金属を蒸着するには、電子ビーム蒸着と熱蒸着の2つの方法が一般的に使用されています。
1. 電子ビーム蒸発法： この方法では、集束した電子ビームを使って金属を加熱し蒸発させる。電子ビームの温度は通常3000℃前後で、高電圧の直流電源が電子ビームをターゲット材料に向けて加速する。電子ビームは金属表面の特定のポイントに向けられ、急速な加熱と蒸発を引き起こす。このプロセスは、タングステンやタンタルのような融点の高い金属に特に有効である。電子ビーム蒸発は、るつぼからの汚染を最小限に抑える。
2. 熱蒸発： この方法では、金属蒸発器を使用して、さまざまな金属を基板またはフィルム上に蒸発させる。金属蒸発器は通常、るつぼと熱源で構成される。金属はるつぼに入れられ、高温に加熱される。金属が融点に達すると液体になり、やがて蒸発して蒸気になる。この蒸気がチャンバー内の表面に凝縮し、金属の薄い層で覆われる。熱蒸発は、マスクを使って試料に特定のパターンを選択的にコーティングすることができる。アルミニウム、金、クロム、ゲルマニウム、ニッケル、酸化ケイ素、チタンなど、さまざまな金属を蒸着に使用できる。
いずれの方法も、蒸着プロセス中のガスの衝突や不要な反応を最小限に抑えるため、高真空環境を必要とする。金属蒸着装置は管理された条件下で運転され、適切な安全プロトコルに従わなければならない。メタル・エバポレーターを使用する前に、物理学教室のノベル博士のような有資格者から許可とトレーニングを受けることが極めて重要である。
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