MPCVD
915MHz MPCVDダイヤモンドマシン マイクロ波プラズマ化学気相成長装置 リアクター
商品番号 : MP-CVD-101
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紹介
MPCVDダイヤモンドマシンは、マイクロ波プラズマ化学気相成長（MPCVD）を利用してダイヤモンドを合成する革新的な技術です。この高度な方法は、従来の技術と比較して、より速い結晶成長、より高い生産能力、および強化されたダイヤモンド品質を可能にします。
MPCVDダイヤモンドマシンは、マイクロ波電力と反応温度を正確に制御でき、他のCVD法で直面する問題を排除します。反応チャンバーの設計とプロセスパラメータを最適化することにより、高品質で大口径の単結晶ダイヤモンドの製造に不可欠な安定したプラズマ放電を実現します。
MPCVDダイヤモンドマシンの汎用性は、白、黄、ピンク、青を含むさまざまな色のダイヤモンドを作成する能力にまで及びます。さらに、特定の市場の需要に対応するために、カスタマイズ可能な生産を提供します。
応用
MPCVDダイヤモンドマシンは、ダイヤモンドの硬度、剛性、高い熱伝導率、低い熱膨張、放射線耐性、化学的安定性などのユニークな特性により、さまざまな産業で広く使用されています。MPCVDダイヤモンドマシンの主な応用分野を以下に示します。
- ダイヤモンド宝石：MPCVDは、高品質で大口径のダイヤモンド宝石を成長させるために使用される主要な装置です。
- ダイヤモンド膜：MPCVDは、半導体産業用の大口径ダイヤモンド基板やダイヤモンド切削工具、掘削工具など、さまざまな用途のダイヤモンド膜を成長させるために使用されます。
- 産業用途：MPCVDは、極度の硬度と耐久性が必要とされる切削工具、ドリルビット、その他の産業用途のダイヤモンドコーティングを製造するために使用されます。
- 生物医学的応用：MPCVDは、生体適合性と耐久性が不可欠な人工関節や歯科インプラントなどの医療インプラントのダイヤモンドコーティングを製造するために使用されます。
- 光電子工学：MPCVDは、高い熱伝導率と低い熱膨張が重要な高出力レーザーや検出器などの光電子デバイス用のダイヤモンド窓と基板を製造するために使用されます。
詳細と部品
原理
マイクロ波プラズマ化学気相成長（MPCVD）は、連続的なマイクロ波源を利用して、反応性のある化学物質と必須の触媒で構成される非常に反応性の高いプラズマを生成および維持する化学気相成長プロセスです。MPCVDは、ダイヤモンド層の堆積に広く使用されています。メタンと水素が導入され、ダイヤモンド種子基板上に新しいダイヤモンドを培養するために使用されます。
特徴
MPCVDダイヤモンドマシンは、顧客にメリットをもたらすいくつかの利点を備えています。
- より速い結晶成長速度：従来のメソッドよりも10〜100倍速く、生産効率が向上します。
- より多くの生産能力：1回のバッチでより高い生産能力を可能にし、より大規模なダイヤモンド合成を可能にします。
- より高品質なパフォーマンス：天然ダイヤモンドよりも高い硬度と靭性を持つダイヤモンドを製造し、耐久性と長寿命を保証します。
- より多様な色：白、黄、ピンク、青を含むさまざまな色のダイヤモンドの生産をサポートし、多様な市場の需要に対応します。
- より高いダイヤモンド純度：天然ダイヤモンドタイプIIよりも純度の高いダイヤモンドを製造し、優れた光学特性とさまざまな用途への適合性を保証します。
- マルチスタイルのカスタマイズ：特定の市場要件を満たすためのカスタマイズ可能なデザインを提供し、さまざまな産業に合わせたソリューションを提供します。
技術仕様
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マイクロ波システム（オプションの電源による） |
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|---|---|
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真空システムと反応チャンバー |
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サンプルホルダーシステム |
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ガスシステム |
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システム冷却 |
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温度測定方法 |
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SL901A 装置主要部品リスト
| シリアル番号 | モジュール名 | 備考 |
|---|---|---|
| 1 | マイクロ波電源 | 標準国内マグネトロン：Yingjie Electric / Distinguish power supply 国内ソリッドステートソース：Watson（+30,000） 輸入マグネトロン：MKS/ pastoral（+100,000） |
| 2 | 導波管、3ピン、モードコンバーター、アッパーレゾネーター | 自社製 |
| 3 | 真空反応チャンバー（アッパーチャンバー、ロアチャンバー、コネクタ） | 自社製 |
| 4 | 赤外線温度計、光学変位コンポーネント、ブラケット | 赤外線温度計、光学変位コンポーネント、Fuji Gold Siemens + Schneiderブラケット |
| 5 | 水冷テーブル移動コンポーネント（シリンダー、ワークピースなど） | |
| 6 | セラミック薄膜真空計、ピラニ真空計 | Inficon |
| 7 | 真空バルブコンポーネント（超高真空ゲートバルブ、精密空気圧バルブ*2、電磁真空チャージ差圧バルブ） | Fujikin + Zhongke + Himat |
| 8 | 真空ポンプと接続パイプ継手、ティー、KF25ベローズ*2、アダプター | ポンプ：Flyover 16L |
| 9 | 金属マイクロ波シールリング*2; 金属真空シールリング*1; 石英板 | 石英：上海Feilihua半導体グレード高純度石英 |
| 10 | 循環水コンポーネント（ジョイント、ディバーターブロック、流量検出器） | 日本SMC/CKD |
| 11 | 空気圧部品（CKDフィルター、Airtac多ウェイソレノイドバルブ、パイプ継手およびアダプター） | |
| 12 | ガスコネクタ、EPガスパイプ、VCRコネクタ、フィルター0.0023μm *1、フィルター10μm*2 | Fujikin |
| 13 | マシンケーシング、ステンレス製テーブル、ユニバーサルホイール、フット、ブラケット固定ネジなど | カスタム加工 |
| 14 | ガス流量計*6（圧力制御1個を含む） | 標準七星、オプションのFuji Gold（+34,000）/ Alicat（42,000） |
| 15 | ガスプレート加工（5ウェイガス、フィルター*5、空気圧バルブ*5、手動バルブ*6、配管溶接） | Fuji Gold |
| 16 | PLC自動制御 | Siemens + Schneider |
| 17 | モリブデンテーブル | |
利点
- より速い結晶成長速度 - 従来のメソッドよりも10〜100倍速い
- より多くの生産能力 - 1回のバッチでより多くの生産能力
- より高品質なパフォーマンス - 天然ダイヤモンドよりも高い硬度と靭性
- より多様な色 - 白、黄、ピンク、青など
- より高いダイヤモンド純度 - 天然ダイヤモンドタイプよりも純度が高い
- マルチスタイルのカスタマイズ - さまざまな市場に応じてカスタマイズ可能
業界リーダーからの信頼
FAQ
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