SEMに最適なコーティングは、分解能、導電性、X線分光法の必要性など、分析に求められる具体的な要件によって異なる。歴史的には、高導電率で粒径が小さく、高分解能イメージングに最適な金が最も頻繁に使用されてきました。しかし、エネルギー分散型X線（EDX）分析では、X線ピークが他の元素と干渉しない炭素が一般的に好まれている。
超高分解能イメージングには、粒径がさらに細かいタングステン、イリジウム、クロムなどの材料が使用される。プラチナ、パラジウム、銀も使用され、銀は可逆性の利点がある。最新のSEMでは、低電圧モードや低真空モードなどの機能により、コーティングの必要性が低減される場合があり、帯電アーチファクトを最小限に抑えて非導電性サンプルを検査できる。
特に金、イリジウム、白金などの金属を用いたスパッタコーティングは、SEM用の非導電性または低導電性の試料を作製するための標準的な方法である。このコーティングは、帯電防止、熱損傷の低減、二次電子放出の増強に役立ち、画像の質を向上させる。しかし、X線分光法を用いる場合は、他の元素のX線ピークとの干渉を避けるため、炭素コーティングが好ましい。
まとめると、SEMのコーティング材料の選択は、特定の用途と分析要件に依存する。一般的には金とカーボンが使用され、高分解能イメージングには金、EDX分析にはカーボンが好ましい。タングステン、イリジウム、プラチナ、銀などの他の材料は、超高分解能イメージングや可逆性などの特定のニーズに使用されます。
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