SEM用スパッタコーティングは、非導電性または導電性の低い試料の上に極薄の導電性金属層を塗布し、帯電を防止して画像品質を向上させる。このプロセスでは、金、白金、銀、クロムなどの金属を通常2～20 nmの厚さで使用します。その利点には、ビーム損傷の低減、熱伝導の改善、試料の帯電の低減、二次電子放出の強化、エッジ分解能の向上、ビームに敏感な試料の保護などがある。
詳しい説明
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金属コーティングの応用
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スパッタコーティングは、試料に金属の薄層を蒸着させる。これは、導電性でない試料の場合、走査型電子顕微鏡（SEM）分析中に静電場が蓄積されるため、非常に重要です。この目的で一般的に使用される金属には、金、白金、銀、クロムなどがあり、導電性と安定した薄膜形成能力から選ばれる。帯電の防止：
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SEM内の非導電性材料は、電子ビームとの相互作用により電荷を帯びることがあり、画像が歪んで分析の妨げになることがあります。スパッタコーティングによって形成された導電性金属層は、この電荷を放散させ、鮮明で正確な画像を保証します。
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二次電子放出の強化：
- 金属コーティングは、試料表面からの二次電子の放出も促進します。この二次電子はSEMのイメージングに不可欠であり、放出が増加することでS/N比が向上し、より鮮明で詳細な画像が得られます。
- SEM試料へのメリット顕微鏡ビームダメージの低減：
- 金属コーティングは、電子ビームによる損傷から試料を保護します。熱伝導の向上：
- 導電層は、電子ビームによって発生する熱の放散を助け、試料を熱損傷から保護します。試料帯電の低減：
- 前述の通り、導電層は静電気の蓄積を防ぎます。二次電子放出の改善：
- SEM画像の質を直接的に向上させます。エッジ分解能の向上によるビーム透過の低減：
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薄い金属層は、電子ビームの透過深さを低減し、画像のエッジや微細な部分の解像度を向上させます。ビームに敏感な試料の保護：
コーティングが高感度試料のシールドとなり、電子ビームの直接照射を防ぎます。
スパッタ膜の厚さ
