製品 ラボ用消耗品と材料 CVD材料 CVD boron doped diamond
CVDボロンドープダイヤモンド

CVD材料

CVDボロンドープダイヤモンド

商品番号 : cvdm-07

価格は以下に基づいて変動します specs and customizations


直径
100mm
厚さ
0.3~2mm
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導入

化学気相成長法 (CVD) でホウ素をドープしたダイヤモンドは、ダイヤモンドの優れた特性と制御可能な導電率を組み合わせたユニークな材料です。 CVD 成長中にホウ素原子をダイヤモンド格子に正確に導入することにより、絶縁性から高導電性まで、調整された電気特性を備えた多用途の材料となります。これにより、エレクトロニクス、センサー、熱管理、光学、量子技術における多様なアプリケーションが可能になります。

CVDボロンドープダイヤモンド

アプリケーション

化学蒸着 (CVD) ホウ素ドープ ダイヤモンドは、優れた特性を備えた多用途の材料であり、エレクトロニクスから量子技術に至るまで、複数の業界にわたる課題に対する独自のソリューションを提供します。その継続的な開発とさまざまなアプリケーションへの統合は、今後数年間の技術と科学研究の進歩に大きな期待をもたらします。

  • エレクトロニクス: 高出力電子デバイス、高周波トランジスタ、ダイオード、電界効果トランジスタ (FET)
  • センサー: 温度、圧力、放射線、ガス組成
  • 熱管理: ヒートスプレッダー、ヒートシンク、熱管理ソリューション
  • 光学およびフォトニクス: 量子光学実験用の光学窓、レンズ、基板
  • 量子テクノロジー: 量子コンピューティング、量子通信、量子センシングアプリケーション

特徴

  • 優れた熱伝導性: CVD ホウ素ドープ ダイヤモンドは優れた熱伝導性を備えており、高出力エレクトロニクス、レーザー システム、マイクロエレクトロニクスにおける熱の効率的な放散を可能にします。

  • カスタマイズ可能な導電率: CVD 成長プロセス中のホウ素濃度を正確に制御することで、CVD ホウ素ドープ ダイヤモンドの導電率を絶縁性から高導電性まで幅広い範囲でカスタマイズできます。

  • 幅広いスペクトル透明性: CVD ホウ素ドープ ダイヤモンドは、広いスペクトル範囲にわたって透明性を示し、光学窓やレンズなどの光学およびフォトニクスの用途に適しています。

  • カラーセンターホスティング:ホウ素ドープダイヤモンドは、独特の光学特性を示すダイヤモンド格子の欠陥であるカラーセンターをホスティングすることができます。これらの色中心は、量子光学実験や量子情報処理に応用されています。

  • 高降伏電圧: CVD ホウ素ドープ ダイヤモンドは高降伏電圧に耐えることができるため、過酷な環境で動作する高出力電子デバイスに最適です。

  • 高いキャリア移動度:ホウ素ドープ ダイヤモンドは高いキャリア移動度を備えており、電子デバイスのスイッチング速度の高速化と性能の向上が可能になります。

  • 広い電位ウィンドウ:ホウ素ドープ ダイヤモンドは約 3.5 V の広い電位ウィンドウを備えており、高エネルギーの化学反応を刺激する「過電位」の適用が可能です。

  • 低いバックグラウンド電流:ホウ素ドープ ダイヤモンド電極は、電解質溶液との半導体のような界面にある静電容量層が小さいため、サイクリック ボルタンメトリー スキャンで低いバックグラウンド電流を示します。

  • 化学的不活性: CVD ホウ素ドープ ダイヤモンドは化学的に不活性であるため、耐腐食性があり、過酷な環境に適しています。

  • 量子特性: ホウ素ドープ ダイヤモンドは、その長いコヒーレンス時間と室温で個々の量子ビット (量子ビット) をホストできる能力により、量子コンピューティング、量子通信、量子センシングなどの量子技術での応用が期待されています。

原理

化学蒸着 (CVD) ホウ素ドープ ダイヤモンドは、CVD 成長プロセス中にダイヤモンド格子にホウ素原子を導入することによって作成されます。このドーピング プロセスにより材料の導電率が制御され、絶縁体から高導電体までのカスタマイズが可能になります。

利点

  • 半導体の挙動:ホウ素ドーピングによりダイヤモンド格子に電荷キャリアが導入され、絶縁体から高導電性までの導電率の制御が可能になり、さまざまな電子用途に適したものになります。

  • 高い熱伝導性:ホウ素ドープ ダイヤモンドは他の半導体を上回る優れた熱伝導性を備えており、高出力電子デバイス、レーザー システム、マイクロエレクトロニクスにおける効率的な熱放散を可能にします。

  • 広いスペクトル透明性:ホウ素ドープ ダイヤモンドは、紫外から赤外までの広いスペクトル範囲にわたって透明性を示すため、光学窓、レンズ、光学およびフォトニクスの用途に価値があります。

  • カラーセンター:ホウ素ドープダイヤモンドは、独特の光学特性とスピン特性を持つ原子スケールの欠陥であるカラーセンターをホストすることができます。これらのカラーセンターは、量子コンピューティング、量子通信、量子センシングなどの量子技術に応用されています。

  • 化学的不活性:ホウ素ドープ ダイヤモンドは化学的に不活性で、過酷な環境に耐性があり、さまざまな化学物質と互換性があるため、腐食性または極端な条件での用途に適しています。

  • 機械的硬度:ホウ素ドープ ダイヤモンドは、ダイヤモンドの優れた機械的硬度を継承し、要求の厳しい用途でも耐久性と耐摩耗性を提供します。

  • カスタマイズされた電気特性: CVD 成長プロセス中にホウ素原子の濃度を正確に制御できるため、材料の電気伝導率を広範囲にわたってカスタマイズでき、特定の用途に合わせた最適化が可能になります。

  • 低温堆積:化学気相堆積 (CVD) プロセスは通常、低温で実行され、幅広い基板との統合およびさまざまなデバイス製造プロセスとの互換性が可能になります。

  • 産業上の互換性: CVD ホウ素ドープ ダイヤモンドは産業製造プロセスと互換性があり、スケーラブルでコスト効率の高い生産を可能にし、大量用途に適しています。

仕様

利用可能な寸法:直径100mm、厚さ0.3~2mm
ホウ素濃度[B]: 2 ~ 6 x 1020 原子 /cm3、平均 0.16 mm2
体積抵抗率 (Rv): 2~1.8×10-3オーム・m、±0.25×10-3オーム・m
溶媒ウィンドウ: >3.0V

FAQ

化学蒸着 (CVD) ホウ素ドープ ダイヤモンドの主な利点と用途は何ですか?

CVD ホウ素ドープ ダイヤモンドは、高い熱伝導率、機械的硬度、光学的透明性、制御された電気伝導率などの優れた特性を備えています。これらの利点により、エレクトロニクス、センシング、熱管理、光学、量子技術において価値があります。

ダイヤモンド膜の成長中にホウ素ドーピングはどのように行われるのでしょうか?

ホウ素原子は、堆積プロセス中に成長チャンバーにジボランやトリメチルボランなどのホウ素含有ガスを添加することによってダイヤモンド格子に導入されます。この意図的なドーピングにより、材料の導電率を正確に制御できます。

ホウ素原子の濃度とダイヤモンド膜の導電率の間にはどのような関係がありますか?

低ドーピング レベル (≤10^19 原子 cm-3) では、ダイヤモンド フィルムは半導体として動作します。ドーピング濃度が増加すると、膜は高い導電率 (≥10^20 原子 cm-3) を備えた半金属状態に遷移します。

ダイヤモンド膜の導電率はどのように調整できますか?

ダイヤモンド膜の導電率は、成長プロセス中にホウ素原子の濃度を正確に制御することでカスタマイズでき、望ましい材料特性を実現できます。

ホウ素ドープ ダイヤモンド フィルムの製造に関連する制限や課題は何ですか?

ホウ素ドープ ダイヤモンド フィルムは、蒸着プロセスで使用される熱フィラメントに起因する汚染の影響を受ける可能性があります。さらに、フィラメントの変形や不均一な基板温度分布が製造中に問題を引き起こす可能性があります。
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