PVDはスパッタリングと同じですか？
いいえ、PVD（Physical Vapor Deposition）はスパッタリングと同じではありませんが、スパッタリングはPVDプロセスの一種です。
概要 PVD（Physical Vapor Deposition：物理的気相成長法）は、物理的方法を用いて基板上に薄膜を蒸着する真空ベースのコーティングプロセスの幅広いカテゴリーです。スパッタリングは、PVDの中の特定の方法で、薄膜コーティングを作成するために基板上にターゲットソースから材料を射出することを含む。
5つの主な違い
1.物理的気相成長法（PVD）
PVDは、さまざまな基板上に薄膜を蒸着するために使用されるいくつかの技術を包括する一般的な用語です。
これらの技術の特徴は、真空環境下で材料を気化させ、蒸着させる物理的な方法を用いることです。
PVDの主な目的は、基材表面に薄く、均一で密着性の高いコーティングを形成することである。
2.PVDプロセスの種類
PVDには、蒸着、スパッタ蒸着、電子ビーム蒸着、イオンビーム蒸着、パルスレーザー蒸着、カソードアーク蒸着など、さまざまな方法があります。
これらの方法はそれぞれ、材料やコーティングに求められる特性に応じて、特定の用途や利点がある。
3.PVDプロセスとしてのスパッタリング
スパッタリングは、高エネルギー粒子（通常はアルゴンイオン）によってターゲットソース（通常は固体金属または化合物）から材料を放出させる特殊なPVD技術である。
放出された材料は基板上に堆積し、薄膜を形成する。
スパッタリングは、さまざまな材料を成膜できることと、さまざまな種類の基板に適していることが特に評価され、半導体、光学、建築用ガラスなど、多くの産業で汎用性が高く、経済的に実行可能な選択肢となっている。
4.スパッタリングの利点
PVD分野におけるスパッタリングの人気は、いくつかの要因によるものである。
スパッタリングは、蒸発が困難な材料を含む多様な材料の成膜を可能にする。
さらに、スパッタリングは、LEDディスプレイ、光学フィルター、精密光学などの先端技術に必要な高品質のコーティングを作り出すことができる。
5.歴史的背景と進化
スパッタリング技術、特にプラズマ・スパッタリングは、1970年代に導入されて以来、大きく発展してきた。
現在では、航空宇宙、太陽エネルギー、マイクロエレクトロニクス、自動車など、数多くのハイテク産業に不可欠な技術となっている。
結論として、PVDとスパッタリングは関連してはいるが、同義ではない。
PVDは、スパッタリングを数ある技法の一つとして含む、より広範なカテゴリーである。
この違いを理解することは、特定の用途要件と材料特性に基づいて適切なコーティング方法を選択する上で極めて重要です。
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