RFスパッタ蒸着に一般的に使用される周波数は13.56MHzである。この周波数が選ばれるのにはいくつかの理由がある：
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規制遵守:国際電気通信連合（ITU）は、電気通信サービスへの干渉を防止するため、13.56 MHzを産業・科学・医療（ISM）機器用の周波数として指定しています。この割り当てにより、RFスパッタリング装置は、非通信アプリケーション用に特別に確保された周波数帯域内で確実に動作します。
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イオン-ターゲット相互作用の効率:13.56MHzの周波数は、スパッタリング中にアルゴンイオンがターゲット材料に運動量を移動するのに十分な時間を確保するのに十分な低さである。この周波数では、RF場の次のサイクルが始まる前にイオンがターゲットに到達し、相互作用するのに十分な時間があります。この相互作用は、ターゲット材 料を効果的にスパッタリングするために極めて重要である。
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電荷蓄積の回避:RFスパッタリングでは、交番電位がターゲット上の電荷蓄積の防止に役立つ。RFの正サイクルの間、電子はターゲットに引き付けられ、負のバイアスを与えます。負のサイクルの間、イオンボンバードメントは継続し、ターゲットが電気的に中性であることを保証し、液滴形成などの悪影響を防ぎます。
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広く受け入れられている規格:その有効性と国際規制への適合性から、13.56 MHzはRFスパッタリングの標準周波数となっている。この標準化により、スパッタリング装置の設計と操作が簡素化され、異なるシステムやコンポーネントの互換性も向上します。
まとめると、RFスパッタ蒸着に13.56 MHzが選ばれる理由は、規制への適合性、イオンとターゲットの相互作用の効率性、電荷の蓄積を防ぐ能力、業界で広く受け入れられている標準としての地位にある。
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