SEMのコーティングは通常、金、白金、金/イリジウム/白金合金などの導電性材料の薄層を、非導電性または導電性の低い試料に塗布する。このコーティングは、電子ビーム下での試料表面の帯電を防ぎ、二次電子放出を促進し、S/N比を向上させ、より鮮明で安定した画像を得るために極めて重要である。さらに、コーティングはビームに敏感な試料を保護し、熱による損傷を軽減することができます。
導電性コーティング
SEMで最も一般的に使用されるコーティングは、金、白金などの金属、およびこれらの金属の合金です。これらの材料は、高い導電性と二次電子収率で選ばれ、SEMのイメージング能力を大幅に向上させます。例えば、わずか数ナノメートルの金やプラチナで試料をコーティングするだけで、S/N比が劇的に向上し、鮮明でクリアな画像が得られます。
- 金属コーティングの利点ビームダメージの低減：
- 金属コーティングは、電子ビームが直接試料に照射されるのを防ぎ、損傷の可能性を低減します。熱伝導の向上：
- 金属コーティングは、試料から熱を伝導させることで、試料の構造や特性を変化させる可能性のある熱損傷を防ぎます。試料帯電の低減：
- 導電層は、試料表面に静電荷が蓄積するのを防ぎます。静電荷は、画像を歪ませ、電子ビームの動作を妨害する可能性があります。二次電子放出の改善：
- 金属コーティングは、SEMでのイメージングに重要な二次電子の放出を促進します。ビーム透過の低減とエッジ分解能の向上：
メタルコーティングは、電子ビームの透過深さを低減し、表面形状の分解能を向上させます。スパッタコーティング
スパッタコーティングは、これらの導電層を適用するための標準的な方法です。金属ターゲットにアルゴンイオンを衝突させ、金属原子を放出させ、試料上に堆積させるスパッタ蒸着プロセスが含まれる。この方法では、コーティングの厚さと均一性を正確に制御することができ、SEMの性能を最適化するために不可欠です。
X線分光法に関する考察
X線分光法を使用する場合、金属コーティングが分析の妨げになることがあります。そのような場合は、分光分析を複雑にする可能性のある追加元素を導入しないカーボンコーティングが好ましい。最新のSEM機能：
