熱蒸着とは?薄膜蒸着技術ガイド
OLEDやトランジスタなどに使用される高純度薄膜を形成するPVD法、熱蒸着についてご紹介します。そのプロセス、利点、用途についてご紹介します。
熱蒸着とは?薄膜成膜技術ガイド
薄膜形成のためのPVD技術である熱蒸着について、その原理、利点、エレクトロニクスや光学分野での応用についてご紹介します。
熱蒸着とは?精密半導体薄膜ガイド
熱蒸着がエレクトロニクスやオプトエレクトロニクス用の高品質な半導体薄膜をどのように作り出すかをご覧ください。そのプロセス、利点、課題をご覧ください。