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915MHz MPCVDダイヤモンドマシン マイクロ波プラズマ化学気相成長装置 リアクター

MPCVD

915MHz MPCVDダイヤモンドマシン マイクロ波プラズマ化学気相成長装置 リアクター

商品番号 : MP-CVD-101

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紹介

MPCVDダイヤモンドマシンは、マイクロ波プラズマ化学気相成長(MPCVD)を利用してダイヤモンドを合成する革新的な技術です。この高度な方法は、従来の技術と比較して、より速い結晶成長、より高い生産能力、および強化されたダイヤモンド品質を可能にします。

MPCVDダイヤモンドマシンは、マイクロ波電力と反応温度を正確に制御でき、他のCVD法で直面する問題を排除します。反応チャンバーの設計とプロセスパラメータを最適化することにより、高品質で大口径の単結晶ダイヤモンドの製造に不可欠な安定したプラズマ放電を実現します。

MPCVDダイヤモンドマシンの汎用性は、白、黄、ピンク、青を含むさまざまな色のダイヤモンドを作成する能力にまで及びます。さらに、特定の市場の需要に対応するために、カスタマイズ可能な生産を提供します。

応用

MPCVDダイヤモンドマシンは、ダイヤモンドの硬度、剛性、高い熱伝導率、低い熱膨張、放射線耐性、化学的安定性などのユニークな特性により、さまざまな産業で広く使用されています。MPCVDダイヤモンドマシンの主な応用分野を以下に示します。

  • ダイヤモンド宝石:MPCVDは、高品質で大口径のダイヤモンド宝石を成長させるために使用される主要な装置です。
  • ダイヤモンド膜:MPCVDは、半導体産業用の大口径ダイヤモンド基板やダイヤモンド切削工具、掘削工具など、さまざまな用途のダイヤモンド膜を成長させるために使用されます。
  • 産業用途:MPCVDは、極度の硬度と耐久性が必要とされる切削工具、ドリルビット、その他の産業用途のダイヤモンドコーティングを製造するために使用されます。
  • 生物医学的応用:MPCVDは、生体適合性と耐久性が不可欠な人工関節や歯科インプラントなどの医療インプラントのダイヤモンドコーティングを製造するために使用されます。
  • 光電子工学:MPCVDは、高い熱伝導率と低い熱膨張が重要な高出力レーザーや検出器などの光電子デバイス用のダイヤモンド窓と基板を製造するために使用されます。

詳細と部品

MPCVDの詳細

MPCVDの詳細

原理

マイクロ波プラズマ化学気相成長(MPCVD)は、連続的なマイクロ波源を利用して、反応性のある化学物質と必須の触媒で構成される非常に反応性の高いプラズマを生成および維持する化学気相成長プロセスです。MPCVDは、ダイヤモンド層の堆積に広く使用されています。メタンと水素が導入され、ダイヤモンド種子基板上に新しいダイヤモンドを培養するために使用されます。

特徴

MPCVDダイヤモンドマシンは、顧客にメリットをもたらすいくつかの利点を備えています。

  • より速い結晶成長速度:従来のメソッドよりも10〜100倍速く、生産効率が向上します。
  • より多くの生産能力:1回のバッチでより高い生産能力を可能にし、より大規模なダイヤモンド合成を可能にします。
  • より高品質なパフォーマンス:天然ダイヤモンドよりも高い硬度と靭性を持つダイヤモンドを製造し、耐久性と長寿命を保証します。
  • より多様な色:白、黄、ピンク、青を含むさまざまな色のダイヤモンドの生産をサポートし、多様な市場の需要に対応します。
  • より高いダイヤモンド純度:天然ダイヤモンドタイプIIよりも純度の高いダイヤモンドを製造し、優れた光学特性とさまざまな用途への適合性を保証します。
  • マルチスタイルのカスタマイズ:特定の市場要件を満たすためのカスタマイズ可能なデザインを提供し、さまざまな産業に合わせたソリューションを提供します。

技術仕様

マイクロ波システム(オプションの電源による)

  • 動作周波数:915±15MHz
  • 出力電力:3〜75kW連続調整可能
  • 冷却水流量:120/分
  • システム定在波係数:VSWR≤1.5
  • マイクロ波漏洩:<2mw/cm2

真空システムと反応チャンバー

  • 漏洩率 <5×10-9Pa.m3/s
  • 限界圧力は0.7Pa未満です(このマシンには輸入されたピラニ真空計が付属しています)。
  • 圧力を12時間維持した後、キャビティ内の圧力上昇は50Paを超えないものとします。
  • 反応チャンバーの動作モード:TM021またはTM023モード
  • キャビティタイプ:冷却円筒キャビティ、最大75KWの電力、高純度、ストーンリングシールを搭載可能。
  • 入口方法:上部スプリンクラーヘッド入口。
  • 観察温度測定窓:8つの観察穴が水平に均等に配置されています。
  • サンプリングポート:下部リフティングサンプリングポート

サンプルホルダーシステム

  • サンプルステージの直径≥200mm、単結晶の有効使用面積≥130mm、多結晶の有効使用面積≥200mm。基板プラットフォームは水冷サンドイッチ構造で、垂直に上下します。

ガスシステム

  • フルメタル溶接ガスプレート 5〜7本のガスライン
  • 装置のすべての内部空気回路は、溶接またはVCRコネクタを使用します。

システム冷却

  • 3ウェイ水冷、温度と流量のリアルタイム監視。
  • システム冷却水流量120L/min、冷却水圧<4KG、入口水温20〜25℃。

温度測定方法

  • 外部赤外線温度計、温度範囲300〜1400℃

SL901A 装置主要部品リスト

シリアル番号 モジュール名 備考
1 マイクロ波電源 標準国内マグネトロン:Yingjie Electric / Distinguish power supply 国内ソリッドステートソース:Watson(+30,000) 輸入マグネトロン:MKS/ pastoral(+100,000)
2 導波管、3ピン、モードコンバーター、アッパーレゾネーター 自社製
3 真空反応チャンバー(アッパーチャンバー、ロアチャンバー、コネクタ) 自社製
4 赤外線温度計、光学変位コンポーネント、ブラケット 赤外線温度計、光学変位コンポーネント、Fuji Gold Siemens + Schneiderブラケット
5 水冷テーブル移動コンポーネント(シリンダー、ワークピースなど)
6 セラミック薄膜真空計、ピラニ真空計 Inficon
7 真空バルブコンポーネント(超高真空ゲートバルブ、精密空気圧バルブ*2、電磁真空チャージ差圧バルブ) Fujikin + Zhongke + Himat
8 真空ポンプと接続パイプ継手、ティー、KF25ベローズ*2、アダプター ポンプ:Flyover 16L
9 金属マイクロ波シールリング*2; 金属真空シールリング*1; 石英板 石英:上海Feilihua半導体グレード高純度石英
10 循環水コンポーネント(ジョイント、ディバーターブロック、流量検出器) 日本SMC/CKD
11 空気圧部品(CKDフィルター、Airtac多ウェイソレノイドバルブ、パイプ継手およびアダプター)
12 ガスコネクタ、EPガスパイプ、VCRコネクタ、フィルター0.0023μm *1、フィルター10μm*2 Fujikin
13 マシンケーシング、ステンレス製テーブル、ユニバーサルホイール、フット、ブラケット固定ネジなど カスタム加工
14 ガス流量計*6(圧力制御1個を含む) 標準七星、オプションのFuji Gold(+34,000)/ Alicat(42,000)
15 ガスプレート加工(5ウェイガス、フィルター*5、空気圧バルブ*5、手動バルブ*6、配管溶接) Fuji Gold
16 PLC自動制御 Siemens + Schneider
17 モリブデンテーブル

利点

  • より速い結晶成長速度 - 従来のメソッドよりも10〜100倍速い
  • より多くの生産能力 - 1回のバッチでより多くの生産能力
  • より高品質なパフォーマンス - 天然ダイヤモンドよりも高い硬度と靭性
  • より多様な色 - 白、黄、ピンク、青など
  • より高いダイヤモンド純度 - 天然ダイヤモンドタイプよりも純度が高い
  • マルチスタイルのカスタマイズ - さまざまな市場に応じてカスタマイズ可能

FAQ

Mpcvdとは何ですか?

MPCVD はマイクロ波プラズマ化学蒸着の略で、表面に薄膜を堆積するプロセスです。真空チャンバー、マイクロ波発生器、ガス供給システムを使用して、反応する化学物質と必要な触媒で構成されるプラズマを生成します。 MPCVD は、メタンと水素を使用してダイヤモンドの層を堆積し、ダイヤモンドシード基板上に新しいダイヤモンドを成長させるために、ANFF ネットワークで頻繁に使用されています。これは、低コストで高品質の大型ダイヤモンドを生産するための有望な技術であり、半導体およびダイヤモンド切断業界で広く使用されています。

Mpcvdマシンとは何ですか?

MPCVD (マイクロ波プラズマ化学蒸着) 装置は、高品質のダイヤモンド膜を成長させるために使用される実験装置です。炭素含有ガスとマイクロ波プラズマを使用してダイヤモンド基板上にプラズマ ボールを生成し、それを特定の温度に加熱します。プラズマボールはキャビティ壁に接触しないため、ダイヤモンドの成長プロセスに不純物が含まれず、ダイヤモンドの品質が向上します。 MPCVD システムは、真空チャンバー、マイクロ波発生器、チャンバーへのガスの流れを制御するガス供給システムで構成されます。

Mpcvd の利点は何ですか?

MPCVD には、より高い純度、より少ないエネルギー消費、より大きなダイヤモンドを製造できるなど、他のダイヤモンド製造方法に比べていくつかの利点があります。

CVD ダイヤモンドは本物ですか、それとも偽物ですか?

CVD ダイヤモンドは本物のダイヤモンドであり、偽物ではありません。これらは、化学蒸着 (CVD) と呼ばれるプロセスを通じて研究室で成長します。地表下から採掘される天然ダイヤモンドとは異なり、CVD ダイヤモンドは実験室で高度な技術を使用して作成されます。これらのダイヤモンドは 100% 炭素であり、タイプ IIa ダイヤモンドとして知られる最も純粋な形のダイヤモンドです。天然ダイヤモンドと同じ光学的、熱的、物理的、化学的特性を持っています。唯一の違いは、CVD ダイヤモンドは実験室で作成され、地球から採掘されたものではないことです。
この製品に関するよくある質問をもっと見る

4.8 / 5

I'm marvelled by the MPCVD machine's ability to produce high-purity diamonds with minimal energy consumption.

Elena Volkova

4.9 / 5

The MPCVD machine has revolutionized diamond synthesis, enabling the production of larger diamonds with exceptional quality.

Aiden Smith

4.7 / 5

I highly recommend the MPCVD machine for its durability and cost-effectiveness. It's a game-changer in diamond synthesis.

Isabella Garcia

4.6 / 5

The MPCVD machine is user-friendly and requires minimal maintenance. It's a valuable asset for any laboratory.

Liam Brown

4.8 / 5

The MPCVD machine has enabled us to produce high-quality diamonds for various industrial applications. It's a reliable and efficient machine.

Sophia Patel

4.9 / 5

The MPCVD machine's ability to adjust microwave power and control reaction temperature precisely is remarkable. It ensures consistent and high-quality diamond synthesis.

Jackson Kim

4.7 / 5

The MPCVD machine stands out with its large-area stable discharge plasma, which enables the production of high-quality, large-sized single crystal diamonds.

Mia Rodriguez

4.6 / 5

I'm thoroughly impressed with the MPCVD machine's ability to avoid contamination and produce purer diamonds compared to traditional methods.

Oliver Chen

4.8 / 5

The MPCVD machine is an excellent choice for laboratories seeking to produce high-quality diamonds for research and industrial applications.

Ava Johnson

4.9 / 5

The MPCVD machine has exceeded our expectations. It's a valuable addition to our laboratory, enabling us to produce diamonds with remarkable properties.

Lucas Baker

製品データシート

915MHz MPCVDダイヤモンドマシン マイクロ波プラズマ化学気相成長装置 リアクター

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Mpcvd


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