SEMで非導電性の試料を扱う場合、帯電を防ぎ、画像品質を向上させるために金コーティングが必要です。
これは、試料を導電性にし、S/N比を高めることで達成され、より鮮明で安定した画像につながります。
必要不可欠な5つの主な理由
1.帯電の防止
SEM中の非導電性試料は、電子ビームによる静電場が蓄積され、帯電の影響を受けて画像が歪むことがあります。
このような試料を金のような導電性材料でコーティングすることで、これらの電荷を放散させ、安定したイメージング環境を確保することができます。
2.信号対雑音比の向上
金などの導電性コーティングは、非導電性材料に比べて二次電子収率が高い。
これは、電子ビームが当たったときにコーティング表面からより多くの二次電子が放出され、信号が強くなることを意味する。
信号が強いほどS/N比が高くなり、SEMで鮮明な画像を得るために極めて重要である。
3.コーティングの厚さと材料に関する考察
金コーティングの効果は、その厚みとコーティング材料と試料材料の相互作用にも依存する。
通常、2～20 nmの薄い層が適用される。
金は、特に標準的なSEM用途では、仕事関数が低く、コーティング効率が高いため好まれます。
また、低倍率から中倍率の用途に適しており、卓上SEMとの互換性もある。
4.様々な試料タイプへの適用
金によるスパッタコーティングは、ビーム感応性材料や非導電性材料のような困難な試料に特に有効です。
これには、セラミック、ポリマー、生物学的試料などが含まれ、詳細な分析には高品質のイメージングが必要です。
5.EDX分析に関する考察
サンプルにエネルギー分散型X線（EDX）分析が必要な場合は、EDXスペクトルの混乱を避けるため、サンプルに存在する元素と重ならないコーティング材料を選択することをお勧めします。
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