電子ビーム蒸発の源はフィラメントで、通常はタングステンのような金属から作られ、超高温に加熱されて電子の熱電子放出を引き起こす。これらの電子は、磁場を利用してビームに集束され、蒸発させる物質を入れたるつぼに向けられる。電子ビームが材料に当たると、エネルギーが熱に変換され、材料が蒸発する。
詳しい説明
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フィラメントと熱電子放出：
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このプロセスは、通常タングステンまたは同様の高融点金属でできたフィラメントから始まります。このフィラメントは、熱電子放出を起こすのに十分な摂氏2,000度を超える温度まで加熱される。この高温で、電子は金属の仕事関数に打ち勝つのに十分なエネルギーを得て、フィラメントの表面から放出される。電子ビームの形成：
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いったん放出された電子は、まだ集束したビームの形にはなっていない。そのため、電子ビーム源の近くに磁石を使用します。この磁石は磁場を発生させ、放出された電子を指向性のあるビームに集束させる。磁場はビームを集束させるだけでなく、その軌道を制御し、意図したターゲットに正確に当たるようにするため、非常に重要である。
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るつぼを狙う
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集束された電子ビームは、蒸発させる物質を入れたるつぼに向けられる。るつぼは通常、ビームが直接当たるように配置される。電子ビーム蒸発システムの具体的な構成によっては、ビームを材料に向けて正確に誘導するために、追加の磁石が使用されることもある。エネルギー移動と蒸発：
電子ビームがるつぼ内の材料に当たると、電子の高い運動エネルギーが材料に伝達され、材料が急速に加熱される。この急速な加熱により、材料が気化する。エネルギー移動は非常に効率的であるため、材料が高融点であっても、蒸発が起こるのに十分な高温に達することができる。
