熱蒸着は薄膜の成膜に使われる方法だが、プロセスの品質や効率に影響するいくつかの欠点がある。
熱蒸発法の6つの欠点とは？
1.高感度材料の品質劣化
熱蒸発は繊細な素材を劣化させる可能性がある。これには有機物質、ビタミン、香料、医薬中間体などが含まれます。これらの材料は比較的低温で分解または反応し、最終製品に悪影響を与える可能性があります。
2.薄膜中の不純物
熱蒸発、特に抵抗加熱蒸発では、不純物レベルの高い薄膜ができることがある。これは、材料を保持するるつぼが加熱され、薄膜を汚染する可能性があるためです。
3.密度の低い薄膜コーティング
熱蒸着は、電子ビーム蒸着に比べて、密度の低い薄膜コーティングを生成することが多い。これは、蒸発粒子のエネルギーが低いためで、蒸着膜のパッキングや結合の効率が低くなる。
4.低融点材料への限定
熱蒸発法は、融点の低い材料に最も適している。酸化物のような高温の材料には不向きで、電子ビーム蒸発の方が適している。
5.低い蒸着率
熱蒸着は一般的に、電子ビーム蒸着に比べて蒸着速度が低い。このため、特に大量生産が必要な工業用途では、プロセスが遅くなる可能性があります。
6.熱応力
このプロセスでは、蒸着される材料に大きな熱応力がかかる。これは、特にデリケートな材料において、構造変化や損傷を引き起こす可能性がある。このストレスは、圧力を調整したり、特殊な設計を使用することで軽減できますが、これらの解決策は複雑さとコストを増加させます。
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