伸線ダイス用ナノダイヤモンドコーティングHFCVD装置

応用

HFCVD化学気相堆積ダイヤモンドの動作原理は、炭素含有雰囲気と過飽和水素を混合し、特定の活性化方法で活性化し、次に特定の雰囲気組成、活性化エネルギー、基板温度、および基板と活性化源との距離などを通過させることです。これらの条件下で、ダイヤモンド膜が底面に堆積します。ダイヤモンド膜の核生成と成長は、一般的に3つの段階に分けられると考えられています。

1. 炭素含有ガスとラドンガスが、特定の温度で炭素、水素原子、およびその他の活性フリーラジカルに分解されます。これらはマトリックスと結合して、最初に非常に薄い炭化物遷移層を形成します。
2. 炭素原子が基板上に形成された遷移層にダイヤモンド核を堆積させます。
3. 形成されたダイヤモンド結晶核は、適切な環境下でダイヤモンド微細アイテムに成長し、その後ダイヤモンド膜に成長します。

詳細と部品

技術仕様

利点

ナノダイヤモンド複合コーティング伸線ダイスは、超硬合金（WC-Co）を基材とし、化学気相法（略してCVD法）を用いて、金型内穴表面に従来のダイヤモンドおよびナノダイヤモンド複合コーティングを施し、研削・研磨後に得られる新製品です。内穴表面にコーティングされたナノダイヤモンド複合コーティングは、従来のダイヤモンドコーティングの強力な密着性と耐摩耗性の特性を備えているだけでなく、ナノダイヤモンドコーティングの平滑で滑らかな表面、小さな摩擦係数、容易な研削・研磨という利点も備えています。コーティング技術は、コーティング密着性という技術的課題を解決するだけでなく、ダイヤモンドコーティング表面の研磨が容易ではないというボトルネックを突破し、CVDダイヤモンド膜の工業化への障害を取り除きます。

• 装置の金型リフトプラットフォームの平行度と直線度については、当社は特殊工具を特別に製造しています。二軸リフト方式は、両端を約±2ワイヤー昇降させることができ、より小さな金型を製造できます。
• 装置の工具については、当社は各社の工具上の位置を統合し、金型の工具とプロセスを対象としています。良好な工具とクランプ、安定性と信頼性、高精度、操作が簡単です。
• 装置のシャットオフバルブについては、他社はバッフルバルブを使用しており、線形調整ができません（つまり、開くとすぐにギャップが速く増加します）。当社はシャットオフバルブと安定した圧力制御の原理に従って設計しており、シャットオフギャップを線形調整して安定した圧力制御を実現できるようにしています。
• 全自動制御システムは、コンピューターアルゴリズムに従って圧力を自動制御します。オペレーターのランダム性を減らし、プロセスをより機密性の高いものにします。人件費を節約し、同じ仕様の金型の品質の一貫性がより理想的です。
• リフトベルジャーの安定性については、当社は自己潤滑ベアリングを使用しており、回転がより柔軟で詰まりがありません。基本的なプロセスとして、各顧客のダイヤモンドコーティングプロセスに従ってダイヤモンドコーティングを作成できます。

警告

オペレーターの安全は最重要課題です。装置の操作には注意してください。引火性ガス、爆発性ガス、有毒ガスを扱う作業は非常に危険です。オペレーターは装置を始動する前に必要な予防措置をすべて講じる必要があります。反応器またはチャンバー内で陽圧を使用して作業するのは危険です。オペレーターは安全手順を厳密に遵守する必要があります。空気反応性材料を使用する場合、特に真空下で作業する場合には、特別な注意を払う必要があります。漏れがあると空気が装置内に引き込まれ、激しい反応が発生する可能性があります。

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