SEM用スパッタコーティングは、導電性のない試料や導電性の低い試料の上に極薄の導電性金属層を形成するものです。
このプロセスは、帯電を防ぎ、画像品質を向上させるのに役立ちます。
金、プラチナ、銀、クロムなどの金属を使用し、通常2～20 nmの厚さでコーティングします。
SEM用スパッタコーティングとは？5つの主な利点
1.金属コーティングの応用
スパッタコーティングでは、試料の上に薄い金属層を蒸着します。
これは導電性でない試料にとって非常に重要です。
このコーティングがないと、走査型電子顕微鏡（SEM）分析中に静電場が蓄積される。
この目的によく使われる金属には、金、白金、銀、クロムなどがある。
これらの金属は、導電性と安定した薄膜を形成する能力から選ばれる。
2.帯電の防止
SEM内の非導電性材料は、電子ビームとの相互作用により電荷を帯びることがあります。
この電荷は画像を歪ませ、分析を妨害する可能性があります。
スパッタコーティングで施された導電性金属層は、この電荷の放散に役立ちます。
これにより、鮮明で正確な画像が得られます。
3.二次電子放出の促進
金属コーティングは、試料表面からの二次電子の放出も促進します。
この二次電子は、SEMにおけるイメージングに極めて重要です。
二次電子の放出が増加することで、S/N比が向上します。
これにより、より鮮明で詳細な画像が得られます。
4.SEM試料の利点
顕微鏡ビームダメージの低減
金属コーティングは、電子ビームの損傷から試料を保護します。
熱伝導の向上
導電層は、電子ビームによって発生する熱の放散を助けます。
これにより、試料を熱損傷から保護します。
試料帯電の低減
前述のように、導電層は静電気の蓄積を防ぎます。
二次電子放出の改善
これはSEM画像の品質を直接的に向上させます。
エッジ分解能の向上によるビーム透過の低減
薄い金属層は、電子ビームの透過深さを低減します。
これにより、画像のエッジや細部の解像度が向上します。
ビームに敏感な試料の保護
コーティングは、高感度試料のシールドとして機能します。
電子ビームの直接照射を防ぎます。
5.スパッタ膜の厚さ
スパッタ膜の厚さは、通常2～20 nmの範囲である。
この範囲は、試料の表面形状や特性を大きく変えることなく、十分な導電性を確保する必要性とのバランスを考慮して選択される。
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