蒸着においてソース材料を加熱する2つの一般的な方法は、抵抗加熱と電子ビーム加熱です。
1. 抵抗加熱： この方法では、発熱体またはフィラメントを使用してソース材料を加熱します。タングステン、モリブデン、石英、グラファイトなどの材料で作られたフィラメントは、金属材料を含む抵抗性のワイヤーやフォイルに大電流を流すことにより、融点まで加熱される。フィラメントが加熱されると、ソース材料も加熱され、最終的には蒸発または昇華して蒸気になる。
2. 電子ビーム加熱： この方法では、電子ビームを使用してソース材料を加熱する。電子銃で発生させた電子ビームを原料に当て、加熱して蒸発・昇華させる。電子ビーム蒸発は、加熱プロセスを正確に制御し、高い蒸着率を可能にする。
これら2つの加熱機構は、蒸着プロセスで一般的に使用され、原料を高温に加熱して気化させ、基板上に凝縮させる。それぞれの方法には利点があり、コーティング材料、蒸着速度、コーティング品質、膜厚制御などの要因に基づいて選択されます。
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