RFスパッタ蒸着に一般的に使用される周波数は13.56MHzである。
この周波数が選ばれるのにはいくつかの理由がある。
13.56MHzがRFスパッタ蒸着の標準周波数である4つの主な理由
1.規制コンプライアンス
国際電気通信連合（ITU）は、13.56 MHzを工業・科学・医療（ISM）機器用の周波数として指定しています。
この割り当てにより、電気通信サービスへの干渉が防止されています。
これにより、RFスパッタリング装置が非通信アプリケーション用に特別に確保された周波数帯域内で動作することが保証されます。
2.イオン-ターゲット相互作用の効率
13.56MHzという周波数は、スパッタリング中にアルゴンイオンがターゲット材料に運動量を移動するのに十分な時間を確保するのに十分な低さである。
この周波数では、RF場の次のサイクルが始まる前にイオンがターゲットに到達し、相互作用するのに十分な時間がある。
この相互作用は、ターゲット材 料を効果的にスパッタリングするために極めて重要である。
3.電荷蓄積の回避
RFスパッタリングでは、交番電位がターゲットへの電荷蓄積の防止に役立つ。
RFの正サイクルの間、電子はターゲットに引き付けられ、負のバイアスを与える。
負サイクルの間、イオンボンバードメントは継続され、ターゲットは電気的に中性に保たれ、液滴形成などの悪影響を防ぎます。
4.広く受け入れられている規格
13.56MHzは、その有効性と国際規制への適合性から、RFスパッタリングの標準周波数となっている。
この標準化により、スパッタリング装置の設計と操作が簡素化される。
また、異なるシステムやコンポーネントの互換性も確保されている。
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