よくある質問 - Rf Pecvdシステム Rfプラズマエッチング装置

Rfスパッタリングの理論と実践とは？絶縁材料の薄膜成膜をマスターする
RFスパッタリングがどのように高周波プラズマを使用してセラミックスや酸化物などの絶縁材料を成膜し、DCスパッタリングの限界を克服するかを学びましょう。
スパッタリングによる薄膜成膜の利点は何ですか？優れた密着性と高品質な膜への多様性
優れた密着性、低温プロセス、高融点材料の成膜能力など、スパッタリング薄膜成膜の主な利点をご覧ください。
スパッタリングは成膜方法ですか？高性能薄膜のためのPvd技術を発見する
スパッタリングは、基板上に薄く、均一で、純粋なコーティングを作成するための物理蒸着（PVD）法です。その仕組みと応用について学びましょう。
スパッタ蒸着の仕組み：精密薄膜コーティングのガイド
超薄型で均一な膜を形成するための4段階のプロセスを通じて、スパッタ蒸着の仕組みを学びましょう。CVD、熱蒸着、電気めっきと比較します。
スパッタリングの方法とは？高純度薄膜成膜へのガイド
物理気相成長（PVD）法であるスパッタリングが、プラズマの衝突を利用して真空中で超薄膜、高純度膜をどのように生成するかを学びましょう。
熱蒸着の欠点は何ですか？純度、密度、材料における主な制限
熱蒸着の主な欠点（成膜汚染、低密度コーティング、薄膜堆積における材料制限など）について掘り下げます。
電子ビーム蒸着はどのように機能しますか？高性能な光学およびポリマーコーティングを実現する
電子ビーム蒸着が光学および商業用途向けに高純度で均一な薄膜をどのように作成するかを学びましょう。その速度、柔軟性、精度を発見してください。
イオンビームスパッタリングとマグネトロンスパッタリングの違いは何ですか？適切なPvd技術の選択
イオンビームとマグネトロンスパッタリングの主な違い（プラズマの位置、膜質、成膜速度、用途への適合性）を探る。
スパッタリング効果とは？薄膜成膜技術の完全ガイド
スパッタリングの仕組みを学ぶ：プラズマを用いて、産業用途の様々な基板に超薄型高性能コーティングを成膜する真空プロセス。
スパッタ蒸着が蒸発蒸着よりもはるかに遅いのはなぜですか？速度を犠牲にして優れた膜品質を実現
スパッタリングは原子ごとの放出のため遅いですが、蒸発による高速だが多孔質なコーティングと比較して、優れた膜密着性、密度、均一性をもたらします。
なぜアルゴンがプラズマガスとして使われるのですか？効率的なスパッタリングのための理想的なバランス
アルゴンの化学的不活性、高い原子量、そして費用対効果が、スパッタ蒸着における業界標準のプラズマガスである理由をご覧ください。
スパッタリングでプラズマはどのように形成されますか？安定したプラズマを点火して優れた薄膜成膜を実現
アルゴンガスのイオン化によってスパッタリングシステムでプラズマがどのように生成されるかを学び、高品質の薄膜成膜のための精密な制御を可能にします。
原子層堆積（Ald）の例は何ですか？複雑な表面へのAl₂O₃による精密コーティング
Al₂O₃の例を用いたALDプロセスを探る：自己制限反応がいかにして先進的な用途のために超薄膜で均一な膜を形成するか。
Cvdグラフェンはどのように機能するのか？大規模・高品質生産のためのガイド
化学気相成長法（CVD）が、工業用途向けに銅などの金属触媒上に単層グラフェンを成長させる方法を学びましょう。
なぜスパッタコーティングが使用されるのですか？優れた膜品質と均一性を実現
光学、半導体、医療用インプラントにおいて、スパッタコーティングが均一で緻密な薄膜に不可欠である理由をご覧ください。その利点と限界を学びましょう。
スパッタリング技術を用いたコーティングの利点は何ですか？ 優れた膜品質と材料の多様性
他の成膜法と比較して、スパッタリングがなぜ高性能薄膜に対して優れた密着性、密度、材料の多様性を提供するのかを発見してください。
スパッタリングプロセスの圧力はどのくらいですか？高品質な薄膜を実現するための鍵をマスターする
薄膜堆積において、スパッタリング圧力（10⁻³～10⁻¹ mbar）が膜密度、密着性、プラズマ安定性にどのように重要であるかを学びましょう。
熱蒸着法とはどのような仕組みですか？熱エネルギーで精密な薄膜コーティングをマスターする
熱蒸着法が電気加熱を利用して薄膜を作成する仕組みと、CVDやアーク蒸着法と比較してどのように異なるかを学びましょう。
コーティングを行う際に真空が必要なのはなぜですか？優れた純度と密着性を実現するため
真空コーティングが、精密用途における優れた膜の純度、密着性、性能のために、いかにして空気や汚染物質を除去するかを学びましょう。
薄膜の蒸着技術とは？高純度コーティングのガイド
真空中で熱蒸着がどのように機能し、エレクトロニクス、光学、コーティング用の超薄型高純度膜を作成するかを学びましょう。
Cvdコーティングとは？ 耐久性とコンフォーマルな表面エンジニアリングのガイド
化学気相成長（CVD）が、どのようにして超硬質で耐摩耗性に優れたコーティングを、複雑な部品に対して優れた密着性で形成するかを学びましょう。
パルスDcスパッタリングとは何ですか？絶縁薄膜を成膜するための安定したソリューション
パルスDCスパッタリングがどのようにアーク放電を防ぎ、酸化物や窒化物のような高品質の誘電体膜を成膜し、標準DCスパッタリングの限界を克服するかを学びましょう。
気体による原子層堆積（Ald）とは何ですか？原子レベルの精度で完全に均一な薄膜を実現する
原子層堆積（ALD）がどのようにしてガス前駆体を用いて、半導体やナノテクノロジー向けにオングストロームレベルの制御で超薄膜かつ均一な膜を構築するかを学びましょう。
ポリマーコーティングの化学気相成長（Cvd）とは何ですか？複雑な表面に超高純度でコンフォーマルな膜を実現
ポリマーCVDが、医療機器、電子機器、MEMSに最適な、溶剤フリーで均一なコーティングを複雑な部品にどのように作成するかを学びましょう。
蒸着技術とは？高純度薄膜コーティングのガイド
蒸着がいかに熱と真空を利用して、エレクトロニクスからパッケージングまで幅広い用途で高純度薄膜を生成するかを学びましょう。
薄膜の熱蒸着法とは？高純度Pvdコーティングのガイド
主要なPVD法である熱蒸着が、高真空環境下でOLED、光学、エレクトロニクス用の高純度薄膜をどのように生成するかを学びましょう。
Cvd反応で一般的に使用される前駆体は何ですか？水素化物、ハロゲン化物、有機金属化合物ガイド
主要なCVD前駆体ファミリー（水素化物、ハロゲン化物、有機金属化合物）を探求し、高品質な成膜のために適切なものを選択する方法を学びましょう。
ビーム蒸着プロセスとは何ですか？超高純度、高精度の薄膜を実現する
高エネルギービームを真空中で使用して、光学、電子機器、先端材料向けに純粋で精密に制御された薄膜を作成するビーム蒸着の仕組みを学びましょう。
スパッタリング法はどのように機能しますか？原子衝突による薄膜堆積ガイド
スパッタリングがどのようにプラズマとイオン衝撃を利用して、半導体、光学、医療機器向けに超高純度で均一な薄膜を堆積させるかを学びましょう。
スパッタリングの利点は何ですか？アプリケーションに優れた薄膜成膜を実現
スパッタリングの主な利点を発見してください：比類のない材料の多様性、優れた膜質、高性能薄膜コーティングのための精密な制御。
金属薄膜の用途は何ですか？チップから太陽電池まで、現代のテクノロジーを支える
金属薄膜が、その特有の電気的、光学的、機械的特性を活用して、マイクロチップ、ミラー、太陽電池、センサーなどをどのように実現しているかを探ります。
熱蒸着法とは？シンプルでコスト効率の高い薄膜成膜へのガイド
高真空環境下で、熱蒸着法が金やアルミニウムなどの金属の薄膜を堆積させる仕組みを学びましょう。その利点と限界を理解します。
スパッタリングプロセスとは？高精度薄膜成膜ガイド
スパッタリングプロセスがどのようにして半導体、光学、その他向けの超薄型で均一な膜を生成するかを学びましょう。そのメカニズム、利点、および用途を理解してください。
Rfスパッタ蒸着で一般的に使用される周波数は？世界標準を解説
13.56 MHzがRFスパッタ蒸着の世界標準である理由を発見してください。これは、規制順守と最適なプラズマ物理学のバランスを取っています。
スパッタリング技術で何を成膜できるのか？薄膜材料ガイド
純粋な金属から複雑なセラミックスまで、スパッタリングで成膜できる材料を発見し、研究室および産業用途での精密な薄膜コーティングを実現しましょう。
スパッタリングの最大膜厚は？応力と密着性の限界を乗り越える
内部応力、密着性、成膜時間によって決まる、プロセス自体ではなく、スパッタリング膜厚の実用的な限界を学びましょう。
金はスパッタリングできますか？アプリケーション向けに優れた薄膜性能を実現
金スパッタリングが、エレクトロニクス、研究、高級品において、耐久性、高純度、均一なコーティングを実現するための好ましいPVD法である理由をご覧ください。
スパッタリング技術は何に使われますか？高性能薄膜を電子機器や光学部品用に作成する
スパッタリングがいかにして、半導体、光学コーティング、耐摩耗性表面向けに、原子レベルの精度で超薄型で均一な膜を成膜するかをご覧ください。
電子ビーム蒸着の原理とは？高純度薄膜成膜ガイド
電子ビーム蒸着がどのように機能し、エレクトロニクスや光学分野の要求の厳しいアプリケーション向けに超高純度で高性能な薄膜を生成するかを学びましょう。
熱蒸着法の原理とは？薄膜堆積の簡単なガイド
熱蒸着の仕組みを学びましょう：真空中で材料を加熱し、薄膜コーティングを生成します。金やアルミニウムなどの金属に最適です。
熱蒸着法薄膜堆積とは？シンプルで費用対効果の高いPvdガイド
熱蒸着PVDの仕組みを学ぶ：高真空環境で純粋な金属薄膜を堆積させるためのシンプルで費用対効果の高い方法。
酸化物膜成膜にRfスパッタリングが頻繁に使用されるのはなぜですか？優れた絶縁膜品質の実現
絶縁ターゲットからの高品質な酸化物膜成膜にRFスパッタリングが不可欠な理由を、精密な制御と優れた密着性という観点から学びましょう。
アルミニウムはスパッタリングできますか？高品質薄膜のためのプロセスを習得する
酸素との高い反応性を克服し、アルミニウムをスパッタリングで成功させる方法を学びましょう。純粋な金属膜または酸化物膜のための主要な技術。
スパッタリングはいつ発明されたのか？1852年の発見から1920年の産業的ブレークスルーまで
スパッタリングの完全な歴史を学ぶ：1852年に発見され、1920年にアーヴィング・ラングミュアによって実用的な薄膜堆積プロセスとして開発された。
スパッタリング膜とは？高精度薄膜成膜のためのガイド
スパッタリングが、制御された原子レベルの成膜によって、半導体、光学、電子機器向けに超均一で耐久性のある薄膜をどのように生成するかを学びましょう。
薄膜のスパッタリングパラメータとは？精密な成膜を実現するための鍵をマスターする
スパッタリングパワー、ガス圧、基板温度などがどのように相互作用し、薄膜の厚さ、密度、微細構造を制御するかを学びましょう。
マグネトロンスパッタリングの原理とは？磁気プラズマ制御によるコーティング効率の向上
マグネトロンスパッタリングが磁場をどのように利用して電子を閉じ込め、プラズマ密度を高め、高速で高品質な薄膜堆積を実現するかを学びましょう。
グラフェンの特性評価技術とは？品質管理と分析のためのガイド
品質、層数、構造解析のための必須のグラフェン特性評価手法（ラマン分光法、SEM、TEM、AFM、XPS）を学びましょう。
蒸着法はどのように機能するのか？高純度薄膜コーティングのガイド
真空中で蒸着法がいかにして超薄膜を形成するかを学びましょう。精密な材料コーティングのためのプロセス、利点、および応用を理解します。
スパッタリングの仕組みとは？優れた表面工学のための薄膜堆積ガイド
超薄膜で均一なコーティングを堆積させるスパッタリングの仕組みを学びましょう。本ガイドでは、プラズマ生成、イオン衝撃、最適な膜品質のための主要なプロセス制御について解説します。
マグネトロンスパッタリングのプロセスとは？高品質薄膜成膜のためのガイド
プラズマ生成から薄膜成膜に至るまで、マグネトロンスパッタリングの仕組みを学びましょう。高純度、高スループットのコーティング用途におけるその利点を発見してください。
Dlcをアルミニウムに施すことはできますか？はい、適切な多層コーティングプロセスを用いることで可能です。
接着性と硬度の課題を克服するために、特殊な中間層を使用してアルミニウムにDLCを成功裏にコーティングする方法を学びましょう。
Cvdリアクターの異なる種類は何ですか？アプリケーションに最適なシステムを選択する
APCVD、LPCVD、PECVDなど、CVDリアクターの種類を探ります。圧力、エネルギー源、設計が、ラボの膜品質、スループット、コストにどのように影響するかを学びましょう。
スパッタリングとは簡単に言うと何ですか？高品質な薄膜成膜ガイド
シンプルなビリヤードの球の例えを使って、スパッタリングがどのように機能するかを学びましょう。様々な基板上に超高純度で均一なコーティングを作成するためのその利点を発見してください。
原子層堆積（Ald）とは何か、そして高度なCmosにおいてなぜそれが重要なのか？ナノスケールの精度をマスターする
原子層堆積（ALD）が、高度なCMOSおよび3D半導体アーキテクチャにおいて、精密で均一な薄膜成長をどのように可能にするかを学びましょう。
スパッタリングのターゲット・基板間距離の目標値は？薄膜成膜プロセスを最適化する
成膜速度、膜の均一性、密度のバランスを取るために、スパッタリングにおける理想的なターゲット・基板間距離（5～30 cm）の設定方法を学びましょう。
RfスパッタリングとDcスパッタリングの違いは何ですか？材料に最適な方法を選択する
RFスパッタリングはAC電源を使用して絶縁体と導体を成膜するのに対し、DCスパッタリングは導電性材料にのみ使用されます。主な違いと用途を学びましょう。
物理気相成長（Pvd）はどのように機能するのか？原子レベルのコーティング技術のガイド
PVDコーティングが、蒸発、輸送、堆積という3つの主要な段階を経てどのように機能するかを学びましょう。部品の性能向上のために、薄く耐久性のある膜を作成します。
電子ビーム蒸着の源は何ですか？高純度薄膜のための電子銃の解説
電子銃がどのように高エネルギービームを生成し、e-beam蒸着システムで高純度薄膜を形成するために材料を蒸発させるのかを発見してください。
ラボグロウンダイヤモンドはどんな形にも加工できますか？カスタムダイヤモンドシェイプの無限の可能性を発見
ラボグロウンダイヤモンドは、採掘されたダイヤモンドと同様に、どんな形にもカットできます。ラウンド、ペア、エメラルド、その他のカスタムカットの切断プロセスがどのように機能するかを学びましょう。
薄膜の蒸着理論とは何ですか？高純度薄膜成膜のためのガイド
真空中で熱蒸着がいかにして純粋な薄膜を成膜するかを学びましょう。蒸発から凝縮までのプロセス、およびその応用を理解します。
スパッタリングの利点は何ですか？あらゆる材料から、優れた高純度の薄膜を実現
比類のない材料の多様性、優れた膜密着性、高品質な薄膜のための正確な膜厚制御など、スパッタリングの主な利点をご覧ください。
薄膜成膜におけるスパッタリングとは？高精度Pvdコーティングガイド
主要な物理蒸着（PVD）プロセスであるスパッタリングが、どのようにして先進製造業向けの薄く、均一で耐久性のある膜を生成するかを学びましょう。
スパッタコーティングの欠点は何ですか？アプリケーションにおけるトレードオフを検討する
スパッタコーティングの主な欠点（成膜速度の遅さ、高価な装置費用、敏感な材料に対する基板加熱のリスクなど）を探ります。
スパッタリングの主な利点は何ですか？高性能薄膜のための比類のない材料多様性
スパッタリングがあらゆる材料を成膜できる能力が、なぜ先進的で高性能な薄膜を作成するための決定的な選択肢となるのかをご覧ください。
炭素コーティングはどのように機能しますか？コンポーネントの優れた表面性能を実現
PVD炭素コーティングがどのようにして超薄型で耐久性のある膜を作り出し、耐摩耗性、化学的安定性、バッテリー性能を向上させるかをご覧ください。
電子ビーム蒸着の用途とは？ハイテク産業向け精密薄膜
光学、航空宇宙、エレクトロニクスなどの分野で、耐久性のある高純度コーティングを作成するための電子ビーム蒸着の用途を探ります。
マグネトロンスパッタリングシステムとは何ですか？研究室で優れた薄膜成膜を実現
マグネトロンスパッタリングシステムがいかにして半導体、光学、医療機器向けに高純度で均一な薄膜を成膜するかを学びましょう。
マグネトロンスパッタリングとは？研究室向けに優れた薄膜コーティングを実現
マグネトロンスパッタリングが、エレクトロニクス、光学、熱に弱い材料向けに、高性能で均一な薄膜をどのように作成するかをご覧ください。
スパッタリング装置のクリーニング方法は？欠陥のない薄膜のために汚染を防ぐ
予防的な真空衛生管理から物理的なチャンバー清掃に至るまで、スパッタリング装置を清掃するための体系的なプロセスを学び、高品質の薄膜成膜を保証します。
Hdp成膜プロセスとは何ですか？複雑な微細構造物に対するボイドフリー薄膜の実現
高密度プラズマCVDが、同時成膜とエッチングを用いて、高アスペクト比のギャップを均一でボイドのない薄膜で埋める方法を学びましょう。
熱蒸着の例とは？反射型ヘッドライトコーティングなどの作成
ヘッドライトミラーコーティングなどの熱蒸着の例と、薄膜堆積のための電子機器、光学、装飾仕上げでのその使用法を発見してください。
真空コーティング装置とは？高性能薄膜成膜のためのガイド
真空コーティング装置が、機能的および装飾的な用途のために、制御された真空環境下でいかにして薄く純粋な膜を成膜するかを学びましょう。
スパッタリングの主な目的は何ですか？高性能薄膜成膜を実現する
マイクロチップやガラスなどに、優れた密着性、純度、均一性を持つ薄膜をスパッタリングで成膜する方法を学びましょう。
イオン・スパッタリングはどのように機能しますか？先端材料のための精密薄膜成膜
制御された原子レベルの成膜を用いて、イオン・スパッタリングが半導体、光学、電子機器向けに超薄型で均一なコーティングをどのように作成するかを学びましょう。
スパッタリングプロセスで使用されるRf周波数は何ですか？標準の13.56 Mhzについて解説
プロセス効率と規制遵守を保証するために、絶縁材料のスパッタリングで13.56 MHzが標準のRF周波数である理由を学びましょう。
薄膜成膜になぜ真空が必要なのか？純度と精度を達成するための真空の重要な役割
薄膜成膜において、汚染を防ぎ、粒子の移動を保証し、エレクトロニクスや光学分野向けの高性能フィルムを作成するために、なぜ真空が不可欠なのかを学びましょう。
Mocvdの成膜速度はどれくらいですか？高品質な薄膜成長の鍵をマスターする
MOCVDの成膜速度は、時間あたり数nmから数μmまで調整可能です。温度、圧力、流量が、アプリケーションに応じた成長速度と品質をどのように制御するかを学びましょう。
スパッタリングは蒸着よりも段差被覆性が優れていますか？はい、複雑な表面への優れた成膜のために。
スパッタリングは、複雑な3D構造に対して、蒸着よりも優れた段差被覆性を提供します。より良い密着性と均一な膜を実現する物理学を学びましょう。
Rfマグネトロンスパッタリングの動作原理とは？絶縁薄膜成膜のガイド
RFマグネトロンスパッタリングがRF電力と磁場を利用して、セラミックスや酸化物などの非導電性材料を成膜し、DCスパッタリングの限界を克服する方法を学びましょう。
薄膜コーティングとは？基板に新しい表面特性を付与する
薄膜コーティングがどのようにして表面に反射防止、導電性、または硬度を付与するかを学びましょう。PVD、CVD法、および主要な適用上の考慮事項を探ります。
真空蒸着の目的は何ですか？水を浄化する、それとも高純度コーティングを作成する？
真空蒸着がいかにして沸点を下げ、2つの主要な用途（効率的な廃水処理と精密な薄膜堆積（PVD））に利用されるかを学びましょう。
低温蒸着技術とは何ですか？熱に弱い材料へのコーティングガイド
低温蒸着が、熱損傷なしにプラスチックやポリマー上に薄膜を堆積させる方法を学びましょう。感熱性基板へのPVDに不可欠です。
マグネトロンスパッタリングの仕組みとは？高品質薄膜成膜のためのガイド
マグネトロンスパッタリングがどのように磁場を利用して、半導体やディスプレイなどの分野で効率的かつ高純度の薄膜を生成するかを学びましょう。
反応性スパッタリングのメカニズムとは？薄膜成膜ガイド
酸化物や窒化物などの化合物薄膜を生成する反応性スパッタリングの仕組みを学びましょう。プロセス、手順、主な課題を理解します。
スパッタ蒸着の用途は何ですか？エレクトロニクスと光学のための優れた薄膜を実現
半導体、データストレージ、光学コーティングにおけるスパッタ蒸着の主要な用途を探ります。高性能薄膜を可能にする方法を学びましょう。
スパッタリングにおける膜厚均一性とは？一貫した薄膜品質の鍵
半導体、光学、コーティングにおけるスパッタリングで膜厚均一性が重要である理由を学びましょう。幾何学的形状とプロセスパラメータのバランスを習得します。
スパッタリングガス圧の影響とは？成膜密度、応力、コンフォーマリティをマスターする
スパッタリングガス圧が成膜の密度、応力、コンフォーマリティなどの特性をどのように制御するかを学びましょう。優れた結果を得るために成膜プロセスを最適化してください。
スパッタリング装置とは？高品質な薄膜堆積のための必須システム
スパッタリング装置がPVDを用いて、半導体、光学、コーティング向けに超薄膜で均一な膜を堆積させる方法を学びましょう。主な利点と用途を発見してください。
スパッタリング成膜の原理とは？高性能薄膜コーティングガイド
スパッタリング成膜の仕組みを学ぶ：運動量伝達を利用して、高度な用途向けに高純度薄膜を作成する物理蒸着（PVD）プロセス。
Rfスパッタリングの用途は何ですか？絶縁体のための先進的な薄膜堆積を可能にする
RFスパッタリングの用途を発見してください：半導体用の絶縁膜の堆積、高品質の光学コーティングの作成、および優れた膜均一性の実現。
スパッタリングカソード法とは？薄膜堆積技術のガイド
スパッタリングカソード法が薄膜堆積にどのように機能するかを学びましょう。このPVD技術をプロジェクトに使用する際のプロセス、用途、および使用時期を理解してください。
プラズマはダイヤモンドコーティング膜にどのように使用されますか？優れたコーティングのためのMpcvdの力を解き放つ
MPCVD、特にプラズマがどのようにして産業、電子、光学用途向けの高品質なダイヤモンド膜を生成するかを探ります。プロセスと利点を学びましょう。
ショートパス蒸留と薄膜蒸留の違いは何ですか？研究室に最適な蒸留方法の選択
ショートパス蒸留と薄膜蒸留：加熱方法、性能、およびデリケートな材料への応用における主な違いを学びましょう。
電子ビーム蒸着の欠点は何ですか？高コスト、安全上のリスク、膜品質の問題
Eビーム蒸着の主な欠点を探ります。これには、高い装置コスト、操作の複雑さ、安全上の危険性、および膜の密度と均一性に関する制限が含まれます。
電子ビーム蒸着の用途とは？要求の厳しいアプリケーション向けに高純度薄膜を実現
電子ビーム蒸着が、光学や半導体などの要求の厳しい用途で、いかにして金属やセラミックスなどの高融点材料を堆積させ、優れた薄膜を形成するかをご覧ください。
薄膜成膜になぜ真空システムが必要なのか？純度、精度、性能に不可欠
薄膜成膜において真空がいかに重要であるかを発見してください。真空は、大気中の障害物を取り除くことで、汚染を防ぎ、均一な膜の成長を可能にします。
Rfスパッタリングの欠点は何ですか？薄膜堆積におけるトレードオフのナビゲート
RFスパッタリングの主な制限、すなわち堆積速度の遅さ、コストの高さ、厚膜化の難しさについて探ります。
電子ビーム蒸着の成膜速度はどのくらいですか？0.1～100 Nm/Minの精密制御を実現
電子ビーム蒸着の制御可能な成膜速度（0.1～100 nm/min）を発見し、耐火材料を用いた平坦な基板上に高純度膜を形成します。
物理気相成長法（Pvd）の利点は何ですか？優れた硬度と耐久性のあるコーティングを実現
極度の硬度、耐摩耗性、高純度、および感熱性材料向けの低温プロセスなど、PVDコーティングの主な利点を発見してください。