電子ビーム蒸着で金属原料を入れる容器は、るつぼと呼ばれます。
説明
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るつぼの定義と機能：
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電子ビーム蒸発におけるるつぼは、蒸発させるソース材料を保持するために設計された容器である。このるつぼは高真空チャンバー内に置かれ、集束電子ビームのターゲットとなる。るつぼの主な機能は、電子ビームによって蒸発点まで加熱される間、材料を確実に保持することです。るつぼの材質と構造：
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電子ビーム蒸発で使用されるるつぼは、通常、電子ビームによって発生する高熱に耐える高融点材料から作られる。るつぼの一般的な材質には、銅、タングステン、セラミック、特に窒化ホウ素などがあります。材料の選択は、ソース材料の種類と蒸発プロセスで要求される温度に依存する。例えば、セラミックるつぼは、るつぼとソース材料間の化学的相互作用を防ぐため、高温材料に好まれる場合があります。
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冷却システム：
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るつぼ自体が高温に達し、損傷や望ましくない反応につながるのを防ぐため、るつぼには水冷システムが装備されていることがよくあります。この冷却機構により、電子ビームによって加熱されるのはソース材料のみで、るつぼは安全な動作温度に保たれます。構成とマルチマテリアルハンドリング：
高度な電子ビーム蒸着システムは、複数のるつぼを含むことができ、真空を壊すことなく異なる材料を順次蒸着することができます。この構成は、多層コーティングを必要とする用途で特に有用です。るつぼは、電子ビームが各ソース材料を順番にターゲットして蒸発できるように回転または配置することができ、複雑なコーティングプロセスを容易にします。
