サーマルエバポレーターの真空レベルは、通常10^-5Torr以下の圧力に維持される。この高真空環境は熱蒸発のプロセスにとって非常に重要であり、蒸発分子の平均自由行程が十分に長く、蒸着膜の品質に悪影響を及ぼす可能性のあるチャンバー内の気体分子との衝突を防ぐことができる。
説明
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熱蒸着における真空の重要性：
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熱蒸発は、材料が真空チャンバー内で加熱され、表面原子が十分なエネルギーを得て表面を離れ、基板上に堆積するプロセスである。真空環境は、蒸発した原子や分子が衝突することなくソースから基材まで移動し、その方向性を維持し、コーティングの品質を維持するために不可欠です。最適な真空レベル
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熱蒸発に最適な真空レベルは、通常10^-5Torr程度である。この圧力では、分子の平均自由行程は約1mであり、蒸発源と基板間の距離が200mmから1mの範囲にあるほとんどの熱蒸発セットアップには十分である。これにより、蒸発した粒子は、衝突によって経路から大きく逸脱することなく、その距離を移動することができる。
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真空システムのセットアップ：
最新のサーマルエバポレーターでは、このような低圧を迅速かつ効率的に達成できるターボ分子ポンプを使用することが多い。これらのポンプは通常、ロータリーベーンポンプ、ドライスクロールポンプ、または多段ルーツポンプによってバックアップされ、チャンバーを大気圧から運転に必要なベース圧力まで排気するのに役立ちます。セットアップは、ポンプへのゴミの落下を最小限に抑え、クリーンで効率的な真空環境を維持するように設計されています。
制御とモニタリング
