熱蒸発源に使用される材料には、主にタングステン、モリブデン、タンタルがある。これらの材料は、高純度、高融点、低蒸気圧のため、抵抗加熱蒸発源に適しています。これらの蒸発源は、ボート、バスケット、フィラメント、被覆ロッドなど様々な形状があり、それぞれ異なるタイプの蒸発剤や用途に対応するように設計されています。
タングステン、モリブデン、タンタル： タングステン、モリブデン、タンタル: これらの材料は、その耐火性により、蒸発源の製造に一般的に使用されています。これらの材料は、大きな劣化なしに高温に耐えることができ、ソース材料を融点以上に加熱して気化させ、基板上に堆積させる蒸発プロセスにとって極めて重要である。
蒸発源の形態
- ボート： 一般的に使用され、様々なサイズがある。より大きなボートは、同じ蒸着速度に対してより高い電力を必要とするが、より高い最大蒸着速度を扱うことができる。
- バスケット： るつぼの支持に適したものがあり、蒸発中に封じ込めが必要な材料に使用される。
- フィラメント： 通常、低温で蒸発させることができる材料や、小規模の用途に使用される。
- コーティングロッド： 蒸発プロセスを向上させるため、または汚染を防ぐために特定の表面コーティングが必要な場合に使用されます。
用途とデザイン
蒸発源の設計は、フラットパネルディスプレイ製造におけるOLED/マルチコーティングのような特定の用途にとって重要である。蒸発源は、蒸発プロセスを最適化するよう特別に設計されており、材料の効率的で均一な蒸着を保証する。電源と制御：
熱蒸発源は通常、低電圧・大電流の電源を必要とする。特にボート蒸発源の場合、電力需要は通常高い。蒸発速度と成膜速度を制御するために、熱蒸発システムは多くの場合、水晶振動子マイクロ天秤（QCM）およびその他のソフトウェアまたはハードウェア構成を使用して、蒸発速度と膜特性を管理する。
蒸発材料：
