熱蒸発源には、主にボート、バスケット、フィラメント、被覆ロッドなどがあり、一般的にタングステン、タンタル、モリブデンなどの材料で作られている。これらのソースの加熱方法は、電気加熱エレメントを使用するフィラメント蒸発法、または電子ビーム（Eビーム）蒸発法であり、電子ビームがソース材料を加熱する。
ボート は一般的なタイプの熱蒸発源で、さまざまなサイズがある。大きなボートは一般に、同じ蒸着率でより高い電力を必要とするが、より高い最大蒸着率を扱うことができる。
フィラメント蒸発 は、ソース材料を加熱するために、単純な電気加熱要素（フィラメント）を使用する。この方法は簡単で、フィラメントの抵抗に依存して熱を発生させる。
電子ビーム蒸発法 は、電子ビームを使って原料を直接加熱し、蒸発させる方法である。この方法は、耐火性の材料や蒸発に高温を必要とする材料に特に有効です。
薄膜蒸発システム は、高い蒸着速度、リアルタイムの蒸着速度と膜厚の制御、蒸発流の優れた方向制御などの利点を備えており、リフトオフのような直接パターン化されたコーティングを実現するプロセスにとって有益です。
熱蒸着材料 には、金、銀、チタン、二酸化ケイ素、タングステン、銅などのさまざまな物質が含まれます。これらの物質は、その蒸気圧によって、融点に近い温度で昇華または蒸発します。
熱蒸発技術の開発は、1912年の最初の使用以来、電子ビーム蒸発やプラズマ中への蒸発の導入などの進歩により、反応性蒸発へと技術を拡大し、大きく発展してきた。
要約すると、熱蒸発源は様々な材料の蒸着に不可欠であり、電気フィラメントまたは電子ビームによって加熱される。これらのソースは高温材料から作られ、蒸発プロセス中に発生する熱に耐えられるように設計されている。ソースと加熱方法の選択は、蒸発させる材料の特定の要件と希望する蒸着特性によって決まります。
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