SEMで非導電性の試料を扱う場合、帯電を防ぎ、画像品質を向上させるために金コーティングが必要です。これは、試料を導電性にし、S/N比を向上させることで達成され、より鮮明で安定した画像を得ることができます。
説明
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帯電の防止： SEM中の非導電性試料は、電子ビームによる静電界を蓄積し、帯電効果を引き起こして画像を歪ませることがあります。このような試料を金のような導電性材料でコーティングすることで、これらの電荷を放散させ、安定したイメージング環境を確保することができます。
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信号対雑音比の向上： 金などの導電性コーティングは、非導電性材料に比べて二次電子収率が高い。つまり、電子ビームが当たったときに、コーティング表面からより多くの二次電子が放出され、信号が強くなります。信号が強いとS/N比が高くなり、SEMで鮮明な画像を得るために重要です。
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コーティングの厚みと材料の考慮 金コーティングの効果は、その厚みとコーティング材料と試料材料の相互作用にも依存します。通常、2～20 nmの薄い層が適用される。金は、特に標準的なSEM用途では、仕事関数が低く、コーティング効率が高いため好まれます。また、低倍率から中倍率の用途に適しており、卓上型SEMとの互換性もあります。
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様々な試料タイプへの適用 金によるスパッタコーティングは、ビーム感応性材料や非導電性材料などの難しい試料に特に有効です。これには、セラミック、ポリマー、生物学的試料などが含まれ、詳細な分析には高品質のイメージングが必要です。
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EDX分析のための考慮事項 試料にエネルギー分散型X線（EDX）分析が必要な場合は、EDXスペクトルの混乱を避けるため、試料に含まれる元素と重ならないコーティング材料を選択することをお勧めします。
まとめると、SEMで非導電性試料を撮像する場合、帯電を防止し、S/N比を向上させることにより、正確で高品質な撮像を保証するために、金コーティングは不可欠です。
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