく耐えられるるつぼを選択することが重要です。次に、必要な量の材料を確実に収容できるようにるつぼのサイズと容量を考慮する必要があります。るつぼの形状と設計は、実験装置や工業プロセスと互換性がある必要があります。さらに、副作用や汚染がないことを確認するために、使用する物質とるつぼの化学的適合性を評価する必要があります。サプライヤーまたはその分野の専門家に相談すると、特定の用途に最適なセラミックるつぼを選択できます。

アルミナるつぼはどのように取り扱い、メンテナンスすればよいですか?

アルミナるつぼの寿命と最適な性能を確保するには、アルミナるつぼの適切な取り扱いとメンテナンスが非常に重要です。取り扱う際は、ひび割れや損傷を防ぐために、るつぼを落としたり衝撃を与えたりしないようにすることが重要です。汚染を避けるために、清潔で乾燥した環境に保管する必要があります。残留物質や不純物を除去するには、るつぼを定期的に洗浄する必要があります。これは、柔らかいブラシ、中性洗剤、またはアルミナに適した溶剤を使用して行うことができます。特に急激な温度変化にさらされる場合は、熱衝撃を防ぐために、使用前にるつぼを予熱することをお勧めします。るつぼに亀裂、浸食、その他の損傷がないか検査し、問題が見つかった場合は、処理される材料の品質を維持するために交換する必要があります。メンテナンスと取り扱いについてはメーカーのガイドラインに従うことが重要です。

熱蒸着ソースを使用する利点は何ですか?

熱蒸発源の利点には、高い蒸着速度、良好な指向性、優れた均一性、様々な材料との適合性などがある。また、比較的シンプルで安価であるため、薄膜蒸着における幅広い用途に適しています。

蒸発ボートを使用する利点は何ですか?

蒸着ボートは、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点をもたらします。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御します。蒸発ボートは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を実現します。さまざまなサイズや形状が用意されており、さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できます。蒸着ボートを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料の蒸着が可能になります。ロードとアンロードが簡単で、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸着ボートは薄膜蒸着技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。

黒鉛化炉の仕組み

黒鉛化炉は、炭素質材料を不活性雰囲気中で2500~3000℃の超高温にさらすことによって機能します。黒鉛は、高熱伝導性、低熱膨張性、化学的不活性などのユニークな特性を持っています。

蒸発るつぼを使用する利点は何ですか?

蒸発るつぼには、薄膜堆積プロセスにおいていくつかの利点があります。材料の蒸発のための制御された環境を提供し、膜の厚さと均一性を正確に制御できます。るつぼは高温に耐え、効率的な熱伝達を実現し、安定した蒸発速度を保証します。さまざまな蒸着システムや基板構成に対応できるよう、さまざまなサイズや形状が用意されています。蒸発るつぼを使用すると、金属、半導体、セラミックなどの幅広い材料を蒸着することもできます。簡単にロードおよびアンロードできるため、素早い材料変更やプロセス調整が容易になります。全体として、蒸発るつぼは薄膜堆積技術に不可欠なツールであり、多用途性、信頼性、再現性を提供します。

セラミックるつぼはどのように取り扱い、メンテナンスすればよいですか?

セラミックるつぼの寿命と性能を確保するには、セラミックるつぼの適切な取り扱いとメンテナンスが不可欠です。セラミックるつぼを取り扱う際は、熱衝撃を与えてひび割れや破損を引き起こす可能性があるため、落としたり、急激な温度変化を与えないよう注意してください。熱いるつぼを扱う場合は、トングや手袋などの適切なツールを使用することをお勧めします。使用後、セラミックるつぼは洗浄する前に徐々に冷却する必要があります。洗浄にはぬるま湯と中性洗剤を使用し、その後よくすすぎ、乾燥させます。セラミックの表面を損傷する可能性のある刺激の強い化学薬品や研磨材の使用を避けることが重要です。定期的な検査を実施して摩耗、亀裂、変色の兆候がないか確認し、実験や工業プロセスでの安全性と精度を確保するために損傷したるつぼを交換する必要があります。

熱蒸着源はどのような用途に使用されますか?

熱蒸着ソースは、光学コーティング、半導体デバイス、各種薄膜の製造など、様々な用途で使用されています。特に、基板への材料の蒸着に精密な制御を必要とする産業で有用です。

蒸発ボートの一般的な寿命はどれくらいですか?

蒸発ボートの寿命は、いくつかの要因によって異なります。これは主にボートに使用されている材質、動作条件、使用頻度によって異なります。タングステンやモリブデンなどの高融点金属で作られた蒸着ボートは、一般にセラミック材料で作られたボートに比べて耐久性が高く、寿命が長くなります。適切な取り扱い、定期的なメンテナンス、および適切な洗浄手順により、蒸着ボートは通常、複数の蒸着サイクルに使用できます。ただし、時間の経過とともに、蒸発ボートには亀裂や劣化などの磨耗が発生し、寿命が短くなる可能性があります。安定した信頼性の高い薄膜成膜を実現するには、蒸着ボートの状態を監視し、定期的に検査を実施し、必要に応じて交換することが重要です。

黒鉛化炉を使用する利点は何ですか?

黒鉛化炉を使用するメリットは、熱伝導性、低熱膨張性、化学的不活性に優れた高品質の黒鉛が得られることです。これらの特性により、黒鉛は、冶金、電子、航空宇宙などの産業における幅広い高温用途に最適です。

蒸発るつぼはどのように取り扱い、メンテナンスすればよいですか?

蒸発るつぼは、寿命と性能を確保するために、慎重に取り扱い、維持する必要があります。るつぼは毎回使用する前に徹底的に洗浄して、以前の堆積からの残留物質を除去する必要があります。るつぼの表面を損傷する可能性のある研磨材の使用は避けてください。ロードおよびアンロードの際は、汚染を防ぐために、清潔な手袋または専用のツールを使用してるつぼを扱ってください。使用しないときは、腐食や劣化を避けるために、るつぼを乾燥した清潔な環境に保管してください。るつぼに亀裂、欠陥、摩耗の兆候がないか定期的に検査することは、蒸着プロセス中の予期せぬ故障を防ぐために重要です。るつぼの寿命を延ばすために、アニーリングや表面処理などの特定のメンテナンス手順については、メーカーの推奨事項に従ってください。

蒸発ボートは再利用できますか?

蒸発ボートは再利用できますが、それはいくつかの要因によって異なります。ボートの状態、清浄度、さまざまな蒸発材料との適合性が、再利用できるかどうかを決定する上で重要な役割を果たします。蒸着ボートが良好な状態にあり、亀裂や欠陥がなく、徹底的に洗浄されている場合は、通常、その後の蒸着に再利用できます。ただし、ボートが反応性物質にさらされている場合、または劣化の兆候がある場合は、再利用に適さない可能性があります。蒸発ボートを再利用する場合は、汚染や望ましくない反応が発生する可能性を考慮してください。ボートの性能を維持し、再利用への適合性を確保するには、定期的な検査と適切な洗浄手順が不可欠です。

適切な蒸着ボートの材質はどのように選択すればよいですか?

適切な蒸発ボートの材料の選択は、いくつかの要因によって決まります。ボートの故障を防ぐために、蒸発する材料の融点を考慮し、より高い融点を持つボート材料を選択してください。また、反応や汚染を避けるために、ボートの材質と蒸発剤の適合性も考慮してください。蒸発時の効率的な熱伝達と温度制御のために、ボートの熱伝導率と熱容量を評価する必要があります。さらに、強度や耐久性などのボートの機械的特性を考慮して、繰り返しの加熱と冷却のサイクルに耐えられることを確認します。
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The crucibles deliver prompt results and are cost-effective. Strongly recommended!

Dr. Christina Moller

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The impact resistance and high thermal conductivity of these crucibles make them an excellent choice for demanding applications.

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