蒸発に関しては、原料を加熱することが重要なステップである。
これを達成するために使用される2つの主要な方法があります:抵抗加熱と電子ビーム加熱。
蒸発においてソース材料を加熱する2つの一般的な方法とは?
1.抵抗加熱
抵抗加熱では、発熱体またはフィラメントを使用してソース材料を加熱します。
フィラメントは通常、タングステン、モリブデン、石英、グラファイトなどの材料で作られています。
金属材料を含む抵抗性のワイヤーまたは箔に大電流を流します。
フィラメントが加熱されると、融点に達する。
この熱がソース材料に伝わり、蒸発または昇華して蒸気になる。
2.電子ビーム加熱
電子ビーム加熱では、ソース材料を加熱するために電子ビームが使用される。
電子ビームは電子銃によって生成される。
この電子ビームがソース材料に照射されることにより、ソース材料が加熱され、蒸発または昇華する。
電子ビーム蒸着では、加熱プロセスを正確に制御することができる。
また、高い蒸着率を実現することができる。
蒸発プロセスでは、抵抗加熱と電子ビーム加熱の両方が一般的に使用される。
これらの方法は、原料を高温に加熱し、気化させて基板上に凝縮させる。
各方法にはそれぞれ利点があり、コーティング材料、蒸着速度、コーティング品質、膜厚制御などの要因に基づいて選択されます。
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