蒸発材料は、蒸発と呼ばれるプロセスによって表面に薄膜やコーティングを形成する際に使用される物質である。
これらの物質は気化するまで高温に加熱される。
真空環境では、気化した物質が対象物（通常は基板）の表面に直接移動し、そこで凝縮して薄膜を形成する。
このプロセスは真空チャンバー内で行われ、コンタミネーションを防ぎ、目的の材料のみがコーティングを形成するようにします。
蒸着材料について知っておくべき7つのポイント
1.純度レベル
蒸発材料の純度レベルは、特定の用途にもよりますが、通常99.9%から99.99999%の範囲です。
高純度は、製造される薄膜の品質と性能に直接影響するため、非常に重要である。
2.材料の種類
蒸発材料として使用される材料の例としては、純金属、アンチモン化物、ヒ素化物、ホウ化物、炭化物、フッ化物、窒化物、酸化物、セレン化物、ケイ化物、硫化物、テルル化物などがあります。
これらの材料は、チャンク、フォイル、ペレット、ワイヤー、ロッド、ショット、スラグなど様々な形状があり、蒸発プロセスでの効率的な使用を容易にしている。
3.一般的な熱蒸発技術
一般的な熱蒸発法には、抵抗加熱蒸発法、電子ビーム蒸発法、フラッシュ蒸発法、誘導加熱蒸発法などがある。
いずれの手法も、るつぼ内での抵抗加熱、電子ビームの材料への集束、大電流パルスによる材料の急速加熱、誘導加熱による材料への電流誘導のいずれかにより、蒸発材料を気化点まで加熱する。
4.真空環境要件
蒸発、特に抵抗加熱蒸発のプロセスでは、材料の蒸気圧が周囲環境の蒸気圧を上回るようにするため、真空環境が必要となる。
5.必須設備
必要不可欠な装置には、真空システム、電気エネルギー源、耐火性金属で作られた「ボート」のような形状の抵抗体が含まれる。
このセットアップにより、電力を供給する際に熱が発生し、材料が気化し、基板上に薄膜が形成される。
6.幅広い材料
は、元素、合金、複合材料、金属材料、セラミック材料、サーメット材料、耐火材料など、熱蒸発に適した幅広い材料を、さまざまなバルク形態で提供している。
これらの材料は粉末冶金(PM)や真空溶解(VM)などの技術を用いて製造され、化学組成や微量元素組成の詳細を記載した分析証明書が付属しています。
7.精度と純度
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