黒鉛化炉
超高温黒鉛真空黒鉛化炉
商品番号 : GF-09
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
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はじめに
超高温黒鉛化炉は、真空または不活性ガス雰囲気下で中周波誘導加熱を利用しています。誘導コイルが交流磁場を発生させ、黒鉛るつぼに渦電流を誘導し、黒鉛るつぼが加熱されてワークピースに熱を放射し、所望の温度まで上昇させます。この炉は、主に炭素材料、炭素繊維材料、その他の複合材料の黒鉛化および焼結に使用されます。炉本体、カバー、加熱センサー、断熱層、電極引き出し装置、水循環分配システム、真空システム、温度制御システムなどで構成されています。電気システムには、60KVA、IGBTトランジスタ中周波電源と水冷ケーブルが含まれており、さまざまな指示計器とアラーム機能が装備されています。制御部には、15インチのタッチスクリーンとプログラマブルコントローラPLCを採用しています。
詳細と部品
用途
超高温黒鉛化炉は、以下を含む幅広い産業で利用されています。
- セラミック焼成
- カーバイド成長
- 炭素化
- 黒鉛化
- 焼結
- 焼鈍
- ろう付け
- 脱ガス
特徴
超高温黒鉛化炉は、ユーザーに大きなメリットをもたらすさまざまな高度な機能を提供します。
- 高温能力：炉は最大2200℃まで到達可能で、幅広い高温用途に適しています。
- 高効率：黒鉛ベースの炉は非常に効率的で、エネルギー消費が少なく、加熱時間が短縮されます。
- 均一加熱：炉の設計により、チャンバー全体で均一な加熱が保証され、一貫した結果が得られます。
- 真空または不活性ガス雰囲気：炉は真空または不活性ガス雰囲気で操作でき、ワークピース周囲の雰囲気を正確に制御できます。
- インテリジェント制御システム：炉には、正確な温度制御と監視のための高度なタッチスクリーンとプログラマブルコントローラが装備されています。
- 安全機能：炉には、過電圧、過電流、および断水に対する聴覚および視覚アラームが含まれており、安全な操作を保証します。
原理
超高温黒鉛化炉は、中周波誘導加熱の原理に基づいて動作します。誘導コイルが交流磁場を発生させ、黒鉛るつぼに渦電流を誘導します。これにより高温が発生し、ワークピースに放射されて所望の温度まで上昇します。この炉は、炭素材料、炭素繊維材料、複合材料の黒鉛化および焼結に使用されます。
利点
- 高温：超高温黒鉛化炉は2500℃の温度に達することができ、さまざまな高温処理および黒鉛化処理用途に適しています。
- 高効率：超高温黒鉛化炉は中周波誘導加熱の原理を使用しており、高効率と均一加熱の利点があります。
- 均一加熱：超高温黒鉛化炉は黒鉛るつぼを使用して高温を発生させ、ワークピースに放射することにより、ワークピースの均一加熱を実現できます。
- 幅広い用途：超高温黒鉛化炉は、炭素材料、炭素繊維材料、その他の複合材料の黒鉛化および焼結に適しています。
- 操作が簡単：超高温黒鉛化炉は、15インチのタッチスクリーンとプログラマブルコントローラPLCによって制御されており、操作が簡単です。
- 安全で信頼性が高い：超高温黒鉛化炉には、過電圧、過電流、断水などの聴覚および視覚アラーム機能があり、安全で信頼性が高いです。
技術仕様
| 電源容量 | 60KVA |
| 電源 | 4000～8000Hz（自動追尾） |
| 温度 | 3000℃ |
| 温度制御精度 | ±2℃ |
| 温度測定方法 | 1100℃～3000℃ |
| 有効作業エリアサイズ | Φ200×200 mm（直径×高さ） |
| コールド最終真空度 | 133Pa |
| 圧力上昇 | 3.0 Pa/h |
| 保護雰囲気 | アルゴン窒素 |
| インフレーション圧力 | ≤ 0.03MPa |
| 材料の出し入れ方法 | 上部ローディングおよび排出 |
| 加熱条件 | 雰囲気焼結（不活性ガス） |
FAQ
黒鉛化炉とは
What Is A Graphite Vacuum Furnace Used For?
CVD炉とは何ですか？
化学蒸着 (CVD) は、加熱、プラズマ励起、光放射などのさまざまなエネルギー源を使用して、気相または気固界面で気体または蒸気の化学物質を化学反応させ、反応器内に固体堆積物を形成する技術です。化学反応。簡単に言うと、2 つ以上のガス状原料が反応チャンバーに導入され、それらが互いに反応して新しい材料を形成し、それを基板表面に堆積させます。
CVD炉は、高温管状炉ユニット、ガス制御ユニット、真空ユニットを備えた1つの複合炉システムであり、複合材料の調製、マイクロエレクトロニクスプロセス、半導体オプトエレクトロニクス、太陽エネルギー利用、光ファイバー通信、超伝導体の実験と生産に広く使用されています。技術、保護コーティング分野。
超高温黒鉛化炉の動作原理は何ですか?
超高温黒鉛化炉の主なコンポーネントは何ですか?
超高温黒鉛化炉のメンテナンスはどうすればよいですか?
黒鉛化炉の主な用途は？
What Are The Main Types Of Graphite Vacuum Furnaces?
CVD炉はどのように動作するのですか?
CVD炉システムは、高温管状炉ユニット、反応ガス源精密制御ユニット、真空ポンプステーションおよび対応する組立部品で構成されています。
真空ポンプは反応管から空気を除去し、反応管内に不要なガスがないことを確認します。その後、管状炉が反応管を目標温度まで加熱し、反応ガス源の精密制御ユニットがさまざまなガスを導入できます。化学反応用の炉管内に設定された比率のガスが導入され、CVD 炉内で化学気相成長が形成されます。
黒鉛化炉にはどのような種類がありますか？
How Does A Graphite Vacuum Furnace Work?
CVDプロセスで使用されるガスは何ですか?
CVD プロセスでは使用できるガス源が膨大にあり、CVD の一般的な化学反応には熱分解、光分解、還元、酸化、酸化還元が含まれるため、これらの化学反応に関与するガスを CVD プロセスで使用できます。
CVD グラフェン成長を例に挙げます。CVD プロセスで使用されるガスは CH4、H2、O2、N2 です。
黒鉛化炉の仕組み
What Are The Advantages Of Using A Graphite Vacuum Furnace?
CVD装置の利点は何ですか？
- 金属膜、非金属膜、多成分合金膜など、ご要望に応じて幅広い膜の製造が可能です。同時に、GaNやBPなど他の方法では得られない高品質な結晶を作製することができます。
- 成膜速度は速く、通常は毎分数ミクロン、場合によっては毎分数百ミクロンです。液相エピタキシー（LPE）や分子線エピタキシー（MBE）など他の成膜法とは比べものにならない、均一な組成のコーティングを同時に大量に成膜することが可能です。
- 作業条件は常圧または低真空条件下で行われるため、コーティングの回折性が良好で、複雑な形状のワークピースでも均一にコーティングでき、PVD に比べてはるかに優れています。
- 反応ガス、反応生成物、基材の相互拡散により、耐摩耗性や耐腐食性の皮膜などの表面強化皮膜の作製に重要な密着強度の高い皮膜が得られます。
- 一部のフィルムは、フィルム材料の融点よりもはるかに低い温度で成長します。低温成長条件下では、反応ガスと反応炉壁およびそれらに含まれる不純物とがほとんど反応しないため、高純度で結晶性の良い膜が得られる。
- 化学気相成長法では平滑な成膜面が得られます。これは、LPE と比較して、化学気相成長 (CVD) が高飽和下で行われるため、核生成率が高く、核生成密度が高く、面内均一に分布するため、巨視的に滑らかな表面が得られます。同時に、化学蒸着では、分子（原子）の平均自由行程が LPE よりもはるかに大きいため、分子の空間分布がより均一になり、滑らかな蒸着表面の形成に役立ちます。
- 金属酸化物半導体（MOS）やその他のデバイスの製造に必要な条件である放射線ダメージが低い
黒鉛化炉を使用する利点は何ですか？
What Temperature Range Can A Graphite Vacuum Furnace Achieve?
PECVD とは何の略ですか?
PECVDは、プラズマを利用して反応ガスを活性化し、基板表面または表面近傍空間での化学反応を促進し、固体膜を生成する技術です。プラズマ化学蒸着技術の基本原理は、RF または DC 電場の作用下でソースガスがイオン化されてプラズマを形成し、低温プラズマがエネルギー源として使用され、適切な量の反応ガスが生成されます。を導入し、プラズマ放電を利用して反応ガスを活性化し、化学気相成長を実現します。
プラズマの発生方法により、RFプラズマ、DCプラズマ、マイクロ波プラズマCVDなどに分けられます。
What Industries Benefit From Graphite Vacuum Furnaces?
CVDとPECVDの違いは何ですか?
PECVD と従来の CVD 技術の違いは、プラズマには大量の高エネルギー電子が含まれており、化学蒸着プロセスで必要な活性化エネルギーを提供できるため、反応システムのエネルギー供給モードが変化することです。プラズマ中の電子温度は 10000K と高いため、電子とガス分子の衝突により反応ガス分子の化学結合の切断と再結合が促進され、より活性な化学基が生成され、同時に反応系全体がより低い温度を維持します。
したがって、CVD プロセスと比較して、PECVD は同じ化学気相成長プロセスをより低い温度で実行できます。
4.8
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5
The furnace is very efficient and has uniform heating, which greatly improves our work efficiency.
4.9
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The furnace is easy to operate and can be controlled by a touch screen, which is very convenient.
4.7
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The furnace is very safe and reliable, with audible and visual alarm functions, which gives me a sense of security.
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The furnace has a wide range of applications and can be used for graphitization and sintering of various materials.
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The furnace is very durable and has a long service life, which saves us a lot of maintenance costs.
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The furnace is very valuable for money, and its price is very reasonable.
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