熱蒸発は、材料を高温に加熱して気化させ、蒸気を形成させるプロセスである。
この蒸気が基板上に凝縮して薄膜を形成する。
このプロセスは通常、10^-5torr以下の真空環境で行われる。
4つのポイント
1.蒸発の方法
電子ビーム蒸着と熱蒸発の主な違いは、材料を蒸発させる方法である。
電子ビーム蒸発は高エネルギーの電子ビームを使用する。
熱蒸発は熱を使用する。
2.熱伝達プロセス
熱蒸発プロセスは、熱源から蒸発する材料への熱の移動を伴う。
この熱の移動は、最初に暖かくなる材料の外側の層を通して起こる。
暖かい層は対流によって上昇し、より冷たい層がその代わりとなり、温度が均等になる。
3.熱伝達の促進
ミキサーや回転蒸発技術を使った回転フラスコで液体を動かし続けることで、熱伝達を促進することができる。
この継続的な混合または強制対流により、優れた熱伝達が可能になり、気体の排出が改善され、蒸留プロセスが迅速になります。
4.蒸発速度の向上
蒸発速度を上げるには、蒸発させる物質の温度を上げることで平均エネルギーを増加させる。
この温度上昇は、材料の蒸気圧（VP）も上昇させる。
一部の蒸発材料は蒸気圧を持つため、融点付近の温度で昇華または蒸発する（チタンなど）。
複合材料の中には、昇華するものと蒸発するものがあります。
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