金スパッタリングは、走査型電子顕微鏡（SEM）において、非導電性または導電性の低い試料から得られる画像の質を向上させるために使用される重要な技術である。
なぜ金スパッタリングがSEMに使用されるのか？4つの主な理由を説明
1.帯電の防止
SEMでは、電子ビームが試料と相互作用する。
非導電性材料はこの相互作用によって静電場を蓄積し、「帯電」効果を引き起こすことがあります。
帯電は電子ビームを偏向させ、画像を歪ませます。
金薄膜を試料にスパッタリングすることで、試料表面が導電性になり、電荷を放散させ、ビームの偏向や画像の歪みを防ぐことができます。
2.信号対雑音比の向上
金は優れた二次電子放出剤である。
試料に金層を形成すると、放出される二次電子が増加し、SEMで検出される信号が向上します。
この信号の向上はS/N比の向上につながり、コントラストと細部の再現性に優れた高解像度画像を得るために極めて重要です。
3.均一性と膜厚制御金スパッタリングでは、試料表面全体に均一かつ制御された厚さの金を蒸着することができます。この均一性は、試料の異なる領域にわたって一貫したイメージングを行うために不可欠である。
