SEM（走査型電子顕微鏡）では、主に帯電を防止し、画質を向上させるS/N比を高めるために、非導電性サンプルに金コーティングを施す必要があります。詳しい説明はこちら：
帯電の防止
非導電性材料は、SEMで電子ビームに曝されると静電場を蓄積し、試料を帯電させます。この帯電は電子ビームを偏向させ、画像を歪ませ、試料を損傷させる可能性があります。金のような導電性材料で試料をコーティングすると、このような電荷を散逸させることができ、試料が電子ビーム下で安定した状態を保つことができます。信号対雑音比の向上：
- 金は、多くの非導電性材料に比べて二次電子収率が高い。非導電性試料を金でコーティングすると、放出される二次電子が増加し、SEMで検出される信号が増強されます。バックグラウンドノイズに対する信号強度の増加により、より鮮明で詳細な画像が得られます。金の薄い層（通常2～20nm）は、試料の表面の特徴を大きく変えることなく、イメージング能力を劇的に向上させるのに十分です。実用上の考慮事項
- コーティングの厚さと粒径： 金コーティングの厚みとサンプル材料との相互作用は、コーティングの粒径に影響します。例えば、金や銀の場合、標準的な条件下では5～10nmの粒径が予想されます。
- 均一性と被覆： スパッタコーティング技術は、大面積で均一な膜厚を実現することができ、これは試料全体で一貫したイメージングを行うために極めて重要です。
EDX分析のための材料選択：
- 試料にエネルギー分散型X線（EDX）分析が必要な場合は、スペクトルの重複を避けるため、試料の元素組成に干渉しないコーティング材料を選択することが重要です。スパッタコーティングの欠点
- 装置の複雑さ： スパッタコーティングには、複雑で高価な専用装置が必要である。
- 蒸着速度： 比較的時間がかかる。
温度の影響：
基板が高温になることがあり、特定の試料に悪影響を及ぼす可能性がある。
