知識 蒸発加熱のプロセスとは?(4つのステップ)
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 3 months ago

蒸発加熱のプロセスとは?(4つのステップ)

蒸発加熱とは、熱を物質に伝え、その原子や分子が固体または液体の状態から気相に移行するのに十分なエネルギーを得るプロセスである。

このプロセスは、コーティング材料に使用される物理蒸着技術など、様々な用途で不可欠である。

蒸発加熱のプロセスにおける4つの主要ステップ

蒸発加熱のプロセスとは?(4つのステップ)

1.材料の加熱

蒸発させる材料を高真空環境で加熱する。

これは一般的にジュール加熱によって達成され、電流が材料を含む抵抗ボートに流され、材料が加熱される。

2.気相への移行

材料が加熱されると、その原子や分子は運動エネルギーを得る。

このエネルギーが、固体または液体の状態でそれらを保持している凝集力に打ち勝つのに十分であるとき、それらは気相に移行する。

3.基板への蒸着

気化した分子はソースから基板に移動し、そこで核となって薄膜コーティングを形成する。

このステップは、様々な素材に薄膜コーティングを形成するような用途では不可欠である。

4.蒸発速度の向上

蒸発速度を上げるには、材料の温度を上げ、蒸気圧を上げる。

蒸気圧が高くなると、分子が気相に移行する速度が速くなる。

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