熱蒸発で広く使用されているボートは、通常、二ホウ化チタンと窒化ホウ素からなる2成分系セラミックボートである。この組み合わせは、高温に耐え、電気伝導性を維持し、溶融金属、特にアルミニウムに対して不活性を維持する能力のために選択される。
詳細説明
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材料構成： 蒸発ボートは、二ホウ化チタン（TiB2）と窒化ホウ素（BN）の混合物から作られています。二ホウ化チタンは、その優れた耐熱性と非鉄金属溶融物に対する不活性のために選択される。また、液体アルミニウムとのボートの濡れ性を向上させる効果もあり、これはアルミニウム蒸着を伴うプロセスでは極めて重要である。窒化ホウ素は、非導電性材料であるため、ボートの電気抵抗を調整するために添加される。
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機能性： 蒸発ボートの主な機能は、蒸発させる材料（通常はアルミニウムなどの金属）の受け皿として機能することです。電気抵抗ヒーターとして機能し、ボートと連続的に供給される金属ワイヤーが、電流の流れによって高真空条件下で加熱される。この加熱プロセスがワイヤーを溶かし、その後蒸発させて薄膜蒸着を促進する。
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動作要件： ボートは、含まれる材料の蒸発温度よりもかなり高い温度で作動しなければならない。この要件により、材料の効率的で安定した蒸発が保証される。ボートの設計と材料組成は、劣化や溶融金属との反応を起こさずに高温を維持するために非常に重要です。
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汎用性とカスタマイズ： 蒸発ボートは、その使いやすさと幅広い容量により、さまざまな薄膜コーティングプロセスで人気があります。特定のニーズに合わせて特注で製造することも可能で、さまざまな材料や蒸発速度に対応できます。
要約すると、熱蒸発における蒸発ボートは、高耐熱性、電気伝導性、化学的不活性を兼ね備えた特定のセラミック混合物から作られた重要なコンポーネントであり、高真空条件下での材料の取り扱いと蒸発に理想的です。
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