熱蒸発で使用されるボートは、一般的に2成分系セラミックボートである。
このボートは二ホウ化チタンと窒化ホウ素の組み合わせから作られている。
この組み合わせが選ばれるのは、高温に耐えられるからである。
また、導電性を維持し、溶融金属（特にアルミニウム）に対して不活性である。
熱蒸発で広く使われているボートは何でできているのか？(4つのポイント）
1.材料構成
蒸発ボートは、二ホウ化チタン（TiB2）と窒化ホウ素（BN）の混合物から作られている。
二ホウ化チタンは耐熱性に優れ、非鉄金属溶融物に対して不活性であることから選ばれている。
また、液体アルミニウムとのボートの濡れ性を向上させる効果もあり、これはアルミニウム蒸着を伴うプロセスでは極めて重要である。
窒化ホウ素は、非導電性材料であるため、ボートの電気抵抗を調整するために添加される。
2.機能性
蒸発ボートの主な機能は、蒸発させる材料（通常はアルミニウムなどの金属）の受け皿として機能することです。
このボートは電気抵抗加熱器として機能し、ボートと連続的に供給される金属ワイヤーが、電流の流れによって高真空条件下で加熱される。
この加熱プロセスがワイヤーを溶かし、その後蒸発させて薄膜蒸着を促進する。
3.動作要件
ボートは、含まれる材料の蒸発温度よりもかなり高い温度で作動しなければならない。
この要件により、材料の効率的で安定した蒸発が保証される。
ボートの設計と材料組成は、劣化や溶融金属との反応なしにこの高温を維持するために極めて重要である。
4.汎用性とカスタマイズ
蒸発ボートは、その使いやすさと幅広い容量により、様々な薄膜コーティングプロセスで人気があります。
特定のニーズに合わせてカスタム製造することができ、異なる材料や蒸発速度との互換性を保証します。
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