熱蒸発源は、さまざまな材料を蒸着させるために不可欠である。
これらのソースには、主にボート、バスケット、フィラメント、コーティングされたロッドなどがあります。
これらは通常、タングステン、タンタル、モリブデンなどの材料から作られています。
これらのソースの加熱方法は、フィラメント蒸発法または電子ビーム（Eビーム）蒸発法である。
5つの主要タイプの説明
1.ボート
ボートは一般的な熱蒸発源である。
様々な大きさがある。
大きなボートは一般に、同じ蒸着率でより高い電力を必要とする。
しかし、より高い最大蒸着率を扱うことができる。
2.フィラメント蒸発
フィラメント蒸発では、単純な電気加熱エレメントを使用する。
この方法は簡単で、フィラメントの抵抗に依存して熱を発生させる。
3.Eビーム蒸発
電子ビーム蒸発法は、電子ビームを使用して原料を直接加熱する。
この方法は、耐火性の材料や蒸発に高温を必要とする材料に特に有効である。
4.薄膜蒸発システム
薄膜蒸発システムには、高い蒸着速度などの利点がある。
また、蒸着速度と膜厚をリアルタイムで制御できる。
エバポラントストリームの良好な方向制御は、ダイレクトパターンコーティングを実現するリフトオフのようなプロセスに有益です。
5.熱蒸発材料
熱蒸発材料には、金、銀、チタン、二酸化ケイ素、タングステン、銅など様々な物質が含まれる。
これらの物質は、その蒸気圧によって、融点に近い温度で昇華または蒸発することができます。
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