MPCVD
ラボおよびダイヤモンド成長用のベルジャー共振器 MPCVD マシン
商品番号 : KTMP315
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
- マイクロ波電力
- マイクロ波周波数 2450±15MHZ
- 出力電力
- 1～10KW無段階調整可能
- マイクロ波漏洩
- ≤2MW/cm2
- 出力導波路インターフェース
- WR340、430 FD-340、430標準フランジ付き
- サンプルホルダー
- 試料台直径≧70mm、有効利用面積≧64mm
配送:
お問い合わせ 配送詳細を確認してください オンタイムディスパッチ保証.
MPCVD はマイクロ波プラズマ化学蒸着を意味します。炭素ガスとマイクロ波プラズマを使用して、研究室で高品質のダイヤモンド膜を成長させます。
MPCVDシステム
MPCVD は、真空チャンバー、マイクロ波発生器、ガス供給システムを使用して基板上に薄膜を堆積するシステムです。プラズマは、2.45 GHz のマイクロ波を発生するマグネトロンまたはクライストロンによってチャンバー内に生成されます。ガス供給システムには、ガス流量を制御するために sccm で校正された MFC が搭載されています。基板温度はプラズマによって制御され、熱電対によって測定されます。プラズマは基板を加熱し、堆積中に温度が監視されます。
アプリケーション
MPCVD は、大型で高品質のダイヤモンドを低コストで生産できる可能性を示しています。
ダイヤモンドは、硬度、剛性、高熱伝導率、低熱膨張、放射線耐性、化学的不活性などのユニークな特性により、貴重な素材となっています。しかし、天然および合成の高圧高温ダイヤモンドは、コストが高く、サイズが限られており、不純物の制御が難しいため、その用途は限られています。
MPCVD は、単結晶または多結晶のダイヤモンド原石およびフィルムを成長させるための主要な装置です。半導体業界では、ダイヤモンド切断または穴あけ工具業界だけでなく、大型ダイヤモンド基板にダイヤモンド膜の成長が広く使用されています。
ラボ グロウン ダイヤモンドの HPHT 法と比較して、マイクロ波 CVD 法は、低コストでの大型ダイヤモンドの成長に有利であり、半導体ダイヤモンド、光学ダイヤモンドの成長、および大規模な宝飾品ダイヤモンド市場にとって理想的なソリューションとなっています。
MPCVDの利点
MPCVD は、HFCVD や DC-PJ CVD に比べて優れたダイヤモンド合成法です。汚染を回避し、複数のガスを許容します。スムーズなマイクロ波出力調整と安定した温度制御を実現し、種結晶の損失を防ぎます。 MPCVD は、広くて安定したプラズマ領域が得られるため、産業用途に有望です。
MPCVD は、HPHT よりも少ないエネルギーでより純粋なダイヤモンドを生成します。また、より大きなダイヤモンドの生産も可能になります。
当社のMPCVD装置の利点
当社は長年にわたり業界に深く関わってきたため、当社の機器を信頼して使用してくれる膨大な顧客ベースを持っています。当社の MPCVD 装置は 40,000 時間以上安定して稼働しており、優れた安定性、信頼性、再現性、費用対効果を実証しています。当社の MPCVD システムには次のような利点があります。
- 基板成長エリア 3 インチ、最大最大 45 個のダイヤモンドをバッチロード
- 1-10Kwの出力調整可能なマイクロ波出力により、電力消費量を削減
- フロンティアダイヤモンドの成長レシピをサポートする豊富な経験豊富な研究チーム
- ゼロ ダイヤモンド成長経験チームのための独占的な技術サポート プログラム
蓄積した高度な技術を活用することで、MPCVD システムのアップグレードと改良を複数回実施し、大幅な効率の向上と設備コストの削減を実現しました。その結果、当社の MPCVD 装置は技術進歩の最前線にあり、競争力のある価格で提供されます。ご相談お待ちしております。
加工処理
MPCVD 装置は、反応ガス (CH4、H2、Ar、O2、N2 など) を特定の圧力でキャビティに導入しながら、各ガス経路の流れとキャビティ圧力を制御します。気流を安定させた後、6KW ソリッドステート マイクロ波発生器がマイクロ波を生成し、導波管を通じてキャビティに導入されます。
反応ガスはマイクロ波場下でプラズマ状態に変化し、ダイヤモンド基板上に浮かぶプラズマ ボールを形成します。プラズマの高温により、基板が特定の温度に加熱されます。キャビティ内で発生した過剰な熱は水冷ユニットによって放散されます。
MPCVD 単結晶ダイヤモンド成長プロセス中に最適な成長条件を確保するために、電力、ガスソース組成、キャビティ圧力などの要素を調整します。さらに、プラズマボールがキャビティ壁に接触しないため、ダイヤモンドの成長プロセスに不純物が含まれず、それによってダイヤモンドの品質が向上します。
ディテール＆パーツ
マイクロ波システム
反応チャンバー
ガスフローシステム
真空とセンサーシステム
技術仕様
| マイクロ波システム |
|
| 反応チャンバー |
|
| サンプルホルダー |
|
| ガスフローシステム |
|
| 冷却システム |
|
| 温度センサー |
|
| 制御システム |
|
| オプション機能 |
|
警告
オペレーターの安全は最重要課題です。装置の操作には注意してください。引火性ガス、爆発性ガス、有毒ガスを扱う作業は非常に危険です。オペレーターは装置を始動する前に必要な予防措置をすべて講じる必要があります。反応器またはチャンバー内で陽圧を使用して作業するのは危険です。オペレーターは安全手順を厳密に遵守する必要があります。空気反応性材料を使用する場合、特に真空下で作業する場合には、特別な注意を払う必要があります。漏れがあると空気が装置内に引き込まれ、激しい反応が発生する可能性があります。
あなたのために設計
KinTek は世界中の顧客に高度なカスタムメイドのサービスと機器を提供しており、当社の専門チームワークと豊富な経験豊富なエンジニアは、ハードウェアおよびソフトウェア機器の要件に合わせてカスタマイズすることができ、お客様が独自のパーソナライズされた機器とソリューションを構築できるよう支援します。
あなたのアイデアを私たちに送っていただけませんか。当社のエンジニアがすぐに対応します。
FAQ
CVDダイヤモンドマシンとは何ですか？
どのような種類のダイヤモンド成長機械が利用可能ですか?
ラボ グロウン ダイヤモンドの利点は何ですか?
CVDの基本原理は何ですか?
CVD成長機の価格はいくらですか？
CVD法にはどのような種類があるのですか?
4.7
out of
5
The speed of delivery was great, and the equipment arrived in perfect condition. It's been a pleasure working with KINTEK SOLUTION.
4.8
out of
5
The value for money is unbeatable. KINTEK SOLUTION provides high-quality equipment at a reasonable price.
4.9
out of
5
The quality of the equipment is top-notch. It's clear that KINTEK SOLUTION uses only the best materials and construction methods.
4.9
out of
5
The durability of the equipment is exceptional. It's built to last and withstand the rigors of daily use in a lab setting.
4.8
out of
5
The technological advancement of the equipment is impressive. KINTEK SOLUTION is always at the forefront of innovation, providing cutting-edge solutions.
4.7
out of
5
The speed of delivery was exceptional. The equipment arrived well before the estimated delivery date.
4.9
out of
5
The value for money is outstanding. The equipment is worth every penny, and it's clear that KINTEK SOLUTION cares about providing customers with a great deal.
4.8
out of
5
The quality of the equipment is superb. It's evident that KINTEK SOLUTION uses only the highest quality materials and construction methods.
4.7
out of
5
The durability of the equipment is remarkable. It's built to withstand the rigors of daily use in a lab setting and shows no signs of wear or tear.
4.9
out of
5
The technological advancement of the equipment is groundbreaking. KINTEK SOLUTION is always pushing the boundaries of innovation, and their equipment is a testament to their commitment to excellence.
4.8
out of
5
The speed of delivery was lightning fast. The equipment arrived within days of placing the order, which was incredibly convenient.
4.9
out of
5
The value for money is exceptional. The equipment is incredibly affordable, especially considering the high quality and advanced features it offers.
4.7
out of
5
The quality of the equipment is impeccable. It's clear that KINTEK SOLUTION takes pride in their craftsmanship, and the equipment is built to the highest standards.
4.8
out of
5
The durability of the equipment is outstanding. It's built to last, and I'm confident that it will provide years of reliable service.
4.9
out of
5
The technological advancement of the equipment is awe-inspiring. KINTEK SOLUTION is at the forefront of innovation, and their equipment is a testament to their commitment to pushing the boundaries of technology.
4.8
out of
5
The speed of delivery was commendable. The equipment arrived within the promised timeframe, which allowed us to start using it right away.
4.9
out of
5
The value for money is unbeatable. The equipment is incredibly affordable, especially considering the advanced features and high quality it offers.
4.7
out of
5
The quality of the equipment is exceptional. It's clear that KINTEK SOLUTION uses only the best materials and construction methods, resulting in a durable and reliable product.
4.8
out of
5
The durability of the equipment is impressive. It's built to withstand the rigors of daily use in a lab setting, and I'm confident that it will last for many years to come.
4.9
out of
5
The technological advancement of the equipment is remarkable. KINTEK SOLUTION is constantly innovating and pushing the boundaries of technology, and their equipment is a testament to their commitment to excellence.
引用を要求
弊社の専門チームが 1 営業日以内にご返信いたします。 お気軽にお問い合わせ下さい！
関連製品
真空ステーションCVD装置付きスプリットチャンバーCVD管状炉
バキュームステーションを備えた効率的なスプリットチャンバー式CVD炉。最高温度1200℃、高精度MFC質量流量計制御。
RF-PECVD は、「Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition」の頭字語です。ゲルマニウムおよびシリコン基板上にDLC（ダイヤモンドライクカーボン膜）を成膜します。 3～12umの赤外線波長範囲で利用されます。
精密な薄膜成膜を実現する傾斜回転式PECVD炉を紹介します。自動マッチングソース、PID プログラマブル温度制御、高精度 MFC 質量流量計制御をお楽しみください。安全機能を内蔵しているので安心です。
ナノダイヤモンド複合コーティング引抜ダイスは、超硬合金（WC-Co）を基材とし、化学気相法（略してCVD法）を用いて従来のダイヤモンドとナノダイヤモンド複合コーティングを金型の内孔表面にコーティングする。
PECVD コーティング装置でコーティング プロセスをアップグレードします。 LED、パワー半導体、MEMSなどに最適です。低温で高品質の固体膜を堆積します。
当社の耐久性のあるホウケイ酸ガラス製品、高速加熱マントル、および繊細な取り付け装置を使用して、効率的で高品質の 5L ショートパス蒸留を体験してください。高真空条件下で目的の混合液体を簡単に抽出・精製します。今すぐその利点について詳しく学びましょう!
20L ショートパス蒸留システムで混合液体を効率的に抽出、精製します。高真空と低温加熱により最適な結果が得られます。
当社の真空溶融紡糸システムを使用して、準安定材料を簡単に開発します。アモルファスおよび微結晶材料の研究および実験作業に最適です。効果的な結果を得るには今すぐ注文してください。
関連記事
MPCVD で高品質の単結晶ダイヤモンドを実現する方法
マイクロ波プラズマ化学蒸着 (MPCVD) は、高品質の単結晶ダイヤモンドを製造するための一般的な技術です。
MPCVD装置によるCVDダイヤモンドの製造プロセス
CVD ダイヤモンド機械は、さまざまな産業や科学研究において重要な役割を果たしています。
大型単結晶ダイヤモンド用の MPCVD システムの進歩
MPCVD システムの進歩により、より大型で高品質の単結晶ダイヤモンドの生産が可能になり、将来の用途に有望な可能性がもたらされています。
カーボンナノチューブ成長用CVD炉
化学蒸着 (CVD) 炉技術は、カーボン ナノチューブを成長させるために広く使用されている方法です。
プラズマエンハンスト化学気相成長法（PECVD）：包括的ガイド
半導体産業で使用される薄膜成膜技術、プラズマエンハンスト化学気相成長法（PECVD）について知る必要のあるすべてをご紹介します。その原理、アプリケーション、利点をご覧ください。
PECVD を理解する: プラズマ化学気相成長ガイド
PECVD は、酸化物、窒化物、炭化物などのさまざまな材料の堆積を可能にするため、薄膜コーティングを作成するのに有用な技術です。
化学気相成長 (CVD) の概要
化学蒸着 (CVD) は、ガス状反応物質を使用して高品質の薄膜やコーティングを生成するコーティング プロセスです。
薄膜成膜用CVD装置
化学蒸着 (CVD) は、さまざまな基板上に薄膜を蒸着するために広く使用されている技術です。
MPCVD の総合ガイド: ダイヤモンドの合成と応用
ダイヤモンド合成におけるマイクロ波プラズマ化学蒸着 (MPCVD) の基礎、利点、応用について学びます。そのユニークな機能と他のダイヤモンド成長方法との比較について学びましょう。
MPCVD マシンの初心者向けガイド
MPCVD (マイクロ波プラズマ化学蒸着) は、マイクロ波によって生成されたプラズマを使用して基板上に材料の薄膜を堆積するために使用されるプロセスです。
化学気相成長法（CVD）の利点と欠点
化学気相成長法（CVD）は、様々な産業で広く使用されている汎用性の高い薄膜形成技術です。その長所、短所、新しい応用の可能性を探る。
PECVD 炉 ソフトマター向けの低電力および低温ソリューション
PECVD (プラズマ化学蒸着) 炉は、軟質物質の表面に薄膜を蒸着するための一般的なソリューションとなっています。