電子顕微鏡でのスパッタコーティングは、導電性材料（一般に金、イリジウム、白金などの金属）の薄層を、非導電性または導電性の低い試料上に蒸着する。この工程は、電子ビームの帯電を防ぎ、熱損傷を低減し、走査型電子顕微鏡（SEM）観察時の二次電子放出を高めるために極めて重要である。
回答の要約
SEMにおけるスパッタコーティングは、導電性の薄い金属層（一般的には金、イリジウム、白金）を非導電性の試料に蒸着する方法です。このコーティングは帯電を防ぎ、熱による損傷を軽減し、二次電子の放出を改善し、SEMにおける画像の可視性と質を向上させます。
-
詳しい説明
- スパッタコーティングの目的帯電の防止
- SEMでは、電子ビームが非導電性の試料と相互作用すると、静電場が蓄積して帯電が生じます。この帯電は画像を歪ませ、電子ビームの動作を妨害する。導電性コーティングを施すことで、帯電が解消され、電子ビームスキャニングのための安定した環境が確保されます。熱損傷の低減：
- 電子ビームは、局所的な加熱により試料に熱損傷を与えることもあります。導電性コーティングはこの熱の放散に役立ち、試料を損傷から保護します。二次電子放出の促進：
-
導電性コーティング、特に金やプラチナのような重金属から作られたコーティングは、電子ビームが当たったときに二次電子を放出するのに優れています。この二次電子は、SEMで高解像度の画像を生成するのに非常に重要です。
- スパッタコーティングのプロセススパッタリング技術：
- スパッタリングでは、制御された環境（通常はアルゴンガス）で、ターゲット（金などの成膜材料のブロック）に原子やイオンを衝突させます。このボンバードメントにより、ターゲットから原子が放出され、試料の表面に蒸着される。このプロセスは汎用性が高く、生物学的サンプルのように熱に敏感な試料であっても、試料を損傷することなく複雑な三次元表面をコーティングすることができる。コーティングの堆積：
-
スパッタされた原子は試料表面に均一に堆積し、薄膜を形成する。この薄膜の厚さは通常2～20 nmの範囲であり、十分な導電性を提供しながら、試料の詳細を不明瞭にすることはありません。
- SEM試料の利点信号対ノイズ比の向上：
- 導電性コーティングにより、試料から放出される二次電子の数が増加するため、SEM画像のS/N比が向上し、より鮮明で詳細な画像が得られます。様々な試料との互換性：
スパッタコーティングは、複雑な形状の試料や、熱やその他の損傷に敏感な試料など、さまざまな試料に適用できます。修正と見直し
