熱蒸発源は、様々な科学的・工業的プロセスにおいて不可欠なコンポーネントである。基板上に蒸着するために、高温で材料を蒸発させるために使用されます。これらのソースに使用される材料は、そのユニークな特性のために慎重に選択されます。
熱蒸発源に使用される材料について知っておくべき5つのポイント
1.一次材料：タングステン、モリブデン、タンタル
これらの材料は、熱蒸発源で最も一般的に使用されています。これらの材料は、高純度、高融点、低蒸気圧のために選ばれます。そのため、抵抗加熱式蒸発源に最適である。
2.耐火物の特性
タングステン、モリブデン、タンタルは耐火性で知られています。これは、劣化することなく非常に高い温度に耐えられることを意味する。これは、原料を融点以上に加熱する蒸発プロセスにとって極めて重要である。
3.蒸発源のさまざまな形態
熱蒸発源には、さまざまなニーズに合わせてさまざまな形がある：
- ボート： 一般的に使用されているもので、様々な大きさのものがある。より大きなボートはより高い電力を必要とするが、より高い蒸着率を扱うことができる。
- バスケット： るつぼの支持に適しており、蒸発中に封じ込めが必要な材料に使用される。
- フィラメント： 通常、低温で蒸発させることができる材料や、小規模な用途に使用されます。
- コーティングロッド： 蒸発プロセスを向上させるため、またはコンタミネーションを防止するために、特定の表面コーティングが必要な場合に使用されます。
4.用途と設計
蒸発源の設計は、フラットパネル・ディスプレイ製造におけるOLEDやマルチコーティングなど、特定の用途にとって非常に重要である。蒸発源は蒸発プロセスを最適化するように設計され、材料の効率的で均一な蒸着を保証する。
5.電源と制御
熱蒸発源は通常、低電圧・大電流の電源を必要とする。特にボート蒸発源の場合、電力需要は通常高い。蒸発速度と蒸着速度を制御するために、熱蒸発システムはしばしば水晶振動子マイクロバランス（QCM）やその他のソフトウェアまたはハードウェア構成を使用する。
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