スパッタコーターのクリーニングは、その性能と寿命を維持するために非常に重要です。
ここでは、その手順を詳しく説明します。
スパッタコーターのクリーニング方法- 装置を最高の状態に保つために必要な3つのステップ
1.ワークチャンバーの清浄度
ガラスチャンバーのクリーニング:熱い石鹸水を使ってガラスチャンバーを完全に洗浄する。
完全に乾燥させる。
頑固な付着物がある場合は、台所用タワシを使用してもよい。
溶剤の使用は不要であり、安全衛生上のリスクがあるため避けてください。
金属表面のクリーニング:金属表面はイソプロピルアルコールで洗浄する。
アセトンの使用は、健康や安全上のリスクがあり、アウトガス発生時間が長く、真空の性能に影響を与える可能性があるため、避けてください。
2.真空のメンテナンス
吸引バックの防止:チャンバーが真空下にあるときは、必ず荒引きポンプをコーターから隔離してください。
これは通常手動バルブで行います。
例えば、クォーラムの高真空スパッタコーターには「ポンプホールド」機能があり、装置を使用していないときは真空を維持し、ポンプオイルによる汚染を防ぎます。
システムの乾燥と真空レベル:スパッタリングプロセスを開始する前に、システムが乾燥し、適切な真空レベルに達していることを確認してください。
これにより、良好なスパッタ率を達成し、汚染を防ぐことができます。
ポンプのメンテナンス:最適な性能を維持するため、定期的にロータリーポンプをバラストし、定期的に整備してください。
3.スパッタ洗浄
物理的スパッタリング:真空中で物理的スパッタリングを使用して、固体の表面を汚染物質から洗浄する。
この方法は、表面科学、真空蒸着、イオンプレーティングで一般的に使用されている。
ただし、過熱、ガス混入、表面損傷、粗面化などの潜在的な問題には注意が必要です。
スパッタ洗浄中の再汚染を防ぐため、プラズマが清浄であることを確認してください。
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