熱蒸着は、金属および非金属の薄膜を蒸着するために使用される汎用性の高い物理蒸着技術である。
その簡便さと有効性から、様々な産業で広く応用されている。
熱蒸着の主な用途は以下の通り：
1.電気接点および薄膜デバイス
熱蒸着は、電気接点用の銀やアルミニウムのような単一金属の蒸着によく使用されます。
また、金属コンタクト層を蒸着することにより、OLED、太陽電池、薄膜トランジスタなどの薄膜デバイスを製造する際にも重要です。
さらに、ウェハボンディング用の厚いインジウム層を成膜することもできる。
2.光学および眼鏡レンズ
この技術は、光学部品やレンズのコーティングに広く使用されている。
反射防止コーティング、ハードコーティング、赤外線や紫外線からの保護など、レンズの特性を向上させるために複数の材料層が蒸着されます。
大型の真空チャンバーでは、一度に数百のレンズを処理することができ、バッチ内のすべての製品で均一な薄膜を確保することができる。
3.消費者向けパッケージング
熱蒸着は、包装箔用のウェブコーティングを作成するための大型コーティング機で採用されている。
アルミニウムのような材料の薄膜をプラスチック箔に塗布することで、空気や湿気に対するバリアを作り、消費財の鮮度や賞味期限を延ばすことができる。
4.一般的な薄膜蒸着
この技術は、アルミニウム、銀、ニッケル、クロム、マグネシウムなど、さまざまな材料の蒸着に応用できる。
このプロセスでは、高真空環境で材料を蒸発点まで加熱し、気化した分子が基材に移動して核となり、薄膜コーティングを形成する。
熱蒸発のプロセス
熱蒸発のプロセスは単純である。材料は高真空環境で蒸発点まで加熱され、通常はジュール加熱または電子ビーム蒸発を使用する。
気化した材料は基板に移動し、そこで凝縮して薄膜を形成する。
この方法は、実験室でも工業環境でも薄膜の成膜に有効で、膜の成長と核形成のために繰り返すことができます。
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