スパッタリングは様々な産業、特にラボ製品、光学フィルム、半導体などの製造において重要なプロセスである。
スパッタリングにはどのような種類があるのでしょうか？(2つの主な技術を説明)
1.イオンビームスパッタリング
イオンビームスパッタリングでは、気化させたい材料の表面にイオンビームを照射します。
イオンビームの高電界により、金属蒸気ガスがイオン化されます。
イオン化後、これらのイオンはターゲットまたは蒸着が必要な部分に向けられる。
この方法は、製造業、特に医療産業におけるラボ製品や光学フィルムの製造によく使用される。
2.マグネトロンスパッタリング
マグネトロンスパッタリングは、低圧ガス環境でプラズマを発生させるカソードの一種であるマグネトロンを使用する。
このプラズマは、通常金属やセラミックでできているターゲット材料の近くに形成される。
プラズマによってガスイオンがスパッタリングターゲットと衝突し、原子が表面から外れて気相中に放出される。
磁石アセンブリによって発生する磁場がスパッタリング速度を高め、スパッタリングされた材料の基板上への均一な堆積を保証する。
この技術は、様々な基板上に金属、酸化物、合金の薄膜を成膜するために広く使用されており、環境にやさしく、半導体、光デバイス、ナノサイエンスなどの用途に汎用されている。
イオンビームスパッタリングとマグネトロンスパッタリングは、いずれも物理蒸着（PVD）法の一部である。
PVDは、制御されたガス（通常はアルゴン）を真空チャンバーに導入し、カソードに電気的に通電して自立プラズマを確立することによって薄膜を成膜する。
この2つの手法のどちらを選択するかは、成膜する材料の種類、コーティングの均一性、環境条件など、アプリケーションの具体的な要件によって決まります。
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