MPCVD
ラボおよびダイヤモンド成長用のベルジャー共振器 MPCVD マシン
商品番号 : KTMP315
価格は以下に基づいて変動します 仕様とカスタマイズ
- マイクロ波電力
- マイクロ波周波数 2450±15MHZ
- 出力電力
- 1～10KW無段階調整可能
- マイクロ波漏洩
- ≤2MW/cm2
- 出力導波路インターフェース
- WR340、430 FD-340、430標準フランジ付き
- サンプルホルダー
- 試料台直径≧70mm、有効利用面積≧64mm
配送:
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MPCVD はマイクロ波プラズマ化学蒸着を意味します。炭素ガスとマイクロ波プラズマを使用して、研究室で高品質のダイヤモンド膜を成長させます。
MPCVDシステム
MPCVD は、真空チャンバー、マイクロ波発生器、ガス供給システムを使用して基板上に薄膜を堆積するシステムです。プラズマは、2.45 GHz のマイクロ波を発生するマグネトロンまたはクライストロンによってチャンバー内に生成されます。ガス供給システムには、ガス流量を制御するために sccm で校正された MFC が搭載されています。基板温度はプラズマによって制御され、熱電対によって測定されます。プラズマは基板を加熱し、堆積中に温度が監視されます。
アプリケーション
MPCVD は、大型で高品質のダイヤモンドを低コストで生産できる可能性を示しています。
ダイヤモンドは、硬度、剛性、高熱伝導率、低熱膨張、放射線耐性、化学的不活性などのユニークな特性により、貴重な素材となっています。しかし、天然および合成の高圧高温ダイヤモンドは、コストが高く、サイズが限られており、不純物の制御が難しいため、その用途は限られています。
MPCVD は、単結晶または多結晶のダイヤモンド原石およびフィルムを成長させるための主要な装置です。半導体業界では、ダイヤモンド切断または穴あけ工具業界だけでなく、大型ダイヤモンド基板にダイヤモンド膜の成長が広く使用されています。
ラボ グロウン ダイヤモンドの HPHT 法と比較して、マイクロ波 CVD 法は、低コストでの大型ダイヤモンドの成長に有利であり、半導体ダイヤモンド、光学ダイヤモンドの成長、および大規模な宝飾品ダイヤモンド市場にとって理想的なソリューションとなっています。
MPCVDの利点
MPCVD は、HFCVD や DC-PJ CVD に比べて優れたダイヤモンド合成法です。汚染を回避し、複数のガスを許容します。スムーズなマイクロ波出力調整と安定した温度制御を実現し、種結晶の損失を防ぎます。 MPCVD は、広くて安定したプラズマ領域が得られるため、産業用途に有望です。
MPCVD は、HPHT よりも少ないエネルギーでより純粋なダイヤモンドを生成します。また、より大きなダイヤモンドの生産も可能になります。
当社のMPCVD装置の利点
当社は長年にわたり業界に深く関わってきたため、当社の機器を信頼して使用してくれる膨大な顧客ベースを持っています。当社の MPCVD 装置は 40,000 時間以上安定して稼働しており、優れた安定性、信頼性、再現性、費用対効果を実証しています。当社の MPCVD システムには次のような利点があります。
- 基板成長エリア 3 インチ、最大最大 45 個のダイヤモンドをバッチロード
- 1-10Kwの出力調整可能なマイクロ波出力により、電力消費量を削減
- フロンティアダイヤモンドの成長レシピをサポートする豊富な経験豊富な研究チーム
- ゼロ ダイヤモンド成長経験チームのための独占的な技術サポート プログラム
蓄積した高度な技術を活用することで、MPCVD システムのアップグレードと改良を複数回実施し、大幅な効率の向上と設備コストの削減を実現しました。その結果、当社の MPCVD 装置は技術進歩の最前線にあり、競争力のある価格で提供されます。ご相談お待ちしております。
加工処理
MPCVD 装置は、反応ガス (CH4、H2、Ar、O2、N2 など) を特定の圧力でキャビティに導入しながら、各ガス経路の流れとキャビティ圧力を制御します。気流を安定させた後、6KW ソリッドステート マイクロ波発生器がマイクロ波を生成し、導波管を通じてキャビティに導入されます。
反応ガスはマイクロ波場下でプラズマ状態に変化し、ダイヤモンド基板上に浮かぶプラズマ ボールを形成します。プラズマの高温により、基板が特定の温度に加熱されます。キャビティ内で発生した過剰な熱は水冷ユニットによって放散されます。
MPCVD 単結晶ダイヤモンド成長プロセス中に最適な成長条件を確保するために、電力、ガスソース組成、キャビティ圧力などの要素を調整します。さらに、プラズマボールがキャビティ壁に接触しないため、ダイヤモンドの成長プロセスに不純物が含まれず、それによってダイヤモンドの品質が向上します。
ディテール＆パーツ
マイクロ波システム
反応チャンバー
ガスフローシステム
真空とセンサーシステム
技術仕様
| マイクロ波システム |
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| 反応チャンバー |
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| サンプルホルダー |
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| ガスフローシステム |
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| 冷却システム |
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| 温度センサー |
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| 制御システム |
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| オプション機能 |
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警告
オペレーターの安全は最重要課題です。装置の操作には注意してください。引火性ガス、爆発性ガス、有毒ガスを扱う作業は非常に危険です。オペレーターは装置を始動する前に必要な予防措置をすべて講じる必要があります。反応器またはチャンバー内で陽圧を使用して作業するのは危険です。オペレーターは安全手順を厳密に遵守する必要があります。空気反応性材料を使用する場合、特に真空下で作業する場合には、特別な注意を払う必要があります。漏れがあると空気が装置内に引き込まれ、激しい反応が発生する可能性があります。
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FAQ
Mpcvdとは何ですか?
CVDダイヤモンドマシンとは何ですか？
Mpcvdマシンとは何ですか?
Mpcvd の利点は何ですか?
CVD ダイヤモンドは本物ですか、それとも偽物ですか?
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