知識 蒸発における原料を加熱する2つの一般的な方法とは?
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 2 months ago

蒸発における原料を加熱する2つの一般的な方法とは?

蒸発に関しては、原料を加熱することが重要なステップである。

これを達成するために使用される2つの主要な方法があります:抵抗加熱と電子ビーム加熱。

蒸発においてソース材料を加熱する2つの一般的な方法とは?

蒸発における原料を加熱する2つの一般的な方法とは?

1.抵抗加熱

抵抗加熱では、発熱体またはフィラメントを使用してソース材料を加熱します。

フィラメントは通常、タングステン、モリブデン、石英、グラファイトなどの材料で作られています。

金属材料を含む抵抗性のワイヤーまたは箔に大電流を流します。

フィラメントが加熱されると、融点に達する。

この熱がソース材料に伝わり、蒸発または昇華して蒸気になる。

2.電子ビーム加熱

電子ビーム加熱では、ソース材料を加熱するために電子ビームが使用される。

電子ビームは電子銃によって生成される。

この電子ビームがソース材料に照射されることにより、ソース材料が加熱され、蒸発または昇華する。

電子ビーム蒸着では、加熱プロセスを正確に制御することができる。

また、高い蒸着率を実現することができる。

蒸発プロセスでは、抵抗加熱と電子ビーム加熱の両方が一般的に使用される。

これらの方法は、原料を高温に加熱し、気化させて基板上に凝縮させる。

各方法にはそれぞれ利点があり、コーティング材料、蒸着速度、コーティング品質、膜厚制御などの要因に基づいて選択されます。

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