熱蒸発は、高真空環境で物質の加熱と蒸発を促進するために、さまざまな材料や形状を使用します。
5つの主要コンポーネントの説明
1.熱蒸発源
熱蒸発源は通常、タングステン、タンタル、モリブデンなどの材料で作られている。
これらのソースには、ボート、バスケット、フィラメント、コーティングされたロッドなどの形状があります。
ボートは一般的に使用され、さまざまなサイズがある。より大きなボートは一般に、同じ蒸着率でより高い電力を必要とするが、より高い最大蒸着率を扱うことができる。
バスケットやフィラメントも使用され、るつぼを支持したり、蒸発材料を直接加熱したりすることが多い。
コーティングされたロッドには、その性能や耐久性を高めるために、酸化アルミニウムなどの受動材料コーティングが施されることがある。
2.使用材料の種類
熱蒸発では、金、銀、チタン、銅などの金属が一般的に使用される。これらの材料は、導電性、可鍛性、耐腐食性で選ばれる。
二酸化ケイ素のような半導体は、特定の電気的特性を必要とする用途に使用されます。
タングステンやモリブデンなどの耐火性金属は、融点が高く、高熱下でも耐久性があることから使用される。
3.加熱技術
抵抗加熱蒸発法では、抵抗加熱されたるつぼの中で材料を加熱し、蒸気が基板上で凝縮する。
電子ビーム蒸発は、材料に焦点を合わせた電子ビームを使用し、急速な加熱と蒸発を引き起こす。
フラッシュ蒸発は、高電流パルスまたは高熱源を使用して、材料を蒸発温度まで素早く加熱する。
誘導加熱蒸発は、原料に電流を誘導し、加熱と蒸発を引き起こす。
4.プロセスの概要
熱蒸発では、高真空チャンバー内で固体材料を沸騰・蒸発するまで加熱し、蒸気圧を発生させる。
この蒸気は雲を形成し、チャンバーを横切って基板上に薄膜として堆積する。
真空環境は、蒸気の流れが他の原子と反応したり散乱したりすることなく移動することを保証する。
5.様々な産業での応用
サーマル・エバポレーションは、薄膜作成の精度と信頼性の高さから、様々な産業で使用されています。
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