金スパッタ・コーターは、スパッタリングと呼ばれるプロセスで動作します。このプロセスでは、ターゲット材料(この場合は金)にエネルギーを照射し、その原子を基板上に放出・堆積させます。この技術は、回路パネルや金属など、さまざまな対象物に薄く均一な金層を形成するために使用され、特に走査型電子顕微鏡(SEM)のサンプル前処理に有益である。
このプロセスは、ターゲット上の金原子を励起することから始まり、通常、アルゴンイオンなどのエネルギーを照射することで達成される。このボンバードメントにより、金原子はターゲットから放出され、基板上に析出し、薄く均一な層を形成する。技術者は、カスタムパターンを作成し、特定のニーズを満たすために蒸着プロセスを制御することができます。
金スパッタリングには、DCスパッタリング、熱蒸着、電子ビーム蒸着など、さまざまな方法があります。どの方法も、低圧または高真空環境で金を蒸発させ、基板上に凝縮させる。
SEMでは、導電性を向上させ、帯電の影響を低減し、電子ビームから試料を保護するために、金または白金の薄層を試料に蒸着する金スパッタコータが使用される。これらの金属の高い導電性と小さな粒径は、二次電子放出とエッジ分解能を向上させ、高品質のイメージングを提供します。
全体として、金スパッタコーターは、回路基板製造からSEMサンプル前処理まで幅広い用途で、さまざまな基板上に薄く均一な金層を形成するための不可欠なツールです。このプロセスは高度に制御されており、特定の要件に合わせてカスタマイズできるため、一貫した高品質の結果が得られます。
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