走査型電子顕微鏡(SEM)を使用する場合、適切なコーティングを選択することが、最良の結果を得るために非常に重要です。
コーティングの種類は、必要な分解能、試料の導電性、X線分光法を使用するかどうかなど、いくつかの要因によって決まります。
SEMに最適なコーティングを選ぶ際に考慮すべき5つのポイント
1.必要な分解能
歴史的に、金が最も一般的に使用されてきたコーティング材料です。これは、金が導電率が高く、粒径が小さいため、高分解能イメージングに最適だからです。
2.導電性の必要性
エネルギー分散型X線（EDX）分析では、一般的にカーボンが好まれる。これは、カーボンのX線ピークが他の元素と干渉せず、分光分析に理想的だからである。
3.超高分解能イメージング
超高分解能イメージングには、タングステン、イリジウム、クロムなどの材料が使用される。これらの材料は粒径がさらに細かく、非常に詳細な画像を得るのに役立つ。
4.可逆性と多用途性
プラチナ、パラジウム、銀もSEMコーティングに使用される。特に銀は可逆性があり、様々な用途に使用できる。
5.最新のSEM機能
最新のSEMでは、低電圧モードや低真空モードなどの高度な機能により、コーティングの必要性が減少する場合があります。これらのモードは、帯電アーチファクトを最小限に抑えながら、非導電性試料の検査を可能にします。
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