金属を蒸発させることは、表面に金属の薄層を形成するために、様々な科学的・工業的用途で使用されるプロセスである。
電子ビーム蒸着と熱蒸着です。
どのように金属を蒸発させるのか(2つの一般的な方法を説明します)
1.電子ビーム蒸着
電子ビーム蒸発法では、集束した電子ビームを使って金属を加熱・蒸発させる。
電子線の温度は通常3000℃前後である。
高電圧の直流電源が、電子ビームをターゲット材料に向けて加速する。
電子ビームは金属表面の特定のポイントに向けられ、急速な加熱と蒸発を引き起こす。
この方法は、タングステンやタンタルのような融点の高い金属に特に効果的である。
電子ビーム蒸発は、るつぼからの汚染を最小限に抑える。
2.熱蒸発法
熱蒸発法では、金属蒸発器を使用して、さまざまな金属を基板またはフィルム上に蒸発させる。
金属蒸発器は通常、るつぼと熱源で構成される。
金属はるつぼに入れられ、高温に加熱される。
金属が融点に達すると液体になり、やがて蒸発して蒸気になる。
この蒸気がチャンバー内の表面に凝縮し、金属の薄い層で覆われる。
熱蒸発は、マスクを使って試料に特定のパターンを選択的にコーティングすることができる。
アルミニウム、金、クロム、ゲルマニウム、ニッケル、酸化ケイ素、チタンなど、さまざまな金属を蒸着に使用できます。
重要な考慮事項
どちらの方法も、蒸着プロセス中のガスの衝突や不要な反応を最小限に抑えるため、高真空環境を必要とする。
金属蒸着装置は、制御された条件下で操作されなければならない。
適切な安全プロトコルに従わなければならない。
メタルエバポレーターを使用する前に、物理学部のKnobel博士のような有資格者から許可とトレーニングを受けることが極めて重要である。
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