真空コーティングは、過剰な厚みやその他の望ましくない副作用を引き起こすことなく、耐久性と性能を向上させる保護層を提供するため、さまざまな産業で不可欠です。コーティング工程で真空が必要なのは、主に次の2つの理由からです：
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蒸発した原子の平均自由行程が長い。:真空環境では、蒸発した原子の平均自由行程が大気環境よりも大幅に長くなる。これは、原子が残留ガス分子から散乱されることなく、ソースからターゲットまで移動することを意味する。この散乱のない直接的な経路により、周囲ガスによる干渉を受けることなく、均一かつ効率的にコーティングを施すことができる。
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コーティング付着のためのクリーンな表面:真空環境は、コーティングされる表面がクリーンで汚染物質がないことを保証します。蒸発した原子が表面に適切に付着し、安定した耐久性のある層を形成するためには、この清浄度が非常に重要です。真空でない場合、汚染物質や残留ガスが存在すると、密着性が悪くなり、コーティング層が不安定になります。
さらに、真空コーティングはドライプロセスであるため、化学汚染のリスクが少なく、環境面でも優れています。また、気相と気相の組成を正確に制御できるため、特定の化学組成を持つ特殊な薄膜を作成することが可能であり、これは光学コーティングやその他の高精度用途で特に重要である。
全体として、コーティング・プロセスにおける真空の使用は、航空宇宙から医療用具まで、さまざまな産業用途の厳しい要件を満たす、高品質で耐久性があり、精密に制御されたコーティングを実現するために不可欠です。
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