MPCVD
ラボおよびダイヤモンド成長用の円筒共振器 MPCVD マシン
商品番号 : KTWB315
価格は以下に基づいて変動します specs and customizations
- マイクロ波電力
- マイクロ波周波数 2450±15MHZ
- 出力電力
- 1～10KW無段階調整可能
- マイクロ波漏洩
- ≤2MW/cm2
- 出力導波路インターフェース
- WR340、430 FD-340、430標準フランジ付き
- サンプルホルダー
- 試料台直径≧72mm、有効利用面積≧66mm
配送:
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MPCVD はマイクロ波プラズマ化学蒸着の略です。これは、炭素含有ガスとマイクロ波プラズマを使用して、実験室で高品質のダイヤモンド膜を成長させる方法です。
MPCVDシステム
MPCVD (マイクロ波プラズマ化学蒸着) システムは、基板表面に薄膜を堆積するために使用されるプロセスです。このシステムは、堆積プロセスが行われる真空チャンバー、マイクロ波発生器、およびガス供給システムで構成されます。マイクロ波発生器は、真空チャンバー内でプラズマを生成するために使用され、これはガス種を分解して基板上に堆積するために使用されます。
マイクロ波発生器は通常、2.45 GHz の範囲のマイクロ波を発生するマグネトロンまたはクライストロンです。マイクロ波は石英窓を介して真空チャンバーに接続されます。
ガス供給システムは、真空チャンバーへのガスの流れを制御するマスフローコントローラー (MFC) で構成されています。 MFC は標準立方センチメートル/分 (sccm) で校正されます。
基板温度はプラズマの位置によって制御され、熱電対によって測定されます。プラズマは基板の加熱に使用され、温度は熱電対によって監視され、堆積プロセス中に基板が確実に所望の温度に保たれます。
アプリケーション
MPCVD は、低コストで高品質な大粒ダイヤモンドを製造するための有望な技術です。
ダイヤモンドの硬度、剛性、高熱伝導率、低熱膨張、放射線耐性、化学的不活性などのユニークな特性により、ダイヤモンドは貴重な素材となっています。
天然および合成の高圧高温ダイヤモンドは、その大きな可能性にもかかわらず、高コスト、限られたサイズ、および不純物の制御の難しさにより、その用途が限られてきました。
MPCVD は、ダイヤモンド宝石およびフィルムの成長に使用される主要な装置です。
ダイヤモンド膜の成長は単結晶または多結晶のいずれかであり、半導体業界の大型ダイヤモンド基板やダイヤモンド切削工具または穴あけ工具業界で広く使用されています。
マイクロ波 CVD 法は、ラボ グロウン ダイヤモンドの HPHT 法と比較して、低コストでの大型ダイヤモンドの成長に有利であり、半導体ダイヤモンド、光学ダイヤモンドの成長、大型宝飾品ダイヤモンドの用途に理想的なソリューションです。市場のニーズ。
MPCVDの利点
MPCVD は、HFCVD や DC-PJ CVD などの他の方法に比べていくつかの利点があるダイヤモンド合成方法です。熱線によるダイヤモンドの汚染を回避し、さまざまな産業ニーズを満たすために複数のガスを使用できるようにします。 DC-PJ CVDと比較して、マイクロ波出力のスムーズかつ連続的な調整と反応温度の安定した制御が可能であり、アーキングや火炎による結晶種の基板からの脱落を回避します。 MPCVD 法は、大面積の安定した放電プラズマを備えているため、工業用途に最も有望なダイヤモンド合成法と考えられています。
MPCVD で製造されるダイヤモンドは、HPHT 法で製造されるダイヤモンドに比べて純度が高く、製造プロセスの消費エネルギーも少なくなります。さらに、MPCVD 法により、より大きなダイヤモンドの製造が容易になります。
当社のMPCVD装置の利点
当社は長年にわたり業界に深く関わってきたため、当社の機器を信頼して使用してくれる膨大な顧客ベースを持っています。当社の MPCVD 装置は 40,000 時間以上安定して稼働しており、優れた安定性、信頼性、再現性、費用対効果を実証しています。当社の MPCVD システムには次のような利点があります。
- 基板成長エリア 3 インチ、最大最大 45 個のダイヤモンドをバッチロード
- 1-10Kwの出力調整可能なマイクロ波出力により、電力消費量を削減
- フロンティアダイヤモンドの成長レシピをサポートする豊富な経験豊富な研究チーム
- ゼロ ダイヤモンド成長経験チームのための独占的な技術サポート プログラム
蓄積した高度な技術を活用することで、MPCVD システムのアップグレードと改良を複数回実施し、大幅な効率の向上と設備コストの削減を実現しました。その結果、当社の MPCVD 装置は技術進歩の最前線にあり、競争力のある価格で提供されます。ご相談お待ちしております。
加工処理
MPCVD 装置は、反応ガス (CH4、H2、Ar、O2、N2 など) を特定の圧力でキャビティに導入しながら、各ガス経路の流れとキャビティ圧力を制御します。気流を安定させた後、6KW ソリッドステート マイクロ波発生器がマイクロ波を生成し、導波管を通じてキャビティに導入されます。
反応ガスはマイクロ波場下でプラズマ状態に変化し、ダイヤモンド基板上に浮かぶプラズマ ボールを形成します。プラズマの高温により、基板が特定の温度に加熱されます。キャビティ内で発生した過剰な熱は水冷ユニットによって放散されます。
MPCVD 単結晶ダイヤモンド成長プロセス中に最適な成長条件を確保するために、電力、ガスソース組成、キャビティ圧力などの要素を調整します。さらに、プラズマボールがキャビティ壁に接触しないため、ダイヤモンドの成長プロセスに不純物が含まれず、それによってダイヤモンドの品質が向上します。
ディテール＆パーツ
マイクロ波システム
反応チャンバー
ガスフローシステム
真空とセンサーシステム
技術仕様
| マイクロ波システム |
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| 反応チャンバー |
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| サンプルホルダー |
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| ガスフローシステム |
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| 冷却システム |
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| 温度センサー |
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| 制御システム |
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| オプション機能 |
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警告
オペレーターの安全は最重要課題です。装置の操作には注意してください。引火性ガス、爆発性ガス、有毒ガスを扱う作業は非常に危険です。オペレーターは装置を始動する前に必要な予防措置をすべて講じる必要があります。反応器またはチャンバー内で陽圧を使用して作業するのは危険です。オペレーターは安全手順を厳密に遵守する必要があります。空気反応性材料を使用する場合、特に真空下で作業する場合には、特別な注意を払う必要があります。漏れがあると空気が装置内に引き込まれ、激しい反応が発生する可能性があります。
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KinTek は世界中の顧客に高度なカスタムメイドのサービスと機器を提供しており、当社の専門チームワークと豊富な経験豊富なエンジニアは、ハードウェアおよびソフトウェア機器の要件に合わせてカスタマイズすることができ、お客様が独自のパーソナライズされた機器とソリューションを構築できるよう支援します。
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FAQ
CVD炉とは何ですか？
化学蒸着 (CVD) は、加熱、プラズマ励起、光放射などのさまざまなエネルギー源を使用して、気相または気固界面で気体または蒸気の化学物質を化学反応させ、反応器内に固体堆積物を形成する技術です。化学反応。簡単に言うと、2 つ以上のガス状原料が反応チャンバーに導入され、それらが互いに反応して新しい材料を形成し、それを基板表面に堆積させます。
CVD炉は、高温管状炉ユニット、ガス制御ユニット、真空ユニットを備えた1つの複合炉システムであり、複合材料の調製、マイクロエレクトロニクスプロセス、半導体オプトエレクトロニクス、太陽エネルギー利用、光ファイバー通信、超伝導体の実験と生産に広く使用されています。技術、保護コーティング分野。
CVD炉はどのように動作するのですか?
CVD炉システムは、高温管状炉ユニット、反応ガス源精密制御ユニット、真空ポンプステーションおよび対応する組立部品で構成されています。
真空ポンプは反応管から空気を除去し、反応管内に不要なガスがないことを確認します。その後、管状炉が反応管を目標温度まで加熱し、反応ガス源の精密制御ユニットがさまざまなガスを導入できます。化学反応用の炉管内に設定された比率のガスが導入され、CVD 炉内で化学気相成長が形成されます。
Mpcvdとは何ですか?
CVDダイヤモンドマシンとは何ですか？
どのような種類のダイヤモンド成長機械が利用可能ですか?
薄膜を堆積するにはどのような方法が使用されますか?
CVDプロセスで使用されるガスは何ですか?
CVD プロセスでは使用できるガス源が膨大にあり、CVD の一般的な化学反応には熱分解、光分解、還元、酸化、酸化還元が含まれるため、これらの化学反応に関与するガスを CVD プロセスで使用できます。
CVD グラフェン成長を例に挙げます。CVD プロセスで使用されるガスは CH4、H2、O2、N2 です。
Mpcvdマシンとは何ですか?
ラボ グロウン ダイヤモンドの利点は何ですか?
CVDの基本原理は何ですか?
薄膜形成装置とは何ですか？
CVD装置の利点は何ですか？
- 金属膜、非金属膜、多成分合金膜など、ご要望に応じて幅広い膜の製造が可能です。同時に、GaNやBPなど他の方法では得られない高品質な結晶を作製することができます。
- 成膜速度は速く、通常は毎分数ミクロン、場合によっては毎分数百ミクロンです。液相エピタキシー（LPE）や分子線エピタキシー（MBE）など他の成膜法とは比べものにならない、均一な組成のコーティングを同時に大量に成膜することが可能です。
- 作業条件は常圧または低真空条件下で行われるため、コーティングの回折性が良好で、複雑な形状のワークピースでも均一にコーティングでき、PVD に比べてはるかに優れています。
- 反応ガス、反応生成物、基材の相互拡散により、耐摩耗性や耐腐食性の皮膜などの表面強化皮膜の作製に重要な密着強度の高い皮膜が得られます。
- 一部のフィルムは、フィルム材料の融点よりもはるかに低い温度で成長します。低温成長条件下では、反応ガスと反応炉壁およびそれらに含まれる不純物とがほとんど反応しないため、高純度で結晶性の良い膜が得られる。
- 化学気相成長法では平滑な成膜面が得られます。これは、LPE と比較して、化学気相成長 (CVD) が高飽和下で行われるため、核生成率が高く、核生成密度が高く、面内均一に分布するため、巨視的に滑らかな表面が得られます。同時に、化学蒸着では、分子（原子）の平均自由行程が LPE よりもはるかに大きいため、分子の空間分布がより均一になり、滑らかな蒸着表面の形成に役立ちます。
- 金属酸化物半導体（MOS）やその他のデバイスの製造に必要な条件である放射線ダメージが低い
Mpcvd の利点は何ですか?
CVD成長機の価格はいくらですか？
CVD法にはどのような種類があるのですか?
薄膜形成技術とは何ですか？
PECVD とは何の略ですか?
PECVDは、プラズマを利用して反応ガスを活性化し、基板表面または表面近傍空間での化学反応を促進し、固体膜を生成する技術です。プラズマ化学蒸着技術の基本原理は、RF または DC 電場の作用下でソースガスがイオン化されてプラズマを形成し、低温プラズマがエネルギー源として使用され、適切な量の反応ガスが生成されます。を導入し、プラズマ放電を利用して反応ガスを活性化し、化学気相成長を実現します。
プラズマの発生方法により、RFプラズマ、DCプラズマ、マイクロ波プラズマCVDなどに分けられます。
CVD ダイヤモンドは本物ですか、それとも偽物ですか?
CVDとPECVDの違いは何ですか?
PECVD と従来の CVD 技術の違いは、プラズマには大量の高エネルギー電子が含まれており、化学蒸着プロセスで必要な活性化エネルギーを提供できるため、反応システムのエネルギー供給モードが変化することです。プラズマ中の電子温度は 10000K と高いため、電子とガス分子の衝突により反応ガス分子の化学結合の切断と再結合が促進され、より活性な化学基が生成され、同時に反応系全体がより低い温度を維持します。
したがって、CVD プロセスと比較して、PECVD は同じ化学気相成長プロセスをより低い温度で実行できます。
4.9
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KINTEK's MPCVD machine is a game-changer! Its 1-10Kw adjustable output microwave power feature not only saves electricity but also ensures precise control over the diamond growth process.
4.8
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As a lab manager, I appreciate the stability and reliability of the KINTEK MPCVD system. It has been running non-stop for over 40,000 hours, providing us with consistent, high-quality diamond growth.
4.7
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The rich experience and frontier diamond growing recipe support from KINTEK's research team have been invaluable. Their expertise has helped us optimize our MPCVD process and achieve exceptional results.
4.8
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KINTEK's exclusive technical support program for teams with zero diamond growing experience is a lifesaver. Their guidance and assistance have been instrumental in our successful adoption of the MPCVD system.
5.0
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The 3 inches substrate growing area and max. batch load of up to 45 pieces diamonds make the KINTEK MPCVD machine a highly efficient and productive choice for our lab. We can now produce more diamonds in less time.
4.9
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The KINTEK MPCVD system is a technological marvel. Its advanced features and continuous upgrades have kept us at the forefront of diamond growth innovation.
4.7
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The competitive price of the KINTEK MPCVD equipment makes it an affordable and accessible solution for labs like ours. We're grateful for the opportunity to leverage its cutting-edge technology without breaking the bank.
5.0
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The KINTEK MPCVD machine has exceeded our expectations. Its user-friendly interface, stable performance, and exceptional diamond quality have made it an indispensable tool in our lab.
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